JPS62291611A - 光学部品保持装置 - Google Patents
光学部品保持装置Info
- Publication number
- JPS62291611A JPS62291611A JP13575786A JP13575786A JPS62291611A JP S62291611 A JPS62291611 A JP S62291611A JP 13575786 A JP13575786 A JP 13575786A JP 13575786 A JP13575786 A JP 13575786A JP S62291611 A JPS62291611 A JP S62291611A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- total reflection
- reflection mirror
- holding part
- optical component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
この発明は、一般の光学部品を保持する保持装置に関す
るものである。
るものである。
第２図は従来の光学部品保持装置を示す構成図である。
図において、１は全反射鏡、２は第１の保持部、３は０
リング、４は全反射鏡１を第１の保持部２との間に挾持
する第２の保持部、５は挾持用ネジである。
リング、４は全反射鏡１を第１の保持部２との間に挾持
する第２の保持部、５は挾持用ネジである。
上記のように構成された従来の光学部品保持装置におい
ては、第１の保持部２が全反射鏡１と接する部分は高精
度な研磨仕上げ加工等を実施する必要があり、これによ
り全反射鏡１との接触を円滑ならしめている。また、第
１の保持部２はＯＩＪソングを介して第２の保持部４と
の間に全反射鏡１を挾持固定する。
ては、第１の保持部２が全反射鏡１と接する部分は高精
度な研磨仕上げ加工等を実施する必要があり、これによ
り全反射鏡１との接触を円滑ならしめている。また、第
１の保持部２はＯＩＪソングを介して第２の保持部４と
の間に全反射鏡１を挾持固定する。
しかして、上記のように全反射ｆｉ１８第１の保持部２
と第２の保持部４との間にＱ ＩＪソングを介して挟持
固定する場合において、第２の保持部４を挾持用ネジ５
で固定する時、実際上は挾持用ネジ５の微調整が難しく
、挾持用ネジ５８締め過ぎるとＯＩＪソングをつぶして
しまい、第２の保持部４と全反射鏡１との間ｌこ局部的
な圧力が加わり、このために、全反射鏡１が局部的に変
形することがしばしばあった。このような全反射鏡１の
局部的な変形により、全反射鏡１への入射光と全反射鏡
１からの反射光との光ビームの形状が変化し、入射光を
正しく伝播することができなくなる。実用的Ｊこは、全
反射鏡１の裏面及び第１の保持部２が全反射鏡１と接す
る面に、高精度な研磨仕上げ加工等を実施して密着度を
向上させる手段も試みられているが、経済的Ｉこ高価な
ものとなり、一般的には広く使用されることは難しいこ
とである。
と第２の保持部４との間にＱ ＩＪソングを介して挟持
固定する場合において、第２の保持部４を挾持用ネジ５
で固定する時、実際上は挾持用ネジ５の微調整が難しく
、挾持用ネジ５８締め過ぎるとＯＩＪソングをつぶして
しまい、第２の保持部４と全反射鏡１との間ｌこ局部的
な圧力が加わり、このために、全反射鏡１が局部的に変
形することがしばしばあった。このような全反射鏡１の
局部的な変形により、全反射鏡１への入射光と全反射鏡
１からの反射光との光ビームの形状が変化し、入射光を
正しく伝播することができなくなる。実用的Ｊこは、全
反射鏡１の裏面及び第１の保持部２が全反射鏡１と接す
る面に、高精度な研磨仕上げ加工等を実施して密着度を
向上させる手段も試みられているが、経済的Ｉこ高価な
ものとなり、一般的には広く使用されることは難しいこ
とである。
上記従来の光学部品保持装置は以上のように構成されて
いるので、第１の保持部２が全反射鏡１と接する部分は
高１ｉ’Ｒ度な研磨仕上げ加工等８実施する必要がある
ために高価となり、また、全反射鏡１への入射光に対し
て、上述のようｌこ全反射鏡１が局部的に変形を生じる
などの問題点があった。
いるので、第１の保持部２が全反射鏡１と接する部分は
高１ｉ’Ｒ度な研磨仕上げ加工等８実施する必要がある
ために高価となり、また、全反射鏡１への入射光に対し
て、上述のようｌこ全反射鏡１が局部的に変形を生じる
などの問題点があった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、安価な構成ｊこより全反射鏡を確実に保持できる
と共に、全反射鏡の局部的な変形を防とできるようにし
た光学部品保持装置を得ることを目的とする。
ので、安価な構成ｊこより全反射鏡を確実に保持できる
と共に、全反射鏡の局部的な変形を防とできるようにし
た光学部品保持装置を得ることを目的とする。
この発明に係る光学部品保持装置は、光学部品である全
反射鏡を保持する保持部と全反射鏡とが相対する面間に
気密な空隙ｇを形成し、この空隙部内の圧力と外気圧と
の圧力差によって、全反射鏡を保持部に固定するように
したものである。
反射鏡を保持する保持部と全反射鏡とが相対する面間に
気密な空隙ｇを形成し、この空隙部内の圧力と外気圧と
の圧力差によって、全反射鏡を保持部に固定するように
したものである。
この発明の光学部品保持装置においては、光学部品であ
る全反射鏡を保持する保持部と全反射鏡とが相対する面
間に形成した気密な空隙部内の圧力と、外気圧との圧力
差により全反射鏡を保持部に固定するようにしたので、
安価な構成により全反射鏡を確実に保持できると共に、
全反射鏡の局部的な変形を防止できる。
る全反射鏡を保持する保持部と全反射鏡とが相対する面
間に形成した気密な空隙部内の圧力と、外気圧との圧力
差により全反射鏡を保持部に固定するようにしたので、
安価な構成により全反射鏡を確実に保持できると共に、
全反射鏡の局部的な変形を防止できる。
第１図１ａ）はこの発明の一実施例である光学部品保持
装置を示す構成図で、第２図と同−又は相補部分は同一
符号を用いて表示してあり、その詳細な説明は省略する
。図において、６はこの発明による保持部、７は保持部
６に備えた圧力調整用配管、９は保持部６と全反射鏡１
とが相対する面間に形成され、かつＯＩＪソングにより
気密にされた空隙部である。
装置を示す構成図で、第２図と同−又は相補部分は同一
符号を用いて表示してあり、その詳細な説明は省略する
。図において、６はこの発明による保持部、７は保持部
６に備えた圧力調整用配管、９は保持部６と全反射鏡１
とが相対する面間に形成され、かつＯＩＪソングにより
気密にされた空隙部である。
さて、第１図国に示すこの発明の一実施例である光学部
品保持装置においては、全反射鏡１はＯリング３を介し
て保持部６の外周部で抑えられている。このような状態
において、圧力Ａ整層配管７を通して全反射鏡１と保持
部６との相対する面間に形成した空隙部９内の圧力を適
宜Ｉこ調整される。全反射６ａ、１の使用される雰囲気
が大気圧Ｐ。の場合に、空隙部９内の圧力は大気圧Ｐ０
よりも低い圧力Ｐ１に設定される（Ｐ０ンＰ、）。ここ
で、圧力Ｐ、は全反射鏡１の外形寸法２重量等から算定
し、確実に保持部６によって全反射鏡１が固定される圧
力に設定される。この発明によれば、全反射鏡１の裏面
全体ｌこわたり一様に均一な圧力が加えられるから、全
反射鏡１は局部的な変形を生じることがない。また、全
反射鏡１の使用される雰囲気がレーザ発振器内で、例え
ば２０〜１００ ’ｆｏｒｒなどの低圧力内である場合
Ｉこ、上記空隙部９内の圧力Ｐ、は、Ｐ、 （２０〜１
００ Ｔｏｒｒに設定しておけば、全反射鏡１に対する
保持ｇ６による保持効果が十分に得られる。
品保持装置においては、全反射鏡１はＯリング３を介し
て保持部６の外周部で抑えられている。このような状態
において、圧力Ａ整層配管７を通して全反射鏡１と保持
部６との相対する面間に形成した空隙部９内の圧力を適
宜Ｉこ調整される。全反射６ａ、１の使用される雰囲気
が大気圧Ｐ。の場合に、空隙部９内の圧力は大気圧Ｐ０
よりも低い圧力Ｐ１に設定される（Ｐ０ンＰ、）。ここ
で、圧力Ｐ、は全反射鏡１の外形寸法２重量等から算定
し、確実に保持部６によって全反射鏡１が固定される圧
力に設定される。この発明によれば、全反射鏡１の裏面
全体ｌこわたり一様に均一な圧力が加えられるから、全
反射鏡１は局部的な変形を生じることがない。また、全
反射鏡１の使用される雰囲気がレーザ発振器内で、例え
ば２０〜１００ ’ｆｏｒｒなどの低圧力内である場合
Ｉこ、上記空隙部９内の圧力Ｐ、は、Ｐ、 （２０〜１
００ Ｔｏｒｒに設定しておけば、全反射鏡１に対する
保持ｇ６による保持効果が十分に得られる。
第１図（ｂ）はこの発明の他の実施例である光学部品保
持装置を示す構成図である。第１図（ｂ）に示すものは
、全反射鏡ｌの外周部を表面側より保護用保持部８によ
って保護的に保持した構成を備えており、これは全反射
鏡１の落下環を防止Ｔるためのものである。
持装置を示す構成図である。第１図（ｂ）に示すものは
、全反射鏡ｌの外周部を表面側より保護用保持部８によ
って保護的に保持した構成を備えており、これは全反射
鏡１の落下環を防止Ｔるためのものである。
なお、上記実施例において、圧力調整用配管７は空隙部
９内を所定圧力に設定したまま密封しておいても良く、
また、排気装置に接続したまま適宜に調整角配管として
使用しても良い。
９内を所定圧力に設定したまま密封しておいても良く、
また、排気装置に接続したまま適宜に調整角配管として
使用しても良い。
また、上記実施例では、全反射鏡１の外周部を０リング
３により支持した構成としているが、０リング３の内面
部を適宜に複数個の０１Ｊングにより支持することも可
能である。Ｃの場合に、各々分割された空隙部はそれぞ
れを圧力調整しておくことは明らかである。
３により支持した構成としているが、０リング３の内面
部を適宜に複数個の０１Ｊングにより支持することも可
能である。Ｃの場合に、各々分割された空隙部はそれぞ
れを圧力調整しておくことは明らかである。
この発明は以上説明したとおり、光学部品保持装置にお
いて、光学部品である全反射鏡を保持丁る保持部と全反
射鏡とが相対する面間に気密な空隙部を形成し、この空
隙部内の圧力と外気圧との圧力差によって、全反射！！
を保持部に固定するようにしたので、安価な青酸により
全反射鏡をｉ実に保持できると共に、全反射鏡の局部的
な変形を防止できるなどの優れた効果を奏するものであ
る。
いて、光学部品である全反射鏡を保持丁る保持部と全反
射鏡とが相対する面間に気密な空隙部を形成し、この空
隙部内の圧力と外気圧との圧力差によって、全反射！！
を保持部に固定するようにしたので、安価な青酸により
全反射鏡をｉ実に保持できると共に、全反射鏡の局部的
な変形を防止できるなどの優れた効果を奏するものであ
る。
第１図（ａ）はこの発明の一実施例である光学部品保持
装置を示す構成図、第１図（ｂ）はこの発明の他の実施
例である光学部品保持装置を示す構成図、第２図は従来
の光学部品保持装置を示す構成図である。 図において、１−・・全反射鏡、２・・・第１の保持部
、３・・・０リング、４・・・＠２の保持部、５・・・
挾持用ネジ、６・・・保持部、７・・・圧力調整用配管
、８・・・保護用保持部、９・・・空隙部である。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
装置を示す構成図、第１図（ｂ）はこの発明の他の実施
例である光学部品保持装置を示す構成図、第２図は従来
の光学部品保持装置を示す構成図である。 図において、１−・・全反射鏡、２・・・第１の保持部
、３・・・０リング、４・・・＠２の保持部、５・・・
挾持用ネジ、６・・・保持部、７・・・圧力調整用配管
、８・・・保護用保持部、９・・・空隙部である。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 光学部品を保持する保持装置において、保持部を備え、
この保持部に気密用部材を介して前記光学部品を固定し
、かつこの保持部と前記光学部品とが相対する面間に空
隙部を形成するように構成し、この空隙部内の圧力は、
少なくとも前記光学部品に光が照射される面とは反対側
の面の圧力よりも低く設定されることを特徴とする光学
部品保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13575786A JPS62291611A (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 光学部品保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13575786A JPS62291611A (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 光学部品保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62291611A true JPS62291611A (ja) | 1987-12-18 |
Family
ID=15159148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13575786A Pending JPS62291611A (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 光学部品保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62291611A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010135852A (ja) * | 2010-03-15 | 2010-06-17 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
-
1986
- 1986-06-11 JP JP13575786A patent/JPS62291611A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010135852A (ja) * | 2010-03-15 | 2010-06-17 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
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