JPS6230668A - 焼結性の良好な窒化珪素粉末を製造する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は、セラミック物品を製造する方法に関するもの
であり、特には焼結用添加剤を均質に分散せしめた窒化
珪素物品を製造する方法に関する。

セラミック処理における主要な問題は、ハイテク用途向
けに好適な所要の性質を具備するセラミック材料を再現
性良く且つ高い信頼性の下で製造しうるか否かである。

材料性質の再現性の欠如は、特定されたミクロ組織の発
現をコントロールしえないことにある。どのようなミク
ロ組織が発現すかは、焼結材料に対しては、出発粉末の
特性、生の突固め体ミクロ組織並びに焼結及び粗化プロ
セスに依存する。焼成中に起るプロセスについて多数の
有意義な研究が為されてきたけれども多くの研究者は焼
結中に発現するミクロ組織は粉末特性と生のミクロ組織
によっておおよそ決定されると信じている。従って、一
層強靭な且つ一層信頼性のあるセラミックに対する鍵と
なる因子は、破壊につながる傷や空洞をほとんど生成し
ない新たな処理技術の開発にある。

発明の概要 本発明に従えば、焼結用添加剤を均質に分散せしめた窒
化珪素物品を製造する為の改善された方法が提供される
。この方法は次の段階を包含する二段階１−窒化珪素粒
子を分散試剤中に分散せしめて窒化珪素スラリを形成す
ること、 段階２−該窒化珪素スラリに焼結用添加剤溶液を添加し
て７未満のｐＨを有する均質スラリを形成すること、 段階５−段階２の生成物を乾燥して、窒化珪素粒子上に
焼結用添加剤の実質上一様なコーティングを有する乾燥
粉末を形成すること、 段階４一段階３からの生成物の焼結用添加剤をそれらの
相当する酸化物に変換すること、段階５一段階４からの
生成物を窒化珪素物品に成形すること、及び 段階６一段階５からの生成物を１７００°Ｃ未満の温度
で無加圧焼結して、理論密度の９８％を越える密度を有
する高密化窒化珪素物品を形成すること ２種のＳｉ３Ｎ４基セラミック、即ち６　ｗｌｏ　Ｙ２
Ｏ３を焼結助剤として有するもの（ＰＹ６と表示）と６
　ｗｌｏ　ＹｚＯｓ及び２　Ｗｌｏ　Ａ　１ｚｏｓを焼
結助剤として有するもの（ＡＹ（Ｓと表示）を例にとっ
て本発明の改善プロセスを説明する。但し、本処理技術
は焼結用添加剤として酸化物を使用するその他のセラミ
ック系にも適用しうる。

第１の粉末処理方法は焼結添加剤の無機塩の使用に基づ
くものである。

この方法は、分散したＳｉ３Ｎ４粉末スラリに、ＡＹ６
に対しては硝酸アルミニウム及び硝酸イツトリウムそし
てＰＹ６に対しては硝酸イツトリウムのような焼結用添
加剤の水溶液の添加を基礎としている。マグネシウム、
ランタン、セリウム、ハフニウム、ジルコニウム及び希
土類の可溶性塩のような他の焼結用添加剤も使用可能で
ある。

一般に、予備粉砕（ミリング）Ｓｉ３Ｎ４粉末が、高誘
電率溶液中に、超音波液体処理装置及び／或いは湿式粉
砕（ミリング）技術の使用により分散せしめられる。分
散試剤は、低分子量アルコール、アセトン、ＮＨ４ＯＨ
のような弱アルカリ媒体或いは１　ｗｌｏ　＜えん酸ア
ンモニウム溶液のような弱酸性媒体でありうる。焼結用
添加剤の硝酸塩溶液を含有する、生成分散体は７．０未
満のｐＨと約１６ｇ／ｌのスリップ密度を有し、そして
固体分含有率は約３０〜３５容積％である。その後、こ
の分散体は噴霧乾燥若しくはパン乾燥（皿状のパン上で
の乾燥）を施されて、ゆるく凝集した粉末（噴霧乾燥粉
末の場合には球状）を先成し、続いてＮ２／空気の下で
４００〜５００℃において焼成されて硝酸塩をそれらの
相当する酸化物に分解する。

こうして調製された粉末は従来方式でボールミル処理さ
れた材料より１５〜五〇倍高い表面積を有している。等
圧静圧プレス成形技術、スリップ鋳造成形技術等により
作製されたビレットが１７００℃未満の温度においてそ
して周囲圧力において、改善された強度及び信頼性をも
って、理論密度の約９８．０％まで焼結されうる。硝酸
塩以外にも、酢酸塩、蓚酸塩及び乳酸塩のような他の無
機塩もまた本方法に適用されうる。

金属アルフキシト前駆体を使用するまた別の方法は、Ａ
Ｙ６セラミツクに対してはＳ　ｉ　−０−Ｙ−０−３ｉ
−０−ＡＩのようなネットワークを恐らく有する無機質
ゲルを生成する為制限された量のＮ２０の存在下でアル
ミニウムアルコキシド（アルミニウムエトキシド、アル
ミニウムイソプロポキシド或いはアルミニウムテトラブ
トキシド）とイツトリウムイソプロポキシドとの重合（
即ち加水分解と重縮合）反応を基礎とする。この方法の
利点は・所望される多成分酸化物のすべてが加水分解と
重縮合後に充分に定義された化学量論でもって生成され
うることである。一般に、この方法から調製されたガラ
ス質相ははるかに低目の処理温度で形成されうる。

例えば、アルフキシト前駆体がＳｉ３Ｎ４の充分に分散
されたアルコール溶液に添加される。

無機重合体がアルコキシドの加水分解によりＳｉ３Ｎ４
粒子上に形成される。無機重合体をそれらの相当する酸
化物に変換する焼成段階後、Ｓｉ３Ｎ４は焼結用添加剤
の酸化物で均質に被覆される。

その後、焼成粉末はペレット或いはビレットに成形され
そして無加圧焼結されて高密化物品を形成する。

ペレットとしてそしてビレットとして成形された処理ず
みＡＹ６材料の焼結性の研究結果が表■及び表Ｈにそれ
ぞれ表覧されている。結果は、本方法によって処理され
た粉末が一層反応性でありそしてペレットは生のペレッ
トの密度に無関係に２００　ｐｓｉ　Ｎｇの下で１７１
０℃において理論密度まで焼結されうろことを示してい
る。本粉末の優秀性は焼結温度及び圧力が低い程顕著で
ある。

従来型式のボールミル処理された粉末を使用した対照用
ロットに対しての９７．５％と比較して、本ペレットは
６０　ｐａｔ　Ｎ２圧力の下で１７５０℃において９９
０％以上に焼結された。一般に、本発明に従う５ｉｓＮ
４の焼結用添加剤の化学的処理は、減少せる温度及び圧
力での焼結性に関してまた焼結圧粉体の粒寸のコントロ
ールに関して新たな技術的可能性を提供する。新規な焼
結過程において焼結されたこれらビレットＡＹ６、ＰＹ
６の機械′的性質が周囲温度から１２００°Ｃまで評価
された。

その結果は、従来型式のボールミル処理された粉末から
処理されそしてＡＹ６材料に対して１８５０℃、２００
　ｐｓｉ　Ｎ２過剰圧そしてＰＹ６材料に対しては１９
００℃、２００ｐｓｉＮｚ過剰圧において焼結されたビ
レットから得られたデータに匹敵ししかももつと高い信
頼性を有した。

実験例 概説：本発明において使用したＳｉ３Ｎ４粉末は本件出
願人によりＳＮ５０２の表示者において製造されている
ものである。５Ｎ５０２粉末は５ＩＣ１４とＮＨ，（気
体）との反応により生成される高純度材料である。この
粉末は、９２％以下のα−３１３Ｎ４．７％β−５ｉｓ
Ｎａそして１％未満の遊離Ｓｔから成る結晶性材料であ
る。表ＷＪ積は約２．５〜４．　Ｏｔｎ２／りである。

硝酸イツトリウム（９９９％純度）及び試薬等級硝酸ア
ルミニウムはＡＥ　　ＳＡＲジョンソンマシイ社から購
入されそして焼結用添加剤を調製するのに使用された。

原料ＳＮ５０２粉末は通常、スフットマーレイ（５ｅｏ
ｔｔ　Ｍｕｒｒａｙ　）ミルにおいて５１３Ｎ４　　ミ
ル媒体を使用して４０重量％ステアリン酸と共に４８〜
７２時間粉砕処理された。粉砕ＳＮ５０２の粒寸は、α
１〜１２ミクロンであり、５０重量％は０．６ミクロン
未満でありそして８５重量％が２．０ミクロン未満であ
る。処理後の代表的粒寸は、０．８〜２０ミク田ンであ
り、５０重量％は５ミクロン未満でありそして５５重量
％は１０ミク四ン未満である。

ｗｌｏ　Ｙ２Ｏ３及び２　ｗｌｏ　Ａｌｔｏ３を有する
窒化珪素セラミックはＡｒ１と表示されそして６　Ｗｌ
ｏ　Ｙ２Ｏ，１を有する窒化珪素セラミックはＰＹ６と
表示されるＯ ＰＹ、５の場合、上述のようにして調製された３　７、
０９のＳＮ５０２窒化珪素粉末が、１００−の１　ｗｌ
ｏ　＜えん酸アンモニウム溶液、２７．５ｍｌの硝酸イ
ツトリウム溶液（８６，６９／ｌのＹ２Ｏ３に相当する
濃度）及び７２−水と混合された。混合物は、窒化珪素
粉末を完全に分散せしめる為ヒートシステムズウルトラ
ーソニック社製モデルＷ３７５超音波液体処理機を使用
して３０分間超音波分散処理された。スラリの最終ｐＨ
はｔ８７であった。約５０　ｗ１０粉末含有率を有する
生成スラリか約１９０〜２００℃において２ｏｏ＊／ｈ
ｒの送給率でＢｕＣｈｉ　１９０ミニスプレイドライヤ
を使用して噴霧乾燥された。

噴霧乾燥された粉末はその後４５０℃で２捧時時間焼成
されて、イツ）　ＩＪウムの硝酸塩を酸化物に変換した
。

Ａｒ１の場合、上述のようにして調製された５００ｇの
ＳＮ５０２窒化珪素粉末が、２．５ｇのくえん酸アンモ
ニウム、３７７ｒｎｔの硝酸イツトリウム溶液（Ｂ６．
８９／ＬのＹ２Ｏ３に相当する濃度）、４６０ゴの硝酸
アルミニウム溶液（２４，０り／ｌのＡｌ２Ｏ３相当量
を含有）及び４００１Ｉ！７！の１Ｎ水酸化アンモニウ
ム溶液と混合された。混合物はＳｉ３Ｎ４ミリング媒体
を使用して１６時時間式粉砕混錬処理された。このスラ
リは３５０メツシユ篩を通して分篩された。スラリの密
度は約１３９／−であった。スラリの最終は５．６０で
あった。約３５％粉末含有率を有する生成スラリか１９
０〜２００℃においてＡｎｈｙｄｒｏ　５ｐｒａｙ　Ｄ
ｒｙｅｒを使用した場合には２Ｌ／ｈｒの送給速度で或
いはＢｕｃｈｉ１９０ミニ噴霧乾燥器を使用した場合に
は２００ｍＡ／ｈｒの送給速度で噴霧乾燥された。その
後、噴霧乾燥粉末は５００℃で２Ａ時間焼成されて、イ
ツトリウム及びアルミニウムの硝酸塩を酸化物に変換し
た。

生成する化学処理粉末の表面積は従来のボールミル処理
粉末の１２．０〜１五Ｑｍ２／り範囲とは対照的に１＆
０〜２２．０ｍ”／ｇの範囲を有した。

１２５α直径で約１７の重量の小さなペレットが、ｗｃ
ダイ内で２１０　ＭＮｍ−２（５Ｑ、　０００　ｐｇｉ
ｇ）においてプレス成形された。こうして調製されたペ
レットの生の密度は理論密度の５α０〜５５，０％の範
囲にあり、これはバインダーとしてステアリン酸を使用
してプレスされたペレットの密度より全般的に低い。

乾燥された化学処理ずみの粉末が、４ｗ１０ステアリン
酸を使用し且つメタノール／トルエン混合物中で１時間
粉砕混錬処理され、続いて溶剤を除去する為５０〜６０
℃において大気中で乾燥された。

乾燥粉末は２α０メツシユ篩を通して分篩され、その後
２０，０００〜５　ＱＯＯＯｐｓｉｇにおいて１２５σ
径ベレツトにダイブレスされた。こうしてｍＷされたペ
レットは理論密度の６６．５〜６８，０％の範囲の密度
を有した。オレイン酸がやはりバインダとして使用され
た。

ＡＹ６及びＰＹ６セラミツクにおけるビレットの作製二
次の２種の成形技術を使用して１％“×１ｖ２”×礪”
ビレットを作製した。

２０〜２６９の化学処理ずみ噴霧乾燥ＡＹ６／ＰＹ６粉
末が、４ｗ１０ステアリン酸を使用して、ゴム製型内で
１７０　ＭＮｍ”−２（２５，ＯＯＯｐｓｉ　）におい
てプレスされた。その後、ビレットはデシケータ内で乾
燥されそしてバインダーが４５０℃での加熱により除去
された。生成ビレットの生の密度は通常理論密度の６５
．０〜６７．０％の範囲にあった。

りの粉砕粒子を、カーボワックス、水酸化アンモニウム
及びくえん酸アンモニウムを含有するスリップ溶液９ｇ
中に懸濁せしめ、続いてこれら粒子を懸濁媒体に対して
透過性の材料に対接して形成される床の形態に一軸付着
せしめた。この技術は、「コロイドろ過」プロセスに類
似している。その後、ビレット（１％′×１捧“Ｘ％“
）をデシケータ内で一晩（１２ｈｒ）乾燥し、続いてバ
インダーを除去した。生成ビレットの生の密度は理論密
度の約６５．０〜６７．０％の範囲であった。

焼結 使用された焼結過程は、ＡＹ６／ＰＹ６サンプルを収納
するグラファイト製ボートを焼結炉に置くことから開始
される。炉は排気されそして空気を除去する為３回窒素
で充満される。炉は窒素を流しながら約り０℃／分の割
合で選択された等温焼結温度まで上昇される。焼結挙動
を確認する為、時濶零は等温保持温度に到達した時間と
された。

温度はマイクロオブテイヤルパイロメータを使用して管
理される。焼結後の密度は水中への浸漬により測定され
た。Ｘ線回折解析がＣｏ−にα放射を使用して実施され
た。

破壊係数試験バーは、高密化賦形体からダイヤモンド鋸
で切出されそして３２０グリッド仕上げまで研摩された
。大半の強度試験パーは、α０５ＸＩＩＬ１０ＸｔＯ’
寸法のものでありそして室温、１０００℃、１２０・０
℃及び１４００℃においてそれぞれ試験された。得られ
た破壊係数データは、最小二乗法によりワイブル（Ｗｅ
ｉｂｕｌｌ　）パラメータ（ｒｒＬ）を計算するコンピ
ュータプログラムを有するワイプル統計機を使用して解
析された。

例 例１　表１におけるサンプル１〜４を参照されたい。小
さなペレツ）（ｔ２５ｚ径Ｘ約１０ｇ重量）がｗｃ製グ
イ内で２１０ＭＮｍ−２（５Ｑ、ＯＯＯｐａｌ）におい
てプレスされた。こうして調製された生のペレット化の
密度は理論密度の約５１，０〜５４．６％であった。こ
れらペレットが２００　ｐｓｉ　Ｎ２過剰圧を使用して
１７６０℃において理論密度の９９％を越える密度にま
で焼結された。焼結手順は、１４００℃で１時間保持し
、続いて焼結温度で２時間保持するというものであった
。

例２　表１におけるサンプル５〜１６を参照されたい。

化学処理されたＡＹ６セラミツク粉末が４ｗ１０ステア
リン酸を使用して粉砕混錬されその後２１１１．０００
〜５　ａ、ＯＯＯｐｇｌｇにおいて１．２５　ｃｍ径ペ
レットにダイブレスされた。こうして調製されたペレッ
トは理論密度の６４５〜６８．０％の範囲の生の密度を
有した。その後バインダー除去工程が行われた。焼結手
順は例１と同じであった。

例３３つの等圧静圧プレスされたＡＹ６ビレツトが前記
Ａ等圧静圧プレスの項で記載したようにして作製された
。これらビレットは約４３〜４６ｐｓｉＮ２過剰圧力を
使用して１７６５℃で焼結された。焼結手順は次の通り
であった：１４００℃で１時間保持しそして焼結温度で
３時間保持。結果は次の通りまとめられる： １　　　１７６５　　　ａ３　　＠圧プレス　　９９４
　　五１２２　　　１７１５５　　４３　　　等圧プレ
ス　　９９１　　五２５３　　　１７６５　　４６　　
　等圧プレス　　９９．８　　１８８来ＳＮ５０２粉末
ロツトＳＮ６６ 例４１つのスリップ鋳造ＡＹ６ビレツトが前記Ｂスリッ
プ＠造の項で記載したようにして作製された。化学処理
粉末は懸濁体調製に先立って一晩予備ミリング処理され
た。このビレットは４３ｐｊ１Ｎ２過剰圧力を使用して
１７６５℃で焼結された。

焼結密度は理論密度の９９７３％であった（ＡＹ６五２
８２９／−に晶く）。（ＳＮ５０２粉末ロツト　Ｓ　Ｎ
　６６　） 例５３つのスリップ鋳１ＡＹ６ビレツトが作製された。

これらビレットは１２　ｐａｌ過剰圧力を使用して１７
６５℃で焼結された。焼結密度は理論密度の９９％を越
えた。

１、　　１７６５　　１２　　　スリップ鋳造　９９．
６　　２．４２２、　　１７６５　　１２　　スリップ
鋳造　９９．３　　２．１８五　　１７６５　　１２　
　　スリップ鋳造　？９．２　　２．１４４、　　１７
６５　　１２　　　スリップ鋳造　９８．７　　１７９
対照ボールミルＡＹ６サンプル 例６２つのスリップ鋳造ＡＹ６ビレツトが１２ｐａｉＮ
２過剰圧を使用して１６９０℃で焼結された。焼結密度
は理論密度の９８．０〜９８．４％の範囲であった。

１　１６９０°−１２ｐｓｉ　　９Ｂ、４％　　　β−
５ｉ３Ｎ４２、　１６９０°−１２ｐｓｉ　　９ａ、０
％　　　β−５ｉ３Ｎ４例７１つのスリップ鋳造ＡＹ６
ビレツトが連続Ｎ２気流を流しつつ１６９０℃、周囲圧
力において焼結された。焼結密度は理論密度の９ａ０％
であった。Ｘ＋ｖ１１回折の結果、完全なαからβ−５
ｔ３Ｎ４相転移が実現されたことが判った。

例８２つのスリップ鋳＆　Ｐ　Ｙ　６ピレツト（６０ｗ
１０　ＹｚＯｘ　）が５５〜６０　ｐｓｉ　Ｎ２過剰圧
を使用して１８５０℃で焼結された。焼結密度は理論密
度の９７．０〜９ａ２％であった。

１　　１８５０℃−５５ｐａｌＮ２９＆２％　β−５１
３Ｎ４２、　　１８５０℃−６０ｐｓｉ　Ｎ２　９７．
０％　β−５ｉ３Ｎ４例９　　ｆ２ｐｓｉＮ２過剰圧を
使用して１７５５℃で焼結されたＡＹ６ビレツト及び周
囲圧力を使用して１６９０℃で焼結されたＡＹ６ビレツ
トに対する機械的試験データは次の通りである；焼結密
度　　破壊係数（Ｋａ　ｉ　） ℃ ＡＹ６１７６５℃−１２ｐｓ１　９９．５−９９．８　
１１７　１０１　６３例１０５５〜６０　ｐａｌ　Ｎ２
過剰圧力を使用して１８５０℃で焼結されたＰＹ６ビレ
ツトに対する機械的試験データは次の通りであった：焼
結密度　　破壊係数（Ｋｓ　ｉ　） チャー）Ａ及びＢは、化学処理されたパン乾燥ＡＹ６材
料対対照サンプルとしての従来方式でボールミル処理さ
れた粉末のペレットの焼結研究結果を例示する。

Ａ　粉末−３Ｎ　５０２　＋　ＣＬ　５　ｗｌｏ　Ａ　
１２０３１８５０°　　　２００ｐｓｉ’　　　　９９
，８　　　９９．２１８１０８　　２００ｐｓｉ　　　
　　　９７．２　　　　９６．６１７６０９　　２００
ｐｓｌ　　　　　　９７．４　　　　９７．０１７００
６　　２００ｐｓｉ　　　　　　９１２　　　　９５．
８１８１５８　　　６０　ｐｌＩｔ料　　　９９．４　
　　９９！　４１７２５°　　　　　１５０　ｐｓｉ　
　　　　　９五４　　　８９４１７１０°　　　　　６
０ｐｓｉ　　　　　　９１８　　　　８７．１来　５Ｎ
５０２−０２−２４が２００　ｐｓｉ　Ｎ２過剰圧にお
いて使用された。

未来５Ｎ５０２−０２−３７が６０ｐ日ｉ　Ｎ２過剰圧
において使用された。

Ｂ　粉末−Ａ　Ｙ　６　＋　ｔ　５　ｗｌｏ　Ｙ２Ｏ３
１７２５°　　　　６０ｐｓｉ　　　　９４．４　　９
０．５来　５Ｎ５０２−０２０２４が２００　ｐａｌ　
Ｎ２過剰圧において使用された。

来米５Ｎ５０２−０２−３７が６０　ｐｍｌ　Ｎ２過剰
圧において使用された。

化学処理された（パン乾燥ＡＹ６）ビレット対従来ボー
ルミル粉末からのビレットの機械的強度試験が更に例示
される。（粉末ロツ）　ＳＮ５０２−０２−２４゜スリ
ップ鋳造により成形。焼結条件は２００ｐａｉＮｚ過剰
圧を使用して１８５０℃。

２つのビレットは同一ボート内で焼結）更に、化学処理
ＡＹ６（噴霧乾燥）ビレット対従来ボールミル粉末から
のビレットの特性比較が例示される（焼結条件＝４０〜
４５　ｐｓｉ　Ｎ２過剰圧を使用して１７６５℃、１４
００℃で１時間保持そして焼結温度で・３時間保持、粉
末ロット：５Ｎ６０−６３、成形法：等圧静圧プレス）
。

化学処理　　９９．０　　　　１１４Ｋｓ１　　　　１
３（１０２−１２７，９バー） 表　　■ ２．　　５Ｎ６６　　　　　　　　　　　等圧プレス　
　９９１五　　５Ｎ６６　　　　　　　　　　　等圧プ
レス　９９８４、　　　５Ｎ６６　　　　　　　　　　
　　　スリップ鋳造　９９７ｚ　　　５Ｎ６６　　　　
　　＃　　　　　７．ＩＪ７ブ鋳造　９９３８、　　　
５Ｎ６６　　　　　　＃　　　　スリップ鋳造　９９６
１２　ｐｓｉ　Ｎ２過剰圧を使用して１７６５℃で焼結
された化学処理ＡＹ６ビレツトの機械的強度は次の通り
である： 密度、　　　破壊係数　ｋｓｉ ６〜１２ｐｓｉＮ２過剰圧を使用して１６９０℃で焼結
された化学処理ＡＹ６ビレツトの機械的強度は次の通り
である： 破壊係数　ｋｓｉ サンプル　ｍ度　　周囲温度　　　１０００℃　　１２
００℃６バーノ　　　　　４パーツ　　　　　６バーノ
５５−６０ｐｓｉＮ２過剰圧を使用して１８５０℃で焼
結された化学処理ＰＹ６ビレツトの機械的強度は次の通
りである： 破壊係数ｋｓｉ 個々の被覆粒子のオージェ解析は、窒化珪素粒子が焼結
用添加剤イツ）　ＩＪア及びアルミナの実質一様な被覆
を有していることを実証した。

深。さ　ＥＶ　　２７２　３７９　５１０　１３７８　
１６０６　１７４５０　　　１１Ｑ、４４８．２　７．
５　　９．３　１６．７５０　　　６．９２２．３３０
．１　　Ｂ、４　１４．５　１７．７１００　　　　＆
５２４，７２６．０　４９　１４．１　２１．８１５０
　　　８．５１９．１　１６．１　６．６　１６．８　
３工０２００　　　ＩＱ、３２４．２１７３　６．８　
１３．０　２＆４、ｉ！５０　　１五６２８．４２五７
　０．０　３４．３　　　α０噴霧乾燥（ＡＹ６） 原子％ ＣＮ　　　ＯＡＬ　　　ＳＩ　　　Ｙ ｏ　　　　８．８　１１３．４５．６　　＆６　　１２
．８　１８．０５０　　　５．８　２３．２　２８．７
　３．６１＆４　２２．３１００　　　９．５　１４．
４　１９．２　７．２　　２ｔ９　２７．９１５０　　
　４７　１に、８　１２．２　９．０　　１Ｂ、３　４
０．０２００　　　９．９　２５．２　１７．８　４．
８　　２α８２１４２５０　　１五１　３１．９　２Ｂ
、４　０．０　　２６．７　　　［１，０以上、本発明
について具体的に説明したが、本発明の精神内で多くの
改善を為しうろことを銘記されたい。

／１−　□ 代理人の氏名　　倉　内　基　弘　　。

−一１−−” 〆一、 を 同　　　　　　　風　　間　　弘　　志・　　　１Ｎ、
２・

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）焼結添加剤を均質に分散せしめた窒化珪素物品を製
   造する方法であつて、 段階１−窒化珪素粒子を分散試剤中に分散せしめて窒化
   珪素スラリを形成すること、 段階２−該窒化珪素スラリに焼結用添加剤溶液を添加し
   て７未満のｐＨを有する均質スラリを形成すること、 段階５−段階２の生成物を乾燥して、窒化珪素粒子上に
   焼結用添加剤の実質上一様なコーティングを有する乾燥
   粉末を形成すること、 段階４−段階３からの生成物の焼結用添加剤をそれらの
   相当する酸化物に変換すること、 段階５−段階４からの生成物を窒化珪素物品に成形する
   こと、及び段階６−段階５からの生成物を１７００℃未
   満の温度で無加圧焼結して、理論密度の９８％を越える
   密度を有する高密化窒化珪素物品を形成することを包含
   する窒化珪素物品製造方法。 ２）分散試剤が高誘電率を有する溶液である特許請求の
   範囲第１項記載の方法。 ３）分散が湿式ボールミル処理により行われる特許請求
   の範囲第１項記載の方法。 ４）成形が２０，０００〜５０，０００ｐｓｉｇでのプ
   レスにより行われる特許請求の範囲第１項記載の方法。 ５）焼結が理論密度の９９％を越える密度を有する高密
   化窒化珪素物品を形成する為窒素中１７３５℃以下の温
   度で行われる特許請求の範囲第１項記載の方法。 ６）焼結添加剤が、イツトリウム、アルミニウム、マグ
   ネシウム、ランタン、セリウム、ハフニウム、ジルコニ
   ウム、希土類及びその組合せの可溶性塩から成る群から
   選択される特許請求の範囲第１項記載の方法。 ７）可溶性塩が硝酸塩である特許請求の範囲第６項記載
   の方法。 ８）成形が等圧静圧プレスにより行われる特許請求の範
   囲第１項記載の方法。 ９）成形がスリップ鋳造により行われる特許請求の範囲
   第１項記載の方法。 １０）温度が１８６０℃以下である特許請求の範囲第５
   項記載の方法。 １１）分散試剤が、くえん酸アンモニウム及び酢酸アン
   モニウムを含む１規定水酸化アンモニウム溶液である特
   許請求の範囲第１項記載の方法。 １２）高密化窒化珪素物品を製造する方法であつて、段
   階１−窒化珪素粒子に焼結用添加剤酸化物の実質上一様
   なコーティングを被覆すること、 段階２−段階１の生成物から窒化珪素物品を成形するこ
   と、 段階３−段階２からの生成物を１７００℃未満の温度に
   おいて無加圧焼結して理論密度の９８％を越える密度を
   有する高密化窒化珪素物品を形成することを包含する高
   密化窒化珪素物品製造方法。 １３）約１５〜２０ミクロンの平均メジアン粒寸と約１
   ５〜２２ｍ＾２／ｇの表面積を有し、そして焼結用添加
   剤の実質一様なコーティングを有する窒化珪素粒子から
   成る窒化珪素粉末。