JPS599544U - 板状体の搬送装置 - Google Patents

板状体の搬送装置

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JPS599544U
JPS599544U JP9791582U JP9791582U JPS599544U JP S599544 U JPS599544 U JP S599544U JP 9791582 U JP9791582 U JP 9791582U JP 9791582 U JP9791582 U JP 9791582U JP S599544 U JPS599544 U JP S599544U
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JP
Japan
Prior art keywords
plate
ring belt
conveying device
predetermined position
ring
Prior art date
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Pending
Application number
JP9791582U
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English (en)
Inventor
勝 北川
Original Assignee
大日本スクリ−ン製造株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案にかかる実施例装置全体の構成を示す
模式説明図、第２図はこの装置のテンションプ７りを一
定量上昇させた状態にて示した模式説明図、第３図は第
２図の■−■断面を矢印方向にみた断面図である。 １１・・・・・・駆動プーリ、１２−・・・・・従動プ
ーリ、１３・・・・・・テンションプーリ、１４・・・
・・・リングベル　、ト、１５・・・・・・水平走行ベ
ルト、１６・・・・・・半導体基板（ウェハ）、１７・
・・・・・処理台（板状ヒータ）、１９・・・用ストッ
パー。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ■　はぼ水平面内に駆動、従動両プーリを対向配゛設し
    、これら両プーリの下方に昇降自在に支承される少なく
    とも１つのテンションプーリを設け、これら少なくとも
    ３つのプーリ間に少くとも２本のリングベルトを掛は渡
    し、このリングベルトの水平走行部により搬送される板
    状体を、前記リングベルトの水平走行部の直下に設け、
    られた処理台の所定位置に載置するため、前記リングベ
    ルトを板状体が所定位置の上方に（るまで駆動し、前記
    テンションプーリを一定量移動させ、リングベルトをた
    るませ、この板状体を°　前記処理台上に載置させるよ
    うにした板状体の搬送装置。 ２　リングベルトをたるませたときに処理台に穿設した
    溝に前記リングベルトの一部がはめこまれるようにした
    実用新案登録請求の範囲第１項に記載の板状体の搬送装
    置。 ３　板状体が所定位置となるように接離自在のストッパ
    を設けるとともに、このストッパに前記板状体が接触し
    、停止したときにリングベルトの駆動を停止させ、つぎ
    にテンションプーリ婆一定量移動するようにした実用新
    案登録請求の範囲第１項または第２項に記載の板状体の
    搬送装置。
JP9791582U 1982-06-28 1982-06-28 板状体の搬送装置 Pending JPS599544U (ja)

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JP9791582U JPS599544U (ja) 1982-06-28 1982-06-28 板状体の搬送装置

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JPS599544U true JPS599544U (ja) 1984-01-21

Family

ID=30232702

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