JPS6231630A - ウエハ搬送用ハンドラ - Google Patents
ウエハ搬送用ハンドラInfo
- Publication number
- JPS6231630A JPS6231630A JP16987685A JP16987685A JPS6231630A JP S6231630 A JPS6231630 A JP S6231630A JP 16987685 A JP16987685 A JP 16987685A JP 16987685 A JP16987685 A JP 16987685A JP S6231630 A JPS6231630 A JP S6231630A
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- Japan
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- arm
- shaft
- wafer
- cassette
- handler
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- Pending
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の属する分野］
本発明はＩＣ，ＬＳＩ等の製造工程で用いられるウェハ
の搬送用ハンドラにおいて、ウェハ収納箱（以下、「カ
セット」と略称する。）からのウェハの挿脱を直進型ハ
ンドの一種である、いわゆるパンタグラフ方式のハンド
を用いて行なう小型のウェハ搬送用ハンドラに関する。
の搬送用ハンドラにおいて、ウェハ収納箱（以下、「カ
セット」と略称する。）からのウェハの挿脱を直進型ハ
ンドの一種である、いわゆるパンタグラフ方式のハンド
を用いて行なう小型のウェハ搬送用ハンドラに関する。
［従来の技術］
第４図は従来のウェハ搬送用ハンドラである。
同図において、１０１はカセット、１０２はウェハで、
１０１ａはウェハが載置される棚部である。１０３はギ
ヤ、１０４はラックの付いたカセットハンジングで、ギ
ヤ１０３の回転によって上下する。１０５は搬送ベルト
である。この装置は、回転可能なベルト上方にウェハを
収納したカセットを上下動可能に設置し、該カセットを
下方に移動させて、カセット内のウェハを下から順次ベ
ルト上に載置させて取り出す構造になっている。このた
め、カセットに収納されたウェハを順送りでない順序、
例えば一枚゛ 置きに取り出すという様な事ができなか
った。このようにウェハを任意の順序で取り出す技術は
特にウェハ検査装置において重要である。
１０１ａはウェハが載置される棚部である。１０３はギ
ヤ、１０４はラックの付いたカセットハンジングで、ギ
ヤ１０３の回転によって上下する。１０５は搬送ベルト
である。この装置は、回転可能なベルト上方にウェハを
収納したカセットを上下動可能に設置し、該カセットを
下方に移動させて、カセット内のウェハを下から順次ベ
ルト上に載置させて取り出す構造になっている。このた
め、カセットに収納されたウェハを順送りでない順序、
例えば一枚゛ 置きに取り出すという様な事ができなか
った。このようにウェハを任意の順序で取り出す技術は
特にウェハ検査装置において重要である。
また、第４図のハンドラを用いた従来のウェハ検査装置
等では、ウェハを供給するカセットとウェハを回収する
カセットと必ず２つを設けて、検査しないウェハも一旦
供給用のカセットから取り出して回収用のカセットに収
納するという手間が必要であった。このように、カセッ
トが２つ必要であり、装置の大型化を余儀なくさせると
いう欠点があった。
等では、ウェハを供給するカセットとウェハを回収する
カセットと必ず２つを設けて、検査しないウェハも一旦
供給用のカセットから取り出して回収用のカセットに収
納するという手間が必要であった。このように、カセッ
トが２つ必要であり、装置の大型化を余儀なくさせると
いう欠点があった。
［発明の目的］
本発明は、上述の従来例の欠点に鑑みてなされたもので
、カセットは回収用と供給用とを兼用とし、かつカセッ
トの任意の箇所からウェハを取り出し、出した所に戻す
ことができるより小型のウェハ搬送用ハンドラを提供す
ることを目的とする。
、カセットは回収用と供給用とを兼用とし、かつカセッ
トの任意の箇所からウェハを取り出し、出した所に戻す
ことができるより小型のウェハ搬送用ハンドラを提供す
ることを目的とする。
［実施例］
第１〜３図は、本発明の一実施例を示す。図面中、一対
の部品の参照番号には添字ｒａＪおよびｒｂＪが付され
ているが、両者をまとめて呼称する場合のみ添字を省略
する。第１図、および第２図において、１はウェハを載
置するフィンガ、２はカセット、３はウェハである。４
は第２アーム５の回転軸で、軸４、モータ２９に連結し
たギ！２８および第２アーム５は回転が同期する様に固
定されている。６は第１アーム７と第２アーム５との共
通の回転軸で、軸６と第１アーム７とは回転が同期する
様に固定されている。なお、第１アーム７の軸間距離と
第２アーム５の軸間距離とは、はぼ等しく構成されてい
る。８は第１アーム７のフィンガ１側の回転軸で、フィ
ンガ１に対しては回転自在である。９はギヤで、第１ア
ーム７、軸８およびギヤ９は回転が同期する様に固定さ
れている。
の部品の参照番号には添字ｒａＪおよびｒｂＪが付され
ているが、両者をまとめて呼称する場合のみ添字を省略
する。第１図、および第２図において、１はウェハを載
置するフィンガ、２はカセット、３はウェハである。４
は第２アーム５の回転軸で、軸４、モータ２９に連結し
たギ！２８および第２アーム５は回転が同期する様に固
定されている。６は第１アーム７と第２アーム５との共
通の回転軸で、軸６と第１アーム７とは回転が同期する
様に固定されている。なお、第１アーム７の軸間距離と
第２アーム５の軸間距離とは、はぼ等しく構成されてい
る。８は第１アーム７のフィンガ１側の回転軸で、フィ
ンガ１に対しては回転自在である。９はギヤで、第１ア
ーム７、軸８およびギヤ９は回転が同期する様に固定さ
れている。
また、ギヤ９ａと９１）は相互に噛合している。１０は
第１アーム７に固定された軸、１１は回転部材で軸１０
に回転自在に取付けられている。１２は上部板１４に設
けられた曲線状の溝で、回転部材１１は該溝１２に係合
している。１３は基台２６と上部板１４とを連結する連
結部材である。上記フィンガ１、アーム５．７および回
転部材１１等により本発明の特徴とするパンタグラフ方
式のハンドが構成される。
第１アーム７に固定された軸、１１は回転部材で軸１０
に回転自在に取付けられている。１２は上部板１４に設
けられた曲線状の溝で、回転部材１１は該溝１２に係合
している。１３は基台２６と上部板１４とを連結する連
結部材である。上記フィンガ１、アーム５．７および回
転部材１１等により本発明の特徴とするパンタグラフ方
式のハンドが構成される。
２０はレーザ光、２１はレーザ源、２２はハーフミラ−
で、レーザ源２１から射出されたレーザ光２０を全反射
ミラー２３に向けて反射する。２４はホトダイオードで
全反射ミラー２３からの反射光を受ける。２５はレーザ
源２１を基台２６に固定するための連結部材である。基
台２６はまたアーム伸縮駆動部２７を支える。アーム伸
縮駆動部２７内のギヤ２８ａ 、 ２８ｂは互いに噛合
しており、モータ２９の回転はギヤ２８ａに伝達される
と同時にギヤ２８ｂにも伝達される。
で、レーザ源２１から射出されたレーザ光２０を全反射
ミラー２３に向けて反射する。２４はホトダイオードで
全反射ミラー２３からの反射光を受ける。２５はレーザ
源２１を基台２６に固定するための連結部材である。基
台２６はまたアーム伸縮駆動部２７を支える。アーム伸
縮駆動部２７内のギヤ２８ａ 、 ２８ｂは互いに噛合
しており、モータ２９の回転はギヤ２８ａに伝達される
と同時にギヤ２８ｂにも伝達される。
図面中、各部材の固定のためのビス、キー、第１アーム
７と第２アーム５が円滑に動くための部材、フィンガ１
の支持部材、および一連のギヤのバックラッシュを除去
する部材等については図示を省略している。
７と第２アーム５が円滑に動くための部材、フィンガ１
の支持部材、および一連のギヤのバックラッシュを除去
する部材等については図示を省略している。
以上の構成からなるハンドラの動作を第１図において説
明する。カセット２からウェハ３を取り出すに先立ち、
不図示の全体ユニット昇降装置で全体ユニットを上下さ
せ、フィンガ１を差し込むだめの適正位置にセットする
。これは、ミラー２３で反射されたレーザ光２０をハー
フミラ−２３を介しホトダイオード２４で検知して行な
う。
明する。カセット２からウェハ３を取り出すに先立ち、
不図示の全体ユニット昇降装置で全体ユニットを上下さ
せ、フィンガ１を差し込むだめの適正位置にセットする
。これは、ミラー２３で反射されたレーザ光２０をハー
フミラ−２３を介しホトダイオード２４で検知して行な
う。
ウェハの位置検知時のアームは、第３図においてウェハ
３が載置されていない状態にあり、第１アームと第２ア
ームが軸４からみてカセット２と反対の方向へ伸びてい
る。この状態はフィンガ１を引っ込めた状態であり、以
下ハンドの「縮んだ」状態という。
３が載置されていない状態にあり、第１アームと第２ア
ームが軸４からみてカセット２と反対の方向へ伸びてい
る。この状態はフィンガ１を引っ込めた状態であり、以
下ハンドの「縮んだ」状態という。
前記適正位置が検知されると、不図示の電気指令部から
アーム伸縮駆動部２７内にあるモータ２９に回転指令が
与えられる。以下、説明の簡略のため片側のアーム群だ
けについて説明する。モータ２９が回転すると軸４ａ、
ギヤ２８ａが回転する。この回転方向は第３図において
、右回転となる。軸４ａと第２アーム５ａは固定されて
いるので、軸４ａを中心に第２アーム５ａが右回転する
。第２アーム５が回転すると、第２アーム５と第１アー
ム７とは軸６によって連結されているので、軸６の円周
軌道運動に伴い、第１アーム７にも回転動作が伝達され
る。すなわち、第１アーム７に回転自在に連結された回
転部材１１は上部板１４に設けられた溝１２に係合して
いるので、軸６の円周軌道運動、回転部材１１および溝
１２の形状との関係から、第１アーム７は回転部材１１
によって満１２に拘束されながら軸６を中心に左回転を
行なう。
アーム伸縮駆動部２７内にあるモータ２９に回転指令が
与えられる。以下、説明の簡略のため片側のアーム群だ
けについて説明する。モータ２９が回転すると軸４ａ、
ギヤ２８ａが回転する。この回転方向は第３図において
、右回転となる。軸４ａと第２アーム５ａは固定されて
いるので、軸４ａを中心に第２アーム５ａが右回転する
。第２アーム５が回転すると、第２アーム５と第１アー
ム７とは軸６によって連結されているので、軸６の円周
軌道運動に伴い、第１アーム７にも回転動作が伝達され
る。すなわち、第１アーム７に回転自在に連結された回
転部材１１は上部板１４に設けられた溝１２に係合して
いるので、軸６の円周軌道運動、回転部材１１および溝
１２の形状との関係から、第１アーム７は回転部材１１
によって満１２に拘束されながら軸６を中心に左回転を
行なう。
ここで、溝１２の形状すなわち軸１０の軌跡は、軸６か
ら軸８までの距離をＲとし、また軸６から軸１０までお
よび＠１０から軸８までの距離の比をｍ対ｎとした場合
、軸４を原点としたＸＹ座標系において、次の一般式 ％式％）） を満足するよう形成するのが好ましい。この場合、第１
アーム７は第２アームｂの軸４の周りの回転に対し回転
方向が反対で、かつ２倍の角度だけ軸６の周りを回転す
る。
ら軸８までの距離をＲとし、また軸６から軸１０までお
よび＠１０から軸８までの距離の比をｍ対ｎとした場合
、軸４を原点としたＸＹ座標系において、次の一般式 ％式％）） を満足するよう形成するのが好ましい。この場合、第１
アーム７は第２アームｂの軸４の周りの回転に対し回転
方向が反対で、かつ２倍の角度だけ軸６の周りを回転す
る。
また、前述のようにギヤ２８ａはギヤ２８ｂと噛合して
るので、もう一方のアーム群は上記の動作とレーザ光２
０に対し線対称の動作を行う。
るので、もう一方のアーム群は上記の動作とレーザ光２
０に対し線対称の動作を行う。
第１アーム７ａと第２アーム５ａが一対構成であり、フ
ィンガ１によって第１アーム７の先端が拘束されている
ので、第１アーム７の第２アーム５に対する左右の回転
に伴い、フィンガ１は右方向すなわち、カセット２内へ
と進入する。進入した状態、つまりハンドが「伸びた」
状態を示す図が第１図である。この時、一対の第１アー
ムおよび第２アームの軸間距離に製作誤差があって、そ
のために軸８ａ、８ｂの右方向移動距離および移動速度
が同一にならない場合は、フィンガ１が捩れるという不
具合を生じるが、ギヤ９ａ 、９ｂはこれを防止する役
目をしている。
ィンガ１によって第１アーム７の先端が拘束されている
ので、第１アーム７の第２アーム５に対する左右の回転
に伴い、フィンガ１は右方向すなわち、カセット２内へ
と進入する。進入した状態、つまりハンドが「伸びた」
状態を示す図が第１図である。この時、一対の第１アー
ムおよび第２アームの軸間距離に製作誤差があって、そ
のために軸８ａ、８ｂの右方向移動距離および移動速度
が同一にならない場合は、フィンガ１が捩れるという不
具合を生じるが、ギヤ９ａ 、９ｂはこれを防止する役
目をしている。
このようにして、一定回転角度だけ軸４が回転してカセ
ット２内にフィンガ１が挿入されると、不図示の全体ユ
ニット昇降装置の作動によりフィンガ１が持上げられ、
フィンガ１上にウェハ３が載置される。
ット２内にフィンガ１が挿入されると、不図示の全体ユ
ニット昇降装置の作動によりフィンガ１が持上げられ、
フィンガ１上にウェハ３が載置される。
ウェハ３を載置するとウェハ取り出し動作を開始する。
第１図および第２図を参照して、アーム伸縮駆動部２７
内の不図示の電気指令部よりモータ２９に進入時とは逆
回転の指令が出されると、前述した動作とは丁度逆の一
連の動作で第１アーム７が回転移動し、フィンガ１はカ
セット２より脱出する。脱出を完了した状態を示す図が
第３図である。
内の不図示の電気指令部よりモータ２９に進入時とは逆
回転の指令が出されると、前述した動作とは丁度逆の一
連の動作で第１アーム７が回転移動し、フィンガ１はカ
セット２より脱出する。脱出を完了した状態を示す図が
第３図である。
以上のようにしてカセット２より取り出されたウェハ３
は不図示の次工程へと搬送され、次工程で処理の済んだ
ウェハ３は前述の動作と逆の動作を辿ってカセット２内
へと搬入される。
は不図示の次工程へと搬送され、次工程で処理の済んだ
ウェハ３は前述の動作と逆の動作を辿ってカセット２内
へと搬入される。
また、軸４の回転角度を任意に変えることによってウェ
ハ挿脱のストロークを任意に変えることも可能である。
ハ挿脱のストロークを任意に変えることも可能である。
なお、本発明は上述の実施例に限るものでなく、例えば
ギヤ９は一部分を切欠いてセクタギヤとしても良い。ま
た、本実施例では軸４を駆動軸とし、パンタグラフ方式
のハンドを駆動しているが、回転部材１１の軸１０をス
ライドさせる様な構造にして、この部分を駆動部とする
ことも可能である。さらに、上述においては軸１０を軸
６と軸８との中間に設けているが、軸１０を軸６側また
は軸８側の延長上に設けることも可能である。
ギヤ９は一部分を切欠いてセクタギヤとしても良い。ま
た、本実施例では軸４を駆動軸とし、パンタグラフ方式
のハンドを駆動しているが、回転部材１１の軸１０をス
ライドさせる様な構造にして、この部分を駆動部とする
ことも可能である。さらに、上述においては軸１０を軸
６と軸８との中間に設けているが、軸１０を軸６側また
は軸８側の延長上に設けることも可能である。
［発明の効果］
以上説明した様に本発明によれば、ウェハをカセットの
下から順に取り出す必要は全くないため、任意のウェハ
を随時取り出すことができ、従って供給用のカセットと
、回収用のカセットとを別々に設ける必要がなく、装置
の小型化を計ることができる。さらに、一対のアームが
伸びた状態より一度折れ重なって反対側に進むようにし
ているため、狭いスペースで最大限のストロークを利用
でき、装置の小型化が計れる。また、従来のベルトを使
ってカセットよりウェハを取り出す方式に比べて、ウェ
ハにゴミが付着するようなことがなくなる。また、第２
アームの駆ｅｆｆｔを変えることによりウェハ支持部材
の移動のストロークを任意に変えることが可能である。
下から順に取り出す必要は全くないため、任意のウェハ
を随時取り出すことができ、従って供給用のカセットと
、回収用のカセットとを別々に設ける必要がなく、装置
の小型化を計ることができる。さらに、一対のアームが
伸びた状態より一度折れ重なって反対側に進むようにし
ているため、狭いスペースで最大限のストロークを利用
でき、装置の小型化が計れる。また、従来のベルトを使
ってカセットよりウェハを取り出す方式に比べて、ウェ
ハにゴミが付着するようなことがなくなる。また、第２
アームの駆ｅｆｆｔを変えることによりウェハ支持部材
の移動のストロークを任意に変えることが可能である。
第１図は、本発明の一実施例に係るウェハ搬送用ハンド
ラがカセット内に進入した状態を示す上面図、 第２図は、第１図の装置の縦断面図、 第３図は、第１図の装置のハンドが「縮んで」ウェハを
取り出した状態を示す上面図、第４図は、従来例を示す
側面および断面図である。
ラがカセット内に進入した状態を示す上面図、 第２図は、第１図の装置の縦断面図、 第３図は、第１図の装置のハンドが「縮んで」ウェハを
取り出した状態を示す上面図、第４図は、従来例を示す
側面および断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ウェハを面上に載置させるように構成されたウェハ
支持部材と、 第１〜第３の軸を有し、第１の軸により上記ウェハ支持
部材に枢動可能に連結された対をなす第１アームと、 上記対をなす第１アームの第２の軸に枢動可能に連結さ
れ、かつ一端を基台の回転軸に回動自在に取りつけられ
た対をなす第２アームと、 上記第１アームの第３の軸に係合して上記第１アームと
上記第２アームの移動を調時させるガイド溝と を有するウェハ搬送用ハンドラ。 ２、前記第１アーム回転角度が、上記第２アームの回転
軸周りの回転角度の２倍である特許請求の範囲第１項に
記載のウェハ搬送用ハンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16987685A JPS6231630A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | ウエハ搬送用ハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16987685A JPS6231630A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | ウエハ搬送用ハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231630A true JPS6231630A (ja) | 1987-02-10 |
Family
ID=15894593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16987685A Pending JPS6231630A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | ウエハ搬送用ハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6231630A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01159097A (ja) * | 1987-12-16 | 1989-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気ポンプ用滅菌器 |
| JP2002349805A (ja) * | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Miura Co Ltd | 蒸気ボイラ装置および蒸気ボイラ装置の運転方法 |
| JP2010214582A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-30 | Murata Machinery Ltd | フロッグレッグ型移載装置 |
| WO2019138189A1 (fr) * | 2018-01-10 | 2019-07-18 | Colib | Navette de transport pour systeme d'entreposage et distribution de marchandises |
-
1985
- 1985-08-02 JP JP16987685A patent/JPS6231630A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01159097A (ja) * | 1987-12-16 | 1989-06-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電気ポンプ用滅菌器 |
| JP2002349805A (ja) * | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Miura Co Ltd | 蒸気ボイラ装置および蒸気ボイラ装置の運転方法 |
| JP2010214582A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-30 | Murata Machinery Ltd | フロッグレッグ型移載装置 |
| WO2019138189A1 (fr) * | 2018-01-10 | 2019-07-18 | Colib | Navette de transport pour systeme d'entreposage et distribution de marchandises |
| CN111801288A (zh) * | 2018-01-10 | 2020-10-20 | 科利布公司 | 用于货物储存和分配系统的运输穿梭机 |
| US11370610B2 (en) | 2018-01-10 | 2022-06-28 | Colib | Transport shuttle for a goods storage and distribution system |
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