JPS62294434A - 単分子累積膜成膜装置 - Google Patents
単分子累積膜成膜装置Info
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- JPS62294434A JPS62294434A JP13685086A JP13685086A JPS62294434A JP S62294434 A JPS62294434 A JP S62294434A JP 13685086 A JP13685086 A JP 13685086A JP 13685086 A JP13685086 A JP 13685086A JP S62294434 A JPS62294434 A JP S62294434A
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- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 46
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 32
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 23
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 10
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 7
- 238000012546 transfer Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 abstract 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 8
- 238000011161 development Methods 0.000 description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000002120 nanofilm Substances 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/18—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by dipping
- B05D1/20—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by dipping substances to be applied floating on a fluid
- B05D1/202—Langmuir Blodgett films (LB films)
- B05D1/206—LB troughs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Composite Materials (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は例えばたんばく質などの構造解析を行５際に使
用される試料として、ガラスなどの固体（以下担体と称
する）の表面に、展開水槽に満たした液体の表面に展開
された単分子膜を移しとる成膜方法のうち、担体を液面
とは平行に静かに降下させた後、担体を引き上げて、単
層の分子膜を担体表面に移しとる成膜装置（通称水平付
着法と呼ばれて因る。）において、担体上に複数層の単
分子膜を重ねて成膜する単分子累積膜の成膜装置に関す
る。
用される試料として、ガラスなどの固体（以下担体と称
する）の表面に、展開水槽に満たした液体の表面に展開
された単分子膜を移しとる成膜方法のうち、担体を液面
とは平行に静かに降下させた後、担体を引き上げて、単
層の分子膜を担体表面に移しとる成膜装置（通称水平付
着法と呼ばれて因る。）において、担体上に複数層の単
分子膜を重ねて成膜する単分子累積膜の成膜装置に関す
る。
［従来の技術］
従来、単分子膜を複数層間−の担体に累積する装置とし
て、単一の液槽内に満たした水、アルコールなどの液体
の表面に、採取すべき種類の物質の分子を一層の分子膜
となるように展開させておき、表面処理を施したガラス
などの担体を液面に平行に浸した後、担体を引き上げて
まず一層の単分子膜を移しと９、久に展開水槽の上辺に
沿って移動する移動バリヤを、担体によって移し取られ
た分子の占める面積分だけ移動して、展開物質の分子密
度を初期の分子密度に補正した後、すでに単分子膜が移
しとられている担体を再び液面上に水平に浸し、これを
引き上げて２層目の単分子膜を累積し、以下同様の方法
を反復することによシ、複数層の同種の単分子膜を累積
するということが行われていた。しかし、上記従来の単
一の水槽のみを使用する場合、担体に展開物質を移しと
る度毎に、液面上の展開物質の分子密度が変わるため、
移動バリヤを精密な計算にもとすき移動させなければな
らず、また、途中で分子密度を測定して、展開物質の状
態を監視する必要があるため、累積層の大きい累積膜の
成膜には非常に多くの時間が費やされるという欠点があ
った。
て、単一の液槽内に満たした水、アルコールなどの液体
の表面に、採取すべき種類の物質の分子を一層の分子膜
となるように展開させておき、表面処理を施したガラス
などの担体を液面に平行に浸した後、担体を引き上げて
まず一層の単分子膜を移しと９、久に展開水槽の上辺に
沿って移動する移動バリヤを、担体によって移し取られ
た分子の占める面積分だけ移動して、展開物質の分子密
度を初期の分子密度に補正した後、すでに単分子膜が移
しとられている担体を再び液面上に水平に浸し、これを
引き上げて２層目の単分子膜を累積し、以下同様の方法
を反復することによシ、複数層の同種の単分子膜を累積
するということが行われていた。しかし、上記従来の単
一の水槽のみを使用する場合、担体に展開物質を移しと
る度毎に、液面上の展開物質の分子密度が変わるため、
移動バリヤを精密な計算にもとすき移動させなければな
らず、また、途中で分子密度を測定して、展開物質の状
態を監視する必要があるため、累積層の大きい累積膜の
成膜には非常に多くの時間が費やされるという欠点があ
った。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明は前記従来の一槽の展開水槽による複数層の単分
子膜を成膜する際に、担体に単分子層を移しとる度毎に
移動バリヤ金移動するという煩雑な工程をとることなく
、より簡単な工程で複数層の単分子累′！ｊｔ、膜金成
膜できる装置を提供しようとするものであシ、かつ従来
使用していた展開水槽を生かして使用できるようにした
経済性をも考慮した装置を提供しようとするものである
。
子膜を成膜する際に、担体に単分子層を移しとる度毎に
移動バリヤ金移動するという煩雑な工程をとることなく
、より簡単な工程で複数層の単分子累′！ｊｔ、膜金成
膜できる装置を提供しようとするものであシ、かつ従来
使用していた展開水槽を生かして使用できるようにした
経済性をも考慮した装置を提供しようとするものである
。
［問題点を解決するための手段および作用コ本発明は前
記問題点を解決するために、単一の展開水槽を使用する
点は従来と同じであるが、単一の展開水槽の液面に展開
された単分子膜層を、分子密度が変わらないように仕切
バリヤで複数に仕切った仕切展開水槽の展開物質を任意
の順番で担体上に移しとることができるようにすること
により、問題点を解決しようとするものである。
記問題点を解決するために、単一の展開水槽を使用する
点は従来と同じであるが、単一の展開水槽の液面に展開
された単分子膜層を、分子密度が変わらないように仕切
バリヤで複数に仕切った仕切展開水槽の展開物質を任意
の順番で担体上に移しとることができるようにすること
により、問題点を解決しようとするものである。
し実施例］
以下、実施例を示す図面に従い本発明の詳細な説明する
。
。
第１図は本発明装置の全体を示す本ので、図中１は展開
水槽で、温度調整用還流水の流入口２と流出口３が設け
られている。４は展開水槽１の長手方向辺部１ａの内側
に沿って嵌めた断面矩形の仕切バーである。５は流しで
あり、流し底部から突出する支持棒６によって展開水槽
１が支持されている。７は仕切バリヤで、一対のバリヤ
昇降アーム８，８の上辺に載置されている。９はバリヤ
昇降−・ンドルでありバリヤ昇降アームｓｅｓをＨ開水
槽１の長手方向辺部１ａの上面と平行に昇降させるもの
であって、これを時計方向に回すとバリヤ昇降アーム８
．８が上昇し、第２図に示すように仕切バリヤ７の底面
７ｍが展開水槽１の上辺１ａから離れるようになってい
る。バリヤ昇降アーム８，８は門形の支持脚１０と昇降
部１１とによって流し５の底部によって支えられておシ
、昇降メカニズムは門形の支持脚１０に内蔵されている
。１２は移動バリヤで、展開水槽１の上辺１ａに置かれ
、バリヤ移送杆１３によって、展開水槽の長手方向に沿
って移動できるようになっている。
水槽で、温度調整用還流水の流入口２と流出口３が設け
られている。４は展開水槽１の長手方向辺部１ａの内側
に沿って嵌めた断面矩形の仕切バーである。５は流しで
あり、流し底部から突出する支持棒６によって展開水槽
１が支持されている。７は仕切バリヤで、一対のバリヤ
昇降アーム８，８の上辺に載置されている。９はバリヤ
昇降−・ンドルでありバリヤ昇降アームｓｅｓをＨ開水
槽１の長手方向辺部１ａの上面と平行に昇降させるもの
であって、これを時計方向に回すとバリヤ昇降アーム８
．８が上昇し、第２図に示すように仕切バリヤ７の底面
７ｍが展開水槽１の上辺１ａから離れるようになってい
る。バリヤ昇降アーム８，８は門形の支持脚１０と昇降
部１１とによって流し５の底部によって支えられておシ
、昇降メカニズムは門形の支持脚１０に内蔵されている
。１２は移動バリヤで、展開水槽１の上辺１ａに置かれ
、バリヤ移送杆１３によって、展開水槽の長手方向に沿
って移動できるようになっている。
１４はバリヤ制御部であり、バリヤ移送杆１３を移動さ
せるステッピングモータが内蔵されている。
せるステッピングモータが内蔵されている。
１５は基台部であり、基台部の底部の四隅には水平維持
用のネジ１６が突出している。また１７は分子膜圧計で
あり、吊下された！ロープ１８を昇降させることによｐ
１展開水槽１に満たした液体Ｒ上の展開物質九の分子膜
圧ｄｙｎ／／ｃｔｎ２を計測するものである。１９はガ
ラス板などの担体であシ、保持具２０を介して担体昇降
装置２１に液面とは水平に吊り下げられている。上記構
成になる本発明装置によって単分子膜を累積する過程を
以下に記す。
用のネジ１６が突出している。また１７は分子膜圧計で
あり、吊下された！ロープ１８を昇降させることによｐ
１展開水槽１に満たした液体Ｒ上の展開物質九の分子膜
圧ｄｙｎ／／ｃｔｎ２を計測するものである。１９はガ
ラス板などの担体であシ、保持具２０を介して担体昇降
装置２１に液面とは水平に吊り下げられている。上記構
成になる本発明装置によって単分子膜を累積する過程を
以下に記す。
（１）展開水槽１を水平維持用ネジ１６を調整して水平
状態にした後、展開水槽１内に水、アルコールなどの液
体を、液面が展開水槽の上面と面一になるように満たす
。このとき、バリヤ昇降アーム８．８は、第２図、第４
図に示す上昇状態にあり、仕切バリヤ７は第２図、第４
図に示すように展開水槽１の上面ＩＩＬからは離れてい
る。
状態にした後、展開水槽１内に水、アルコールなどの液
体を、液面が展開水槽の上面と面一になるように満たす
。このとき、バリヤ昇降アーム８．８は、第２図、第４
図に示す上昇状態にあり、仕切バリヤ７は第２図、第４
図に示すように展開水槽１の上面ＩＩＬからは離れてい
る。
（２）次に展開すべき物質の分子ａを水面上に拡散させ
、分子が水面上で単分子状態となるように移動バリヤ１
２を移動しピストン圧をかけて調整する。
、分子が水面上で単分子状態となるように移動バリヤ１
２を移動しピストン圧をかけて調整する。
（３）複数本の仕切バリヤ７をバリヤ昇降アーム上に載
置する。この仕切バリヤ７の相互の間隔は担体１９が通
過できれば任意でよいが、作業中の移動を防ぐため、バ
リヤ昇降アーム８の上面には位置決め孔８＆を設け、ま
た、仕切バリヤ７の両端部底面には位置決めビン７ａを
突設し、両者を嵌６一 合することにより、仕切バリヤ７がバリヤ昇降アーム８
によって等間隔に固定されるようにしである。そして仕
切バリヤ７の素材は担体表面と同じ性質（親水性か疎水
性か）に表面処理されている。
置する。この仕切バリヤ７の相互の間隔は担体１９が通
過できれば任意でよいが、作業中の移動を防ぐため、バ
リヤ昇降アーム８の上面には位置決め孔８＆を設け、ま
た、仕切バリヤ７の両端部底面には位置決めビン７ａを
突設し、両者を嵌６一 合することにより、仕切バリヤ７がバリヤ昇降アーム８
によって等間隔に固定されるようにしである。そして仕
切バリヤ７の素材は担体表面と同じ性質（親水性か疎水
性か）に表面処理されている。
（４）前記の状態のまま、バリヤ昇降−・ンドル９を反
時計方向に回すと、バリヤ昇降アーム８．８は、水平状
態のまま同時に降下し、第３図、第５図に示すように仕
切バリヤ７の底面７ｂは展開水槽１の上面１ａおよび液
体Ｒ上の展開された単分子膜ａに接触する。このとき、
仕切バリヤ７の底面７ｂは単分子膜ａを吸着した状態と
なるため、仕切バリヤ７の底面７ｂが接触しない部分の
液面上の単分子膜の密度に変化がないため、複数本の仕
切バリヤ７で仕切られた液面上の単分子膜密度は全て同
じものとなる。
時計方向に回すと、バリヤ昇降アーム８．８は、水平状
態のまま同時に降下し、第３図、第５図に示すように仕
切バリヤ７の底面７ｂは展開水槽１の上面１ａおよび液
体Ｒ上の展開された単分子膜ａに接触する。このとき、
仕切バリヤ７の底面７ｂは単分子膜ａを吸着した状態と
なるため、仕切バリヤ７の底面７ｂが接触しない部分の
液面上の単分子膜の密度に変化がないため、複数本の仕
切バリヤ７で仕切られた液面上の単分子膜密度は全て同
じものとなる。
（５）カくシテ、仕切バリヤ７によって展開水槽１は、
同じ分子密度を有する複数の仕切シ展開水槽１８が現出
するので、担体１９を担体昇降装置２１を展開水槽１の
長手方向に移動させながら、仕切υ展開水槽１ｓの単分
子膜ａを順々に移し取ってゆくことによシ、担体１９の
表面１！数層の単分子膜を累積してゆくことができる。
同じ分子密度を有する複数の仕切シ展開水槽１８が現出
するので、担体１９を担体昇降装置２１を展開水槽１の
長手方向に移動させながら、仕切υ展開水槽１ｓの単分
子膜ａを順々に移し取ってゆくことによシ、担体１９の
表面１！数層の単分子膜を累積してゆくことができる。
この状態を第６図以下の図面で模型的に示している。す
なわち第６図は第１回採取状態、第７図は第１回引き上
げ状態、第８図は第２回採取状態、第９図は第２回引き
上げ状態を示し、以後同様の過程を所望回数反復するこ
とにより、希望する層数の単分子累積膜を成膜すること
ができる。
なわち第６図は第１回採取状態、第７図は第１回引き上
げ状態、第８図は第２回採取状態、第９図は第２回引き
上げ状態を示し、以後同様の過程を所望回数反復するこ
とにより、希望する層数の単分子累積膜を成膜すること
ができる。
なお、仕切バー４の作用は、従来の大きな開口面を有す
る展開水槽を使用する場合、そのままでは液１ｊ上に展
開物質の量が多いということ、および水面の面積が大き
いと液面が安定し難いことによシ、展開水槽の幅を狭め
て、液面の表面積を減少させるものである。これによっ
て液面上の展開物質の量を減少させ、また仕切バリヤ７
で仕切られた仕切展開水槽ＩＢの幅寸法が仕切バー４に
よって左右から狭められているため、液面の揺動が著し
く減少し、液面が安定するので担体１９を展開物質に浸
す際の作業能率が大幅に向上するという効果を有するも
のである。
る展開水槽を使用する場合、そのままでは液１ｊ上に展
開物質の量が多いということ、および水面の面積が大き
いと液面が安定し難いことによシ、展開水槽の幅を狭め
て、液面の表面積を減少させるものである。これによっ
て液面上の展開物質の量を減少させ、また仕切バリヤ７
で仕切られた仕切展開水槽ＩＢの幅寸法が仕切バー４に
よって左右から狭められているため、液面の揺動が著し
く減少し、液面が安定するので担体１９を展開物質に浸
す際の作業能率が大幅に向上するという効果を有するも
のである。
［発明の効果］
以上のように本発明になる単分子累積膜成膜装置は、従
来の１回の採堆毎に展開物質の分子密度を調整するとい
う煩雑な工程を径ることなく、単一の展開水槽を使用し
ながら、液面上に予め展開した単分子膜を分子密度を変
えることなく複数個の小さな仕切展開水槽に仕切ること
Ｋよシ、複数の展開水槽が現出したのと同じ効果を生じ
、このため、担体を順々に仕切展開水槽の上に移動して
採取してゆ（という簡単な操作によシ、積層数の大きい
累積膜でも高品質のものが得られる優れた発明である。
来の１回の採堆毎に展開物質の分子密度を調整するとい
う煩雑な工程を径ることなく、単一の展開水槽を使用し
ながら、液面上に予め展開した単分子膜を分子密度を変
えることなく複数個の小さな仕切展開水槽に仕切ること
Ｋよシ、複数の展開水槽が現出したのと同じ効果を生じ
、このため、担体を順々に仕切展開水槽の上に移動して
採取してゆ（という簡単な操作によシ、積層数の大きい
累積膜でも高品質のものが得られる優れた発明である。
図面はいずれも本発明の実施例を示すもので、第１図は
装置全体を示す斜視図、第２図は第１図中の■−■線に
沿う要部縦断面、第３図は第２図においてバリヤ昇降ア
ームが下降した状態を示す要部縦断面図、第４図は、第
２図中の■−■線に沿う拡大断面図、第５図は第３図中
のｖ −ｖｍ！に沿う拡大断面図、第６図、第７図、第
８図、第９図はいずれも、単分子累積膜成膜の過程を模
型的に示した説明図である。 １・・・展開水槽、４・・・仕切バー、７・・・仕切バ
リヤ、８・・・バリヤ昇降アーム、９・・・バリヤ昇降
−・ンドル、１２・・・移動バリヤ、７ＩＬ・・・決置
決めピン、８ｍ・・・決置決め孔。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦−１〇− 第３図７」 第６図 ｑ 第７図 第８図 第９図
装置全体を示す斜視図、第２図は第１図中の■−■線に
沿う要部縦断面、第３図は第２図においてバリヤ昇降ア
ームが下降した状態を示す要部縦断面図、第４図は、第
２図中の■−■線に沿う拡大断面図、第５図は第３図中
のｖ −ｖｍ！に沿う拡大断面図、第６図、第７図、第
８図、第９図はいずれも、単分子累積膜成膜の過程を模
型的に示した説明図である。 １・・・展開水槽、４・・・仕切バー、７・・・仕切バ
リヤ、８・・・バリヤ昇降アーム、９・・・バリヤ昇降
−・ンドル、１２・・・移動バリヤ、７ＩＬ・・・決置
決めピン、８ｍ・・・決置決め孔。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦−１〇− 第３図７」 第６図 ｑ 第７図 第８図 第９図
Claims (3)
- （１）液面上の展開物質にピストン圧をかける移動バリ
ヤを有する展開水槽と、展開水槽の長手方向辺部外側に
平行に設けたバリヤ昇降アームと、バリヤ昇降アームを
水平に昇降させる昇降機構を有することを特徴とする単
分子累積膜成膜装置。 - （２）バリヤ昇降アーム上面に仕切バリヤ固定用の位置
決め孔を等間隔に設けてなる特許請求の範囲第（１）項
記載の単分子累積膜成膜装置。 - （３）展開水槽の長手方向辺部内側に沿って展開水槽内
径と同じ長さの棒状の仕切バーを取り付けて展開水槽の
有効面積を減縮した展開水槽を有する特許請求の範囲第
（１）項記載の単分子累積膜成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13685086A JPS62294434A (ja) | 1986-06-12 | 1986-06-12 | 単分子累積膜成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13685086A JPS62294434A (ja) | 1986-06-12 | 1986-06-12 | 単分子累積膜成膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62294434A true JPS62294434A (ja) | 1987-12-21 |
Family
ID=15184963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13685086A Pending JPS62294434A (ja) | 1986-06-12 | 1986-06-12 | 単分子累積膜成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62294434A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988006926A1 (fr) * | 1987-03-16 | 1988-09-22 | Shingijyutsu Kaihatsu Jigyoudan | Formation de pellicules monomoleculaires et installation de stratification desdites pellicules |
| JPH02160072A (ja) * | 1988-12-13 | 1990-06-20 | Fujitsu Ltd | 製膜装置および製膜方法 |
| US5217670A (en) * | 1987-03-16 | 1993-06-08 | Shingitjyutsu Kaihatsu Jigyoudan | Method of forming monomolecular film and overlaying apparatus thereof |
| US10688521B1 (en) * | 2019-06-04 | 2020-06-23 | Weixing Lu | Langmuir-Blodgett double trough system |
-
1986
- 1986-06-12 JP JP13685086A patent/JPS62294434A/ja active Pending
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