JPS6231013A - 多チヤネル磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents
多チヤネル磁気ヘツドおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPS6231013A JPS6231013A JP16854285A JP16854285A JPS6231013A JP S6231013 A JPS6231013 A JP S6231013A JP 16854285 A JP16854285 A JP 16854285A JP 16854285 A JP16854285 A JP 16854285A JP S6231013 A JPS6231013 A JP S6231013A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic head
- film
- winding pattern
- adhered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/52—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with simultaneous movement of head and record carrier, e.g. rotation of head
- G11B5/53—Disposition or mounting of heads on rotating support
- G11B5/531—Disposition of more than one recording or reproducing head on support rotating cyclically around an axis
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は磁気ヘッドおよびその製法に関し、特にディジ
タルＶＴＲなど高密度記録用狭トラツク多チャネルヘッ
ドの、トラックピッチを縮小可能な磁気ヘッドの構造お
よび磁気ヘッドの製造方法に関する。
タルＶＴＲなど高密度記録用狭トラツク多チャネルヘッ
ドの、トラックピッチを縮小可能な磁気ヘッドの構造お
よび磁気ヘッドの製造方法に関する。
［従来の技術］
従来、多チャネルヘッドはｌ）コアを磁性合金、フェラ
イトのブロックから切断、研摩、接着などの加工により
形成し別途巻線を施す型、２）ｔ！膜製作法を応用しマ
スキングあるいはエツチング処理により形成する型の二
種に分類できるが、各々巻線のだめのスペースが必要で
トラックピッチを密にすることが困難であった。
イトのブロックから切断、研摩、接着などの加工により
形成し別途巻線を施す型、２）ｔ！膜製作法を応用しマ
スキングあるいはエツチング処理により形成する型の二
種に分類できるが、各々巻線のだめのスペースが必要で
トラックピッチを密にすることが困難であった。
第１の種類では必然的に寸法が大きくなる。第２図は第
２の種類、薄膜作製法による従来の磁気ヘッドの例を示
したものである。同図（ａ）は下部コアであるフェライ
トブロックｌと上部コアをなす軟磁性膜２の間に層間絶
縁膜をもつ導体層による巻線３を多層（同図では２層）
施したもので。
２の種類、薄膜作製法による従来の磁気ヘッドの例を示
したものである。同図（ａ）は下部コアであるフェライ
トブロックｌと上部コアをなす軟磁性膜２の間に層間絶
縁膜をもつ導体層による巻線３を多層（同図では２層）
施したもので。
多層スパイラル形と言われる。４は磁気ギャップである
。同図（ｂ）はジグザグ形で巻線３は上部コア２に交さ
している。同図（Ｃ）はスパイラル形で渦形の巻線３が
フェライトブロックｌと上部コア２の間に挟まれている
構造となっている。これら従来のヘッドではトラック輻
Ｗに比し巻線部の占める幅ｐが大きく、多チャネルにす
るため図のヘッド素子を横に並べるとコア間隔が大きく
なりトラックピッチが粗になる。また、複数素子を並べ
る際、磁気ヘッドギャップの方向の調整および長期間の
安定保持が難しかった。
。同図（ｂ）はジグザグ形で巻線３は上部コア２に交さ
している。同図（Ｃ）はスパイラル形で渦形の巻線３が
フェライトブロックｌと上部コア２の間に挟まれている
構造となっている。これら従来のヘッドではトラック輻
Ｗに比し巻線部の占める幅ｐが大きく、多チャネルにす
るため図のヘッド素子を横に並べるとコア間隔が大きく
なりトラックピッチが粗になる。また、複数素子を並べ
る際、磁気ヘッドギャップの方向の調整および長期間の
安定保持が難しかった。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明は上に述べた従来の欠点を解決しトラックピッチ
を小さくし、かつ複数の磁気ヘッドの磁気ギャップの方
向を精密に制御でき、かつアジマス記録が可能な多チャ
ネル磁気ヘッドを提供することを目的とする。
を小さくし、かつ複数の磁気ヘッドの磁気ギャップの方
向を精密に制御でき、かつアジマス記録が可能な多チャ
ネル磁気ヘッドを提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段１
本発明においては、複数段を有する階段状磁性体を形成
し、その階段状磁性体の任意の階段面のそれぞれに、階
段端面に磁気ギャップを有する磁気ヘッドを薄膜作製技
術を用いて作製する。
し、その階段状磁性体の任意の階段面のそれぞれに、階
段端面に磁気ギャップを有する磁気ヘッドを薄膜作製技
術を用いて作製する。
［作 用］
本発明によれば、巻線の接続部や引出し端子を磁気ギャ
ップを設ける面と垂直の面に設けることができるので、
巻線部のトラックと直角方向に占める寸法を極めて小さ
くでき、また、下部コアを一括して階段状に形成するの
で、磁気ギャップの方向を精密に制御できる。
ップを設ける面と垂直の面に設けることができるので、
巻線部のトラックと直角方向に占める寸法を極めて小さ
くでき、また、下部コアを一括して階段状に形成するの
で、磁気ギャップの方向を精密に制御できる。
［実施例］
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図に本発明の新しい構造による多チャネルヘッドの
実施例の外観を示す、第１図は８チャネルの例であり、
図において５は階段状の磁性体でヘッドの下部コアとな
る。６は磁気ヘッド部、２はに１部コア、３は巻線、４
は磁気ギャップであり、矢印ｄは磁気ヘッドの走行方向
である。すなわち、本発明のヘッドは巻線部を従来のよ
うにコア部と同一平面のみに形成せずコア部と隣接した
直角に近い面を設け、その面に巻線部を形成して巻線部
が占める幅ｐを短縮したものである。
実施例の外観を示す、第１図は８チャネルの例であり、
図において５は階段状の磁性体でヘッドの下部コアとな
る。６は磁気ヘッド部、２はに１部コア、３は巻線、４
は磁気ギャップであり、矢印ｄは磁気ヘッドの走行方向
である。すなわち、本発明のヘッドは巻線部を従来のよ
うにコア部と同一平面のみに形成せずコア部と隣接した
直角に近い面を設け、その面に巻線部を形成して巻線部
が占める幅ｐを短縮したものである。
以下にフェライトブロックを用いた本発明の製造方法の
実施例について、第３図のフローチャートおよび第４図
の各工程の説明図によって説明する。チャネル数は８の
例であり、８個の磁気ヘッドを同時に作製できるが、第
４図については１段のみを図示する。
実施例について、第３図のフローチャートおよび第４図
の各工程の説明図によって説明する。チャネル数は８の
例であり、８個の磁気ヘッドを同時に作製できるが、第
４図については１段のみを図示する。
１） フェライトブロック切り出し
Ｎｉ−Ｚｎフェライト等電気抵抗の高い軟磁性フェライ
トから第４図（ａ）に示すように高さ１００ ｇ諺、奥
行き５層ル重の階段を９段もったひな段状のブロック５
を切り出す、切り出しは研削、ビーム加工その他任意の
方法で行うことができる。
トから第４図（ａ）に示すように高さ１００ ｇ諺、奥
行き５層ル重の階段を９段もったひな段状のブロック５
を切り出す、切り出しは研削、ビーム加工その他任意の
方法で行うことができる。
２）巻線下パターン用フェライト面エツチングフェライ
トブロック５のひな段状面にポジ型電子ビーム感応レジ
スト材料、例えばポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）
を塗布し、電子ビーＡ、Ｊ光、レジスト溶媒による現像
、希塩酸などによるエツチングを行い、第４図（ｂ）に
示すような幅２０ＩＬ履、深さ２０ＩＬＩｌの巻線下パ
ターン用ｙＩ７を形成する。
トブロック５のひな段状面にポジ型電子ビーム感応レジ
スト材料、例えばポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）
を塗布し、電子ビーＡ、Ｊ光、レジスト溶媒による現像
、希塩酸などによるエツチングを行い、第４図（ｂ）に
示すような幅２０ＩＬ履、深さ２０ＩＬＩｌの巻線下パ
ターン用ｙＩ７を形成する。
３）巻線下パターン用Ｃｕ厚膜被着
第４図（Ｃ）に示すように、巻線下パターン用溝が形成
されたフェライトブロック５の階段状面全面にメッキあ
るいはスパッタリング等の膜製作法により２０ＩＬｍ以
上の厚さのＣｕの膜８を被着させる。
されたフェライトブロック５の階段状面全面にメッキあ
るいはスパッタリング等の膜製作法により２０ＩＬｍ以
上の厚さのＣｕの膜８を被着させる。
４）階段面研摩
第４図（ｄ）に示すように１階段面を研摩し巻線下パタ
ーン用構にのみＧｕの膜９が残るよう他の部分のＣｕ膜
を除去する。研摩は機械的な方法でも化学的あるいは電
気化学的方法でもさしつかえない。
ーン用構にのみＧｕの膜９が残るよう他の部分のＣｕ膜
を除去する。研摩は機械的な方法でも化学的あるいは電
気化学的方法でもさしつかえない。
５）巻線絶縁層形成
第４ｒｇｉ（ｅ）に示すように研摩により平面になった
面に５ｉ０２膜ｌＯを例えばＲ）′スパッタリングによ
り ０．２ＩＬ脂の厚さ被着させる。ｓｉＯ，［ｌＯは
一点鎖線の端面側ｅではギャップ材、 Ｃｕ厚膜側ｉで
は巻線絶縁層の役割りを果す。
面に５ｉ０２膜ｌＯを例えばＲ）′スパッタリングによ
り ０．２ＩＬ脂の厚さ被着させる。ｓｉＯ，［ｌＯは
一点鎖線の端面側ｅではギャップ材、 Ｃｕ厚膜側ｉで
は巻線絶縁層の役割りを果す。
６）上部コアの形成
第４図ＣＦ＞の垂直面Ｖ部、水平面Ｈ部にネガ型フォト
レジスト、例えばポリビニール桂皮酸エステル（ＫＰＲ
）などを塗布し７部にのみ露光し、Ｈ部のレジストをは
く離液を使って除去し、その面に上部コア２としてＦｅ
−８ｉ−Ａｎ（センダスト）ＩＩｇ、Ｇｏ−Ｚｒ非晶質
膜などの軟磁性体膜２をスパッタ、メッキなどにより５
〜１０ＪＬｍの厚さ被着する０階段の端面部に磁気ギャ
ップ４が形成される。
レジスト、例えばポリビニール桂皮酸エステル（ＫＰＲ
）などを塗布し７部にのみ露光し、Ｈ部のレジストをは
く離液を使って除去し、その面に上部コア２としてＦｅ
−８ｉ−Ａｎ（センダスト）ＩＩｇ、Ｇｏ−Ｚｒ非晶質
膜などの軟磁性体膜２をスパッタ、メッキなどにより５
〜１０ＪＬｍの厚さ被着する０階段の端面部に磁気ギャ
ップ４が形成される。
ただし露光時にキセノンランプまたは高圧水銀灯など光
Ｗ２１の位置、角度を１ｉｆｌｉＬフエライトブロツク
５のＨ部は露光されないようにする。
Ｗ２１の位置、角度を１ｉｆｌｉＬフエライトブロツク
５のＨ部は露光されないようにする。
７） ネガ型フォトレジストの除去
はく離液を使って残ったレジストを除去する。
８）巻線上パターン用絶縁膜形成
工程５）と同様に５ｉ０２ ＩＩＩを例えばＲＦスパッ
タリングして第４図（ｇ）に示すｌｐ−程度の厚さの絶
縁［５１１２を形成する。
タリングして第４図（ｇ）に示すｌｐ−程度の厚さの絶
縁［５１１２を形成する。
９）巻線とパターン用Ｃｕ厚膜被若
工程２）、３）に述べた手法により巻線上パターン１３
を被着する。ただし１４．１５で示した部分の５ｉ０２
膜はあらかじめＨＦ（弗酸）１０％液エツチングまたは
イオンエツチングにより除去して下部のＧｕ厚膜を露出
させておき１巻線上パターンと、上パターンでコイルを
形成する（第４図（ｇ））。
を被着する。ただし１４．１５で示した部分の５ｉ０２
膜はあらかじめＨＦ（弗酸）１０％液エツチングまたは
イオンエツチングにより除去して下部のＧｕ厚膜を露出
させておき１巻線上パターンと、上パターンでコイルを
形成する（第４図（ｇ））。
１０）磁２ヘッド保護層形成
工程５）、８）と同様に巻線上パターン１３を保護する
５ｉ０１ ！ｉを、第４図（ｇ）の１５で示した部分を
除き、２部３弘層の厚さに形成し、ヘッド全体を保護す
る。
５ｉ０１ ！ｉを、第４図（ｇ）の１５で示した部分を
除き、２部３弘層の厚さに形成し、ヘッド全体を保護す
る。
このようにして必要なチャネル数の多チャネル磁気ヘッ
ドが形成される。形成された多チャネル磁気ヘッドは第
１図または第４図に示すように、磁気ギャップ４が水ｆ
面（Ｈ部）に、ａ線３（７，１３）が上部コアの上下以
外は垂直面（７部）に形成されるのでトラックピッチ（
巻線幅）ｐとトラック幅（ギャップ長）Ｗの比はｌに極
めて近いので、高密度記録用の狭トラツク多チャネルヘ
ッドが実現できる。
ドが形成される。形成された多チャネル磁気ヘッドは第
１図または第４図に示すように、磁気ギャップ４が水ｆ
面（Ｈ部）に、ａ線３（７，１３）が上部コアの上下以
外は垂直面（７部）に形成されるのでトラックピッチ（
巻線幅）ｐとトラック幅（ギャップ長）Ｗの比はｌに極
めて近いので、高密度記録用の狭トラツク多チャネルヘ
ッドが実現できる。
磁気ギャップの設けられている水平面（Ｈ部）をヘッド
走行方向ｄと直角にして通常の記録を行うだけでなく、
Ｈ部の走行方向となす角度を１ピツチ毎に変化させ、い
わゆるアジマス記録をさせることもできる。この場合、
フエライトプａ７りの加工で角度が厳密に規定されるの
で、多数の個別素子を集合して配列させる従来例とくら
べ磁気ヘッドの角度の精度は非常にすぐれている。
走行方向ｄと直角にして通常の記録を行うだけでなく、
Ｈ部の走行方向となす角度を１ピツチ毎に変化させ、い
わゆるアジマス記録をさせることもできる。この場合、
フエライトプａ７りの加工で角度が厳密に規定されるの
で、多数の個別素子を集合して配列させる従来例とくら
べ磁気ヘッドの角度の精度は非常にすぐれている。
上の例では階段状磁性体としてフェライトブロックを用
いた例を示したが、ガラス、ｍ器など非磁性体を階段状
に形成して、その階段面上に軟磁性合金膜を形成して用
いることができる。
いた例を示したが、ガラス、ｍ器など非磁性体を階段状
に形成して、その階段面上に軟磁性合金膜を形成して用
いることができる。
［発明の効果］
以上説明したように１本発明によれば、トラックピッチ
が巻線のために必要なスペースに左右されず、トラック
ピッチをコア幅（トラック幅）に近づけることが出来る
ので記録媒体りの記録トラックの占有率が大きくなり記
Ｑ密度を高くすることができる。
が巻線のために必要なスペースに左右されず、トラック
ピッチをコア幅（トラック幅）に近づけることが出来る
ので記録媒体りの記録トラックの占有率が大きくなり記
Ｑ密度を高くすることができる。
また隣接コアが同一平面りに並ばないので、信号の記録
再生時に、コア間のクロストークを低減でき、この点か
らもトラックピッチを小さくできる。
再生時に、コア間のクロストークを低減でき、この点か
らもトラックピッチを小さくできる。
第４図のＨ部をヘッド走行方向ｄと直角にして一ヒ述の
効果を上げることができるだけでなく、Ｈ部の角度を１
ピツチ毎に変化させ、いわゆるアジマス記録を実施する
ことによりト述の効果をより一層大きくすることができ
る。
効果を上げることができるだけでなく、Ｈ部の角度を１
ピツチ毎に変化させ、いわゆるアジマス記録を実施する
ことによりト述の効果をより一層大きくすることができ
る。
第１図は本発明の多チャネル磁気ヘッドの実施例を示す
図。 第２図は従来の磁気ヘッドを示す図、 第３図は本発明の多チャネル磁気ヘッドの製造方法の実
施例のフローチャート。 第４図は第３図のフローチャートの各工程を説明する図
である。 ｌ・・・下部コア、 ２・・・上部コア、 ３・・・巻線。 ４・・・磁気ギャップ、 ５・・・階段状磁性体、 ６・・・磁気ヘッド。 ９・・・巻線下パターン、 １３・・・巻線上パターン。 特許出願人 日 本 放 送 協 会イυ 理 人
弁理士 谷 義 −（ｄ）多層スバイライル形
（ｂ）ジク゛ザブ窒第２図 第３図 （ａ） 第４図 （Ｃ） （ｄ’） 第４図 ＼ｒ Ｘ
図。 第２図は従来の磁気ヘッドを示す図、 第３図は本発明の多チャネル磁気ヘッドの製造方法の実
施例のフローチャート。 第４図は第３図のフローチャートの各工程を説明する図
である。 ｌ・・・下部コア、 ２・・・上部コア、 ３・・・巻線。 ４・・・磁気ギャップ、 ５・・・階段状磁性体、 ６・・・磁気ヘッド。 ９・・・巻線下パターン、 １３・・・巻線上パターン。 特許出願人 日 本 放 送 協 会イυ 理 人
弁理士 谷 義 −（ｄ）多層スバイライル形
（ｂ）ジク゛ザブ窒第２図 第３図 （ａ） 第４図 （Ｃ） （ｄ’） 第４図 ＼ｒ Ｘ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）複数段を有する階段状磁性体の任意の複数段のそれ
ぞれの面に、前記階段状磁性体の階段端面に磁気ギャッ
プを有し、かつギャップ面と異なる面に巻線接続部を有
する磁気ヘッドが設けられていることを特徴とする多チ
ャネル磁気ヘッド。 ２）前記磁気ヘッドを設けた複数の面が前記磁気ヘッド
の走行方向と直角であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の多チャネル磁気ヘッド。 ３）前記磁気ヘッドを設けた複数の面が前記磁気ヘッド
の走行方向に対して一面毎に異なることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の多チャネル磁気ヘッド。 ４）前記階段状磁性体が階段状フェライトであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第３項記載の多
チャネル磁気ヘッド。 ５）前記階段状磁性体が階段状非磁性体の上に形成され
た磁性金属膜であることを特徴とする特許請求の範囲第
１項ないし第３項記載の多チャネル磁気ヘッド。 ６）複数段を有する階段状磁性体を形成する工程と、 前記階段状磁性体の任意の複数段のそれぞれの表面に、 巻線下パターンを形成する工程と 該巻線下パターンの上に第１の絶縁層を形成する工程と
、 該第１の絶縁層の上に磁性膜を形成して上部コアとする
工程と、 該上部コアの表面に第２の絶縁膜を形成する工程と、 該第２の絶縁膜の上に巻線上パターンを形成する工程か
らなる多チャネル磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16854285A JPS6231013A (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 | 多チヤネル磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16854285A JPS6231013A (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 | 多チヤネル磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231013A true JPS6231013A (ja) | 1987-02-10 |
| JPH0576681B2 JPH0576681B2 (ja) | 1993-10-25 |
Family
ID=15869944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16854285A Granted JPS6231013A (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 | 多チヤネル磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6231013A (ja) |
-
1985
- 1985-08-01 JP JP16854285A patent/JPS6231013A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0576681B2 (ja) | 1993-10-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0442213B1 (en) | Method of manufacturing a pole tip structure in a thin film magnetic transducer | |
| GB2039124A (en) | Magnetic transducer heads and the manufacture thereof | |
| US4489484A (en) | Method of making thin film magnetic recording heads | |
| JPH038004B2 (ja) | ||
| US5699605A (en) | Method for forming a magnetic thin film head with recessed basecoat | |
| US5212611A (en) | Integral read/write recording head with dual gap dimension | |
| JP3394266B2 (ja) | 磁気書込／読取ヘッドの製造方法 | |
| US5034089A (en) | Method of manufacturing a multi-turn multi-track composite recording head | |
| JPS6231013A (ja) | 多チヤネル磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPH10269526A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JP2535819B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS62164203A (ja) | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS62256210A (ja) | 薄膜多チヤンネル磁気ヘツド | |
| KR960005113B1 (ko) | 박막자기헤드 | |
| JPH0231316A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH05250619A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS6333206B2 (ja) | ||
| JPS61292216A (ja) | 薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPH03188260A (ja) | 薄膜めっき方法 | |
| JPS60113309A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH01137419A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPS61178711A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS6332713A (ja) | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH065413A (ja) | コイル部品とその製造方法 | |
| JPH05242412A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 |