JPS62292611A - ガラス状炭素フイルムの製造法 - Google Patents
ガラス状炭素フイルムの製造法Info
- Publication number
- JPS62292611A JPS62292611A JP61132671A JP13267186A JPS62292611A JP S62292611 A JPS62292611 A JP S62292611A JP 61132671 A JP61132671 A JP 61132671A JP 13267186 A JP13267186 A JP 13267186A JP S62292611 A JPS62292611 A JP S62292611A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- carbon film
- glassy carbon
- resistant material
- inert atmosphere
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910021397 glassy carbon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims abstract description 13
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 8
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 5
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 abstract description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 abstract description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 abstract 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 8
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 2
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000007849 furan resin Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
６、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
ガラス状炭素フィルムは有機重合体の熱分解生成物から
なるガラス状のフィルムである。ガラス状炭素フィルム
はパツキン、ガスケット等に応用されており、とくに燃
料電池のセパレーターの素材としても注目されている。
なるガラス状のフィルムである。ガラス状炭素フィルム
はパツキン、ガスケット等に応用されており、とくに燃
料電池のセパレーターの素材としても注目されている。
従来、ガラス状炭素フィルムは有機重合体をカレンダー
ロールを用いてシート状に成形し、あるいはＴグイ法を
用いてフィルムに押出成形してのち、該シートまたはフ
ィルムを不活性雰囲気中で焼成して得られることが知ら
れている（特開昭５９−２１５１２号公報）。
ロールを用いてシート状に成形し、あるいはＴグイ法を
用いてフィルムに押出成形してのち、該シートまたはフ
ィルムを不活性雰囲気中で焼成して得られることが知ら
れている（特開昭５９−２１５１２号公報）。
また、有機重合体を溶媒に溶解した溶液をスリットより
吐出させたのち凝固させて得たフィルムを焼成する方法
も知られている（特開昭６０−２３５７０９号公報）。
吐出させたのち凝固させて得たフィルムを焼成する方法
も知られている（特開昭６０−２３５７０９号公報）。
しかし、これらの方法は有機重合体を成形してから焼成
しており、有機重合体中に多く含まれている炭素以外の
原子（水素原子、酸素原子など）が焼成工程において除
去されるため、収縮宅が大きく、寸法精度を得ることが
困難であった。
しており、有機重合体中に多く含まれている炭素以外の
原子（水素原子、酸素原子など）が焼成工程において除
去されるため、収縮宅が大きく、寸法精度を得ることが
困難であった。
本発明の目的は、簡単な工程で、均質な寸法精度のよい
ガラス状炭素フイルムヲ裂造する方法を提供することで
ある。
ガラス状炭素フイルムヲ裂造する方法を提供することで
ある。
本発明者等はこの目的を達成するために鋭意研究の結果
、有機重合体を不活性雰囲気中にて熱分解させた前駆物
質（以下、ＰＣ物質といつ）金作り、これを有機溶媒に
溶解させた溶液を耐熱性材斜上に塗布し、不活性雰囲気
中にて焼成することＫより収縮率が小さくクラックが入
りにくいうえ、短時間でガラス状炭素フィルムが得られ
ることがわかった。
、有機重合体を不活性雰囲気中にて熱分解させた前駆物
質（以下、ＰＣ物質といつ）金作り、これを有機溶媒に
溶解させた溶液を耐熱性材斜上に塗布し、不活性雰囲気
中にて焼成することＫより収縮率が小さくクラックが入
りにくいうえ、短時間でガラス状炭素フィルムが得られ
ることがわかった。
すなわち、本発明は有機重合体の熱分解生成物を溶剤に
溶解して耐熱性材料上に塗布し、不活性雰囲気中で焼成
することにより塗膜をガラス状の炭素フィルムとし、つ
いで該フィルムを耐熱性材料から剥がすことを特徴とす
るガラス状炭素フィルムの製造法である。
溶解して耐熱性材料上に塗布し、不活性雰囲気中で焼成
することにより塗膜をガラス状の炭素フィルムとし、つ
いで該フィルムを耐熱性材料から剥がすことを特徴とす
るガラス状炭素フィルムの製造法である。
以下、この発明について詳しく説明する。
この発明で用いられる有機重合体は、塩化ビニル樹脂、
ポリビニルアルコール、油溶性フェノール樹脂、アルキ
ルフェノール樹脂、塩素化パラフィン、塩素化ポリゾロ
ピレン、酢酸ビニル樹脂またはポリカーボネート樹脂な
どである。とくにガラス状炭素フィルムの用途が半導体
工業用など不純物を嫌う場合には不純物の面から上記の
うち塩化ビニル樹脂が好ましい。
ポリビニルアルコール、油溶性フェノール樹脂、アルキ
ルフェノール樹脂、塩素化パラフィン、塩素化ポリゾロ
ピレン、酢酸ビニル樹脂またはポリカーボネート樹脂な
どである。とくにガラス状炭素フィルムの用途が半導体
工業用など不純物を嫌う場合には不純物の面から上記の
うち塩化ビニル樹脂が好ましい。
これら有機重合体の熱分解にはその種類を問わず粒状品
又は粉末を、不活性雰囲気例えばアルゴンガス中で２０
０〜５００°Ｃで３０分以上加熱して行う。しかしなが
ら、完全には炭化させないことが好ましい。
又は粉末を、不活性雰囲気例えばアルゴンガス中で２０
０〜５００°Ｃで３０分以上加熱して行う。しかしなが
ら、完全には炭化させないことが好ましい。
この加熱の望ましい温度・時間は加熱装置および有機重
合体の種類によって異なるが、分解生成物の炭素原子と
水素原子の原子比（以下Ｃ／ Ｈ比という）が結果的に
０．８〜１．５、好ましくは０．９〜１．２の範囲に入
るよう実験により定めればよい。
合体の種類によって異なるが、分解生成物の炭素原子と
水素原子の原子比（以下Ｃ／ Ｈ比という）が結果的に
０．８〜１．５、好ましくは０．９〜１．２の範囲に入
るよう実験により定めればよい。
このようにして得られるＰＣ物質に溶剤を加えて溶解さ
せ、濃度２００〜５００ｆｉ／７３の溶液を作る。溶剤
は溶解性の点から脂肪族塩素系の溶剤が好ましい。不溶
解物が残ればろ過して不溶解物を取除いてもよい。とく
に、ひび割れ防止効果を高めたい場合には前記溶液に骨
材として炭素、炭化珪素など無機質の粉末または繊維を
配合することも好ましい。
せ、濃度２００〜５００ｆｉ／７３の溶液を作る。溶剤
は溶解性の点から脂肪族塩素系の溶剤が好ましい。不溶
解物が残ればろ過して不溶解物を取除いてもよい。とく
に、ひび割れ防止効果を高めたい場合には前記溶液に骨
材として炭素、炭化珪素など無機質の粉末または繊維を
配合することも好ましい。
炭素系の骨材としてはガラス状炭素の原料である有機重
合体の炭化物を粉砕したものがガラス状炭素との親和性
の点でとくに好ましい。
合体の炭化物を粉砕したものがガラス状炭素との親和性
の点でとくに好ましい。
骨材の平均粒径はできれば２０μｍ以下になるよう細か
く調整したはうが形成されるフィルムの表面状態の点で
好ましい。炭素粉末の混合添加量は形成しようとするフ
ィルム厚さとの関連で、厚くする必要があれば添加量も
より多くするとよいが、用いる前記溶液中のＰＣ物質に
対して２００重量部を越えると形成しようとするフィル
ムの不浸透性の点や、均一性などの点で問題が生じてく
る。また、得ようとするガラス状炭素フィルムの厚さが
厚いほど炭化する際の昇温速度は遅くするほうが好まし
い。
く調整したはうが形成されるフィルムの表面状態の点で
好ましい。炭素粉末の混合添加量は形成しようとするフ
ィルム厚さとの関連で、厚くする必要があれば添加量も
より多くするとよいが、用いる前記溶液中のＰＣ物質に
対して２００重量部を越えると形成しようとするフィル
ムの不浸透性の点や、均一性などの点で問題が生じてく
る。また、得ようとするガラス状炭素フィルムの厚さが
厚いほど炭化する際の昇温速度は遅くするほうが好まし
い。
前記溶液を耐熱性材料上に塗布する。耐熱性材料として
は、セラミックス、金属、炭素材など焼成温度、目的に
応じて各種のものが可能である力ζ表面の気孔率の小さ
い滑らかなものが好ましい。
は、セラミックス、金属、炭素材など焼成温度、目的に
応じて各種のものが可能である力ζ表面の気孔率の小さ
い滑らかなものが好ましい。
塗布の方法は超音波含浸、はけ塗り、スプレー、浸漬な
どである。塗布した後に比較的低温（５０〜１００℃て
いど）で乾燥することが好ましい。
どである。塗布した後に比較的低温（５０〜１００℃て
いど）で乾燥することが好ましい。
また、空気中１５０〜３５０℃の温度で不融化処理を行
なうことも好ましいことである。
なうことも好ましいことである。
ついで、窒素、アルゴンなど不活性雰囲気下で８００〜
１３００℃で３０分以上の加熱・焼成を行なって耐熱性
材料表面の塗膜を炭化させる。そして、生成したフィル
ムを耐熱性材料から剥がす。
１３００℃で３０分以上の加熱・焼成を行なって耐熱性
材料表面の塗膜を炭化させる。そして、生成したフィル
ムを耐熱性材料から剥がす。
以下、実施例により本発明を具体的に説明する。
実施例１
塩化ビニル樹脂（電気化学工業■製Ｐｖｃ −１１０８
）を加熱炉に入れ、アルゴンガス雰囲気下、３９０℃で
９０分加熱することによりＰＣ物質を得た。生成したＰ
Ｃ物質をトリクロロエチレンに溶解して濃度５００１１
／ｌの溶液にした。
）を加熱炉に入れ、アルゴンガス雰囲気下、３９０℃で
９０分加熱することによりＰＣ物質を得た。生成したＰ
Ｃ物質をトリクロロエチレンに溶解して濃度５００１１
／ｌの溶液にした。
溶液を高純度石英ガラス板に塗布し、まず、加熱炉に入
れて５０℃で乾燥させ、厚さ０．１龍のフィルムを形成
させた。ついで雰囲気をアルゴンガスで置換したのち昇
温を始めた。
れて５０℃で乾燥させ、厚さ０．１龍のフィルムを形成
させた。ついで雰囲気をアルゴンガスで置換したのち昇
温を始めた。
温度が３００℃までは１０°Ｃ／ ｍ１ｎ ％ ３０
０〜５５０℃の間は１°Ｏ／ ｍｉｎ ％ ５５０〜
１０００℃の間は１０°Ｏ／ｍｒｎの昇温速度で昇温し
た。温度が１０００℃に達したとき、昇温を止め、１０
００℃で３時間保持することにより石英ガラス板上の塗
膜を炭化させた。加熱炉から石英ガラス板を取出して放
冷し、付着している炭素フィルムを剥離させた。
０〜５５０℃の間は１°Ｏ／ ｍｉｎ ％ ５５０〜
１０００℃の間は１０°Ｏ／ｍｒｎの昇温速度で昇温し
た。温度が１０００℃に達したとき、昇温を止め、１０
００℃で３時間保持することにより石英ガラス板上の塗
膜を炭化させた。加熱炉から石英ガラス板を取出して放
冷し、付着している炭素フィルムを剥離させた。
得られた炭素フィルムはラマン分光分析で波数１６５０
α−１にブロードな吸収帯を持つガラス状の炭素フィル
ムであった。
α−１にブロードな吸収帯を持つガラス状の炭素フィル
ムであった。
このフィルムの焼成前の厚さと焼成後の厚さの比を求め
、厚さ安定度とした。この結果は表に示すとおりである
。
、厚さ安定度とした。この結果は表に示すとおりである
。
なお、フィルムの厚さはマイクロメーターで測定した。
実施例２
ＰＣ物質の溶解濃度を１０００Ｆ／Ａ’にしたこと、Ｐ
Ｃ物質を石英ガラス板に塗布・乾燥後のフィルムの厚さ
が０．８ ｍ翼であったこと、加熱炉の昇温速度が２５
０℃までは５°Ｃ／ ｍｉｎ、 ２５０〜６００°Ｃの
間は１℃／ｍｉｎ、 ６００〜１０００°Ｃの間は１
０°Ｏ／ｍｉｎであったことの外は実施例１と同一条件
でガラス状炭素フィルムを製造した。
Ｃ物質を石英ガラス板に塗布・乾燥後のフィルムの厚さ
が０．８ ｍ翼であったこと、加熱炉の昇温速度が２５
０℃までは５°Ｃ／ ｍｉｎ、 ２５０〜６００°Ｃの
間は１℃／ｍｉｎ、 ６００〜１０００°Ｃの間は１
０°Ｏ／ｍｉｎであったことの外は実施例１と同一条件
でガラス状炭素フィルムを製造した。
このフィルムの厚さ安定度は表に示すとおりである。
実施例３
前記ＰＣ物質をアルゴンがス雰囲気下、ｓｏｏ’ｃで２
時間焼成して得た炭素塊を樹脂ライニングのボールミル
で粉砕して平均粒径２．２μｍにしたものを骨材とした
。
時間焼成して得た炭素塊を樹脂ライニングのボールミル
で粉砕して平均粒径２．２μｍにしたものを骨材とした
。
濃度５ＣＪＯ１／／ｌのＰＣ’物質溶液１１に骨材を３
００、Ｆ配分し、骨材が均一に分散するようによく攪拌
しながら石英ガラス板に塗布し、まず、加熱炉に入れて
５０℃で乾燥させ、厚さ２朋のフィルムを形成させた。
００、Ｆ配分し、骨材が均一に分散するようによく攪拌
しながら石英ガラス板に塗布し、まず、加熱炉に入れて
５０℃で乾燥させ、厚さ２朋のフィルムを形成させた。
ついで実施例２と同じ条件で焼成を行ないガラス状炭素
フィルムを製造した。
フィルムを製造した。
このフィルムの厚さ安定度は表に示すとおりである。
実施例４
ＰＣ物質溶液１１に骨材を５００ｇ配合したこと、５０
°Ｃで乾燥させて得たフィルムの厚さが５ｎであったこ
と、昇温速度が２５０ ’Ｃまでは６°Ｃ／ｍｉｎ％２
５０〜６０口０ｃは１°（：！ ／ ｍｉｎ 、 ６
００〜１０００℃は１０°Ｏ／ ｍｉｎであったほかは
実施例３と同じ条件でガラス状炭素フィルムを製造した
。このフィルムの厚さ安定度は表に示すとおりである。
°Ｃで乾燥させて得たフィルムの厚さが５ｎであったこ
と、昇温速度が２５０ ’Ｃまでは６°Ｃ／ｍｉｎ％２
５０〜６０口０ｃは１°（：！ ／ ｍｉｎ 、 ６
００〜１０００℃は１０°Ｏ／ ｍｉｎであったほかは
実施例３と同じ条件でガラス状炭素フィルムを製造した
。このフィルムの厚さ安定度は表に示すとおりである。
比較例
塩化ビニル樹脂（前記実施例で使用したもの）５０重量
部とフラン樹脂（日立化成工業株式会社製「ヒタフラン
ＪＶＦ−３０２）５０重量部を均一に混合し、カレンダ
ーロールを用いて厚さ４維のフィルムを成形した。この
フィルムを加熱炉に入れ、空気中で１０°Ｃ／時の昇温
速度で３００℃まで昇温させて不融化処理を施した。つ
いで雰四気をアルゴンにして１°Ｃ／Ｈｒの昇温速度で
昇温を行ない、温度が６００°Ｃに達したときに昇温速
度を１０°Ｃ／分にして更に昇温を行なった。温度が１
０００℃に達したとき加熱炉からフィルムを屯田して放
冷した。このフィルムの厚さ安定度は表に示すとおり、
上記各実施例に比べ非常に小さな値であった。
部とフラン樹脂（日立化成工業株式会社製「ヒタフラン
ＪＶＦ−３０２）５０重量部を均一に混合し、カレンダ
ーロールを用いて厚さ４維のフィルムを成形した。この
フィルムを加熱炉に入れ、空気中で１０°Ｃ／時の昇温
速度で３００℃まで昇温させて不融化処理を施した。つ
いで雰四気をアルゴンにして１°Ｃ／Ｈｒの昇温速度で
昇温を行ない、温度が６００°Ｃに達したときに昇温速
度を１０°Ｃ／分にして更に昇温を行なった。温度が１
０００℃に達したとき加熱炉からフィルムを屯田して放
冷した。このフィルムの厚さ安定度は表に示すとおり、
上記各実施例に比べ非常に小さな値であった。
本発明の製造法によれば焼成前後でフィルムの厚さの変
化が小さいので、寸法精度の高いがラス状炭素フィルム
が得られる。
化が小さいので、寸法精度の高いがラス状炭素フィルム
が得られる。
Claims (1)
- 有機重合体の熱分解生成物を溶剤に溶解して耐熱性材料
上に塗布し、不活性雰囲気中で焼成することにより塗膜
をガラス状の炭素フィルムとし、ついで該フィルムを耐
熱性材料から剥がすことを特徴とするガラス状炭素フィ
ルムの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61132671A JPS62292611A (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 | ガラス状炭素フイルムの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61132671A JPS62292611A (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 | ガラス状炭素フイルムの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62292611A true JPS62292611A (ja) | 1987-12-19 |
Family
ID=15086774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61132671A Pending JPS62292611A (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 | ガラス状炭素フイルムの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62292611A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5108597A (en) * | 1990-03-22 | 1992-04-28 | Regents Of The University Of Minnesota | Carbon-clad zirconium oxide particles |
| US5182016A (en) * | 1990-03-22 | 1993-01-26 | Regents Of The University Of Minnesota | Polymer-coated carbon-clad inorganic oxide particles |
| US5254262A (en) * | 1990-03-22 | 1993-10-19 | Regents Of The University Of Minnesota | Carbon-clad zirconium oxide particles |
| US5271833A (en) * | 1990-03-22 | 1993-12-21 | Regents Of The University Of Minnesota | Polymer-coated carbon-clad inorganic oxide particles |
-
1986
- 1986-06-10 JP JP61132671A patent/JPS62292611A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5108597A (en) * | 1990-03-22 | 1992-04-28 | Regents Of The University Of Minnesota | Carbon-clad zirconium oxide particles |
| US5182016A (en) * | 1990-03-22 | 1993-01-26 | Regents Of The University Of Minnesota | Polymer-coated carbon-clad inorganic oxide particles |
| US5254262A (en) * | 1990-03-22 | 1993-10-19 | Regents Of The University Of Minnesota | Carbon-clad zirconium oxide particles |
| US5271833A (en) * | 1990-03-22 | 1993-12-21 | Regents Of The University Of Minnesota | Polymer-coated carbon-clad inorganic oxide particles |
| US5346619A (en) * | 1990-03-22 | 1994-09-13 | Regents Of The University Of Minnesota | Carbon-clad zirconium oxide particles |
| USRE34910E (en) * | 1990-03-22 | 1995-04-18 | Regents Of The University Of Minnesota | Carbon-clad zirconium oxide particles |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4904424A (en) | Ceramic alloys from colloidal metal alloy suspensions | |
| JP2892853B2 (ja) | ポリカルボシランからの結晶質炭化珪素繊維の製造 | |
| DE2243527A1 (de) | Formkoerper aus homogenen mischungen von siliciumcarbid und siliciumnitrid und verfahren zu ihrer herstellung | |
| JP2000507198A (ja) | セラミック前駆体のナノ細孔性セラミックへの熱分解 | |
| JPH03187908A (ja) | 球状炭素材料の製造方法 | |
| EP0266860B1 (en) | Infusible preceramic polymers via plasma treatment | |
| US6627144B1 (en) | Carbonaceous heating element and process for producing the same | |
| EP0059899A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines porösen Siliziumkarbidkörpers | |
| FR2505816A1 (fr) | Procede de fabrication d'une piece ceramique en carbure de silicium fritte | |
| JPH1017382A (ja) | 炭化珪素成形体の製造方法 | |
| JP2892849B2 (ja) | プレセラミック重合体を不融化する方法 | |
| JP3215978B2 (ja) | ガラス状炭素被覆体の製造方法 | |
| JPS6350480A (ja) | ガラス状炭素被覆体の製造方法 | |
| JPH03247504A (ja) | 炭素薄板及びその製造方法 | |
| US4375443A (en) | Process for producing electrically-conductive articles from silicon powder by treatment in the presence of boron oxide | |
| JPS62270491A (ja) | サセプタ−の製造方法 | |
| Chu et al. | Preparation and characterization of amorphous SiC film by a liquid route | |
| US5178908A (en) | Process for coating carbonized material with metal | |
| JP3543980B2 (ja) | ガラス状カーボン材の製造方法 | |
| JPH0246550B2 (ja) | ||
| JPH01157465A (ja) | 高密度炭化ケイ素焼結体の製造法 | |
| FR2674846A1 (fr) | Procede de preparation de ceramiques monolithiques non oxydes a partir de precurseurs organometalliques. | |
| JPS62202881A (ja) | 不浸透性炭素被覆の形成法 | |
| JPH0694363B2 (ja) | ガラス状炭素成形品 | |
| JPS63175745A (ja) | 原子吸光分析用炭素炉の製造方法 |