JPS6233017Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、帯状の薄板金属をコイル状に維持し
てフオトエツチング工程による形状加工するため
の治具に関するものである。

〔従来の技術〕

エツチング工程は、金属材料の汚れ、油脂状の
シミを除去する前処理、レジスト塗布、プレベー
ク、露光のプロセスと、露光後のパターン現像、
ポストベーク、塩化第二鉄によるスプレー方式の
エツチング、材料上のレジストを除去するレジス
ト剥離と主に８プロセスからなつている。一般に
金属材料は帯状のまま用いることができないので
露光に使うマスタサイズに合わせて、金属材料を
短尺材に切断し、仕上げ個数に対して必要枚数用
意し、短尺一枚毎上記８プロセスを経なければな
らない。したがつて、従来の方法では短尺材を一
枚ずつ処理することは、作業性の面で切り替えが
良いが、前処理から時間がかかり、必要な短尺材
の枚数が多くなる程、歩留りが悪くなり、折り曲
げ、ピン立て等のプレス二次加工には、不都合が
生じる。帯状の薄板金属材料を打抜く方法もある
が、仕上がり品にバリ、カエリが生じる場合があ
るばかりか、プレスに用いる金型の設計、製造に
長時間を費やす。又、テレビのシヤドーマスクを
製品化するため、帯状の金属材料をエツチングで
処理する工程も行われているが、上記プレス加工
共、帯状金属材料を平板状に延ばしてラインに投
入するため、ラインが長くなるという欠点も有し
ている。

〔考案の目的〕

本考案は、上記短尺材料による作業性及び、そ
れにかかる時間の短縮とバリ、カエリが生じない
エツチング処理と、帯状の薄板金属材料をバツチ
処理することを目的として、帯状の薄板金属材料
に同一の径と材料ピツチを持たせて、コイル状に
巻いた状態でエツチングできるように、前記薄板
金属材料をコイル状に維持するエツチング用の治
具である。

〔考案の構成〕

以下、本考案を一実施例に示す図面に基づいて
詳細に説明する。

第１図は、本考案の概略斜視図、第２図は、そ
の平面図を示す。これらの図において、１は上部
外枠、２は上部内枠、３は下部外枠、４は下部内
枠、５は保持フレームを示し、これらの構成要素
は、エツチング液その他フオトエツチングプロセ
スの液体のが十分流入できるよう空隙を有して形
成され、例えば、第２図に示すように、リング状
の上部内枠２とリング状の上部外枠１外枠１との
間を複数の保持フレーム５によつて連結形成した
ものであつて、第３図に示すように、前記複数の
保持フレーム５の外側に沿つて帯状薄板金属材８
がコイル状に巻き付けられる治具を完成する。前
記コイル状の巻きを維持させるため、前記複数の
保持フレーム５の外側には、複数の凹凸５が形成
され、前記凹凸５に帯状薄板金属材の一辺が係合
し、前記帯状薄板金属材８が重なることなしにコ
イル状に巻き付けられるようになつている。つま
り、前記保持フレーム５の凹凸５は、帯状薄板金
属材８をコイル状にしかも重ならないように巻き
付けるため、夫々所定の寸法だけずらして形成さ
れているが、この寸法は、帯状薄板金属材８の幅
および前記複数の保持フレーム５によつて描かれ
る円弧の大きさによつて決定され、本実施例の場
合、帯状薄板金属材６は、その幅が６mm以下、板
厚が0.3mm以下で長さ50ｍ以内となつており、し
たがつて、前記保持フレーム５の長さは約500
mm、凹凸のずれ量30mm程度となつている。

なお、図中４は上下内枠間に強度を持たせるた
め、上部内枠２、下部内枠４間を連結した針金状
の補強棒６を示している。

このように形成した本考案スプレーエツチング
治具は、第４図に示すように、その上部内枠２内
にエツチング液噴出中央ノズル９が挿入され、前
記ノズルおよび図示しない外方からのエツチング
液噴出によつてエツチングがなされる。上記本考
案によるエツチング用治具は、スプレーエツチン
グ工程へ適用した例を示しているが、露光プロセ
スを除く、レジスト塗布、乾燥、現像にも適用さ
れることは勿論であり、したがつて、本考案の治
具の材質は次のような点を考慮し選定されてい
る。

すなわち、治具に帯状の薄板金属材料８をコイ
ル状に巻き付けた時に、金属材料６による摩耗が
ないこと、前処理プロセスで使うアルカリ、酸溶
液やレジスト剥離等に使う諸薬品におかされず、
250℃までの耐熱性に優れていること、エツチン
グ時の塩化第二鉄溶液に腐食されていないことが
必要であり、Ti，Pt，Auや、これらの合金等の
材料が用いられる。また、露光プロセスでは、帯
状の薄板金属材料を、本考案治具より取りはずす
ので、前処理から80℃以下のプレベークに耐える
針金状材料を前処理からプレベークプロセスに、
250℃以下のボストベーク、レジスト剥離液に耐
え塩化第二鉄に腐食されない材料を現像からレジ
スト剥離プロセスにと使い分けるのも良い。

なお、上記実施例において枠の形状をリング状
としたが、リング状に限定されるものでなく、中
央ノズル９が挿入される形状であればいかなる形
状であつてもよいこと勿論である。

〔考案の効果〕

以上から第１図に示した治具を用いて、バツチ
処理によるエツチングの諸プロセスに際し、帯状
薄板金属材は治具に点接触によつて支持されるた
め、帯状薄板金属材上にパターン抜きが容易にす
ることができる。それ故、プレスで生じるバリ，
カエリがなくなり、製造ラインが長くなることも
ない。また、帯状の薄板金属材料を短尺状に切断
して、一枚ずつ処理する作業もなくなる。したが
つて、本考案治具は、バツチ処理で切り替えが容
易で、多種少量生産向き、製造ライン縮小，作業
時間の短縮という点で効果が見られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案治具の概略斜視図であり、第
２図は、その治具の正面図、第３図は、本考案治
具に帯状の薄板金属材料をコイル状に巻いた状態
図、第４図は、本考案治具の中央部のノズル挿入
孔にエツチング液噴出中央ノズルが挿入されたと
きの側面図を示す。 １……上部外枠、２……上部内枠、３……上部
外枠、４……上部内枠、５……保持フレーム、６
……補強棒、７……凹凸、８……帯状薄板金属材
料、９……エツチング液噴出中央ノズル。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. フオトエツチングで、帯状薄板金属材をコイル
   状に巻いて、バツチ処理するためのフオトエツチ
   ング用治具において、針金状の上部外枠と、前記
   上部外枠の内側に位置する上部内枠と、前記上部
   外枠の下部に配設されている下部外枠と、前記下
   部外枠の内側に位置する下部内枠と、前記上部外
   枠、上部内枠、下部外枠、下部内枠とを連結し、
   前記上部外枠と前記下部外枠との間に、ある空間
   を持つて帯状薄板金属材をコイル状に保持するた
   めの複数の凹凸を有する針金状の保持フレームと
   から構成されている事を特徴とするフオトエツチ
   ング用治具。