JPS6230125B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS6230125B2
JPS6230125B2 JP699283A JP699283A JPS6230125B2 JP S6230125 B2 JPS6230125 B2 JP S6230125B2 JP 699283 A JP699283 A JP 699283A JP 699283 A JP699283 A JP 699283A JP S6230125 B2 JPS6230125 B2 JP S6230125B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
type
powder
particle size
silicon nitride
average particle
Prior art date
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Expired
Application number
JP699283A
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English (en)
Other versions
JPS59137310A (ja
Inventor
Akira Senda
Mitsuo Umemura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP699283A priority Critical patent/JPS59137310A/ja
Publication of JPS59137310A publication Critical patent/JPS59137310A/ja
Publication of JPS6230125B2 publication Critical patent/JPS6230125B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/06Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
    • C01B21/068Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with silicon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は窒化けい素粉末の製造方法、特にはα
型窒化けい素含有率の高い窒化けい素粉末の製造
方法に関するものである。
窒化けい素(以下Si3N4と略記する)について
はその焼結体が耐熱性、耐蝕性、耐摩耗性にすぐ
れたものであり、かつは高硬度、軽量であるとい
う特性をもつものであることから、ニユーセラミ
ツクス材として注目されており、ガスタービン、
切削工具、高温ベアリング、メカニカルシール材
としての用途が期待されている。
他方、このSi3N4についてはその結晶形からα
型Si3N4とβ型Si3N4の両者が存在するが、上記し
た各種の用途にはα型Si3N4を主成分とする原料
粉末の焼結体が常温、1000℃を超える高温のいず
れにおいてもβ型Si3N4を主体とする粉末材から
得られる焼結体よりもすぐれた物性を示し、特に
耐摩耗性が要求される切削工具チツプについては
α型Si3N4の粉末から得られる焼結体がすぐれた
物性を示すものであることが知られている。
そのため、α型Si3N4の含有率の高いSi3N4粉末
の生産供給が望まれているが、金属けい素と窒素
ガスとからSi3N4を製造する方法によつてα型
Si3N4を生産するためには、これをできるだけ低
温で実施する必要があるにも拘わらず、この反応
が発熱反応であることから、これにはその反応系
を冷却する必要があるほか、低温反応であること
から反応時間が長くなるという不利があり、した
がつてこのα型Si3N4を90%以上含有するSi3N4
生産は非常に困難なものとされている。
本発明はこのような不利を解決したα型Si3N4
の高い含有率で含むSi3N4粉末の製造方法に関す
るものであり、これは金属けい素と窒素ガスとの
反応で得られたα型窒化けい素を50%以上、β型
窒化けい素を50%以下含有する窒化けい素を平均
粒子径5μm以下に粉砕したのち、これを分級し
粒度の小さい部分を回収することを特徴とするも
のである。
これを説明すると、本発明者らはα型Si3N4
含有率の高いSi3N4粉末の取得方法について種々
検討し、これについては金属けい素と窒素ガスと
の反応系を検討してもα型Si3N4を90%以上含有
するSi3N4を得ることは困難であるということか
ら、物理的手段でこれを取得することとし、α型
Si3N4とβ型Si3N4の分離方法について研究を行な
つたところ、金属けい素と窒素ガスとの化学反応
で作られたSi3N4を5μm程度にまで粉砕する
と、α型Si3N4がこの反応では針状結晶として発
達し易いものでこれが粉砕操作で容易に破断され
るものであることから、このように粉砕したもの
をついで分級すると、意外にもこの粒度の小さい
部分がα型Si3N4の含有率の高いものになること
を見出し、これについてさらに検討を加え本発明
を完成させた。
本発明方法で始発材とされるSi3N4は従来公知
の方法とされる金属けい素と窒素ガスとの直接反
応によつて作られたものとされるが、しかしこれ
については、それがα型Si3N4の含有量50%以下
のものであると、爾後の分級処理によつてもα型
Si3N4の含有量の高いものを得るのが難しくなる
ので、これは少なくともα型Si3N4を50%含むも
のとすることが必要とされるが、この残余は50%
以下のβ型Si3N4とFe、Al、Caなど金属不純物
0.5%以下、Si0.3%以下、SiO21.5%以下からなる
ものとすればよい。
この始発材としてのSi3N4の粉砕は任意の公知
の手段、例えばジエツトミル、ボールミル、アト
ライター、振動ミル、擂潰機などを用いて行なえ
ばよいが、これはこの粉砕が不充分であるとα型
Si3N4が粉砕し易いものであるという効果が十分
でなくなるので、これらを約5μm程度にまで粉
砕することが必要とされる。また、この粉砕は
Si3N4粉末を5μm以下のサブミクロン程度にま
で粉砕してもよいが、これをあまり細かくすると
爾後の分級によるα型とβ型の分離効率が却つて
わるくなるので、これは1μm〜5μmの範囲と
することがよい。
このように粉砕処理されたSi3N4粉末はついで
分級処理を行なうのであるが、これは風篩、水簸
のいずれでもよく、風篩による場合はサイクロ
ン、バツクフイルターで分離すればよく、水簸に
よる場合も公知の水力分級機を用いて行なえばよ
い。この分級処理は上記によりSi3N4粉末が5μ
m以下にまで粉砕されているので、これは例えば
1μm以上のものとそれ以下のものとに分離すれ
ばよく、α型のSi3N4がβ型Si3N4よりも粉砕され
易いということから、1μm以下の部分にα型
Si3N4が多くなり、結果において分級処理によつ
て得られる粒度の小さい部分のものがα型Si3N4
を高い含有量で含むものとして取得され、これに
よれば始発材として比較的高い含有率のもの、例
えば80%のものを使用すれば90%までの高い含有
率でα型Si3N4を含むSi3N4粉末を容易に得ること
ができるという工業的な有利性が与えられる。
つぎに本発明の実施例をあげる。
実施例 1 平均粒子径が325メツシユである、金属けい素
と窒素ガスとの反応で作つたα型Si3N4を70%、
β型Si3N4を30%含有する市販のSi3N4粉末10Kgを
ジエツトミル粉砕機を用いて、原料供給量3Kg/
時、風量2.0m3/分、プツシヤーノズル7Kg/
cm2、グラインデイングノズル5〜6Kg/cm2の条件
で、平均粒子径が5μmになるように粉砕し、こ
の粉砕物を水力分級機で水簸して平均粒子径が1
μmであるものを集めたところ、これは5Kgであ
り、そのSi3N4の含有量をX線回析法でしらべた
ところ、これは85%のα型Si3N4を含有するSi3N4
粉末であつた。
また、こゝに得られたα型Si3N4を85%含有す
るSi3N4粉末5Kgをその平均粒子径が0.8μm以上
のものと0.8μm以下のものに分級し、この各々
に含まれているα型Si3N4の含有量をしらべたと
ころ、10回のくり返し試験の平均値として0.8μ
m以上のものはそれが84%、0.8μm以下のもの
は87%のα型Si3N4を含有するものであつた。
実施例 2 平均粒子径が7μmである、金属けい素と窒素
ガスとの反応で作つたα型Si3N4を92%、β型
Si3N4を8%含有するSi3N4粉末を直径3/8インチ
のメデイアを80%充填した振動ミルに装入し、振
動数1000cpm、震巾10mm、n−ヘキサン湿式、供
給粉末量1Kg/時、粉砕時間1時間という処理条
件で粉砕し、平均粒子径4.5μmのSi3N4粉末を得
た。
つぎにこの粉末を風篩分級機を用いて平均粒子
径が1μm以上のものと1μm以下のものとに分
けたところ、この1μm以下のものは40重量%で
あり、このもののα型Si3N4の含有量をX線回析
法でしらべたところ、これは98%のα型Si3N4
含むものであつた。
比較例 実施例1と同じ試料を使用し、ジエツトミル粉
砕機への供給量を5Kg/時としたほかは実施例1
と同様の条件でこれを粉砕したところ、平均粒子
径が13μmのSi3N4粉末が得られた。
ついで、これを風篩装置に送り、サイクロンと
バツクフイルターで回収したところ、その80%
が、サイクロンで回収され、これらの回収粉の平
均粒子径はサイクロン回収粉が15μm、バツクフ
イルター回収粉が3μmであつたが、夫々のα型
Si3N4の含有量はサイクロン回収粉が70%と変ら
ず、バツクフイルター回収粉も72%と若干増加し
たに止まつた。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 金属けい素と窒素ガスとの反応で得られたα
    型窒化けい素を50%以上、β型窒化けい素を50%
    以下含有する窒化けい素を平均粒子径が5μm以
    下に粉砕したのち、これを分級し、粒度の小さい
    部分を回収することを特徴とするα型窒化けい素
    の含有率を高めた窒化けい素粉末の製造方法。
JP699283A 1983-01-19 1983-01-19 窒化けい素粉末の製造方法 Granted JPS59137310A (ja)

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JP699283A JPS59137310A (ja) 1983-01-19 1983-01-19 窒化けい素粉末の製造方法

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JP699283A JPS59137310A (ja) 1983-01-19 1983-01-19 窒化けい素粉末の製造方法

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JPS59137310A JPS59137310A (ja) 1984-08-07
JPS6230125B2 true JPS6230125B2 (ja) 1987-06-30

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JP2597165B2 (ja) * 1988-10-07 1997-04-02 株式会社竹中工務店 広告看板の照明装置
JP2009013830A (ja) 2007-07-03 2009-01-22 Otics Corp ラッシュアジャスタ
JP4865740B2 (ja) * 2008-01-30 2012-02-01 株式会社オティックス ラッシュアジャスタ

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