JPS63255380A - シヤドウマスクの製造方法 - Google Patents
シヤドウマスクの製造方法Info
- Publication number
- JPS63255380A JPS63255380A JP8739587A JP8739587A JPS63255380A JP S63255380 A JPS63255380 A JP S63255380A JP 8739587 A JP8739587 A JP 8739587A JP 8739587 A JP8739587 A JP 8739587A JP S63255380 A JPS63255380 A JP S63255380A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shadow mask
- manufacturing
- regulated
- line
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
及服ム旦預
本発明は、シャドウマスク、とくに薄型のものの製造方
法の改良に関する。 （従来の技術） カラーテレビや各種ディスプレイに用いるＣＲＴのシャ
ドウマスクは、通常、長尺の金属薄板の両面にフォトレ
ジストを施したのちエツチングを行なって多数の小孔を
開孔させ、周縁をもった個々のシャドウマスク素材に切
断したのち周縁部を除去するという工程に従って製造さ
れている。 従来、シャドウマスクの輪郭の形成は、上記の閉孔作業
と同時に行なってきた。 すなわち、同様なフォトレジ
スト法により一方の面に線状の溝を設け、他方の面の対
応する部分に上記の溝に達しない深さの破線状の溝を設
けることにより形成されている。 ところが、この製造
方法の実施に当って、製造工程で金属薄板に加わる引張
力により、金属薄板の輪郭とくに幅方向の線で切断し、
それに起因する製品の凹みや折れが生じることが経験さ
れた。 この傾向は、厚さ０．１１ｎ！ｒ１以下の薄型、とくに
最近需要のある０、０２ａｉから０．０８ｍといった超
薄型のシャドウマスクの製造において著しい。 切断を防ぐには、輪郭の部分が引張力に耐えられるよう
に、過度に薄くならないようにすればよいが、厚さのコ
ントロールは容易でない。 あまり厚いままでは、周縁
部を除去するための折り取る作業に支障が出てくる。
法の改良に関する。 （従来の技術） カラーテレビや各種ディスプレイに用いるＣＲＴのシャ
ドウマスクは、通常、長尺の金属薄板の両面にフォトレ
ジストを施したのちエツチングを行なって多数の小孔を
開孔させ、周縁をもった個々のシャドウマスク素材に切
断したのち周縁部を除去するという工程に従って製造さ
れている。 従来、シャドウマスクの輪郭の形成は、上記の閉孔作業
と同時に行なってきた。 すなわち、同様なフォトレジ
スト法により一方の面に線状の溝を設け、他方の面の対
応する部分に上記の溝に達しない深さの破線状の溝を設
けることにより形成されている。 ところが、この製造
方法の実施に当って、製造工程で金属薄板に加わる引張
力により、金属薄板の輪郭とくに幅方向の線で切断し、
それに起因する製品の凹みや折れが生じることが経験さ
れた。 この傾向は、厚さ０．１１ｎ！ｒ１以下の薄型、とくに
最近需要のある０、０２ａｉから０．０８ｍといった超
薄型のシャドウマスクの製造において著しい。 切断を防ぐには、輪郭の部分が引張力に耐えられるよう
に、過度に薄くならないようにすればよいが、厚さのコ
ントロールは容易でない。 あまり厚いままでは、周縁
部を除去するための折り取る作業に支障が出てくる。
本発明の目的は、上記の問題点を解決し、製造工程にお
いて、金属薄板の切断が生じることなく、従って製品に
凹みや折れが発生することが防げ、かつ輪郭の周縁の部
分を容易に除去できるシャドウマスクの製造方法を提供
することにある。 λ服五里式
いて、金属薄板の切断が生じることなく、従って製品に
凹みや折れが発生することが防げ、かつ輪郭の周縁の部
分を容易に除去できるシャドウマスクの製造方法を提供
することにある。 λ服五里式
本発明のシャドウマスクの製造方法は、金属の薄板にフ
ォトレジスト法によるエツチングを施して開孔を行ない
、周縁をもった個々のシャドウマスク素材に切断したの
ち周縁部を除去することからなるシャドウマスクの製造
方法において、第１図に示すように、シャドウマスクの
輪郭１を断続的な貫通孔２をもって形成することを特徴
とする。 コーナー部３および治具用ノツチ部４は、図に示したよ
うに貫通線５で形成するとよい。 輪郭１を形成する貫通孔２は、直径０．１２〜０．６５
７１１Ｉ、ピッチ０．１５〜０．８＃Ｉ１１の円形の孔
とすることが好ましい。 周縁の不要部分を除去したの
ちの輪郭を滑らかにするには、孔を小さめに、たとえば
直径０，１２〜０．１５ｍ、ピッチ０．１５〜０．２０
ｍにすることが好ましい。 貫通孔の形状は、円形のほか、菱形、三角形、六角形、
六角形など任意にえらぶことかできる。 前記したように、コーナー部３は貫通線５で形成すると
よく、その大きさは、第２図の幅ａが０゜１２〜０．６
５ｍｍ１−辺の長さｂが１〜５＃で、端が直径０．１２
〜０．６５８の半円形としたし字型の貫通線とし、隣接
するドツトとの距離Ｃを０．０３〜０．２ｍとすること
が好ましい。 所望により、コーナー部に適宜のアール
を与えてもよいことはもちろんである。 同様に、治具用ノツチ部４は治具に合わせた形状とする
代表的な例は、第３図に示すような幅ｄが０．１２〜０
．６５ａｍの弧の両側に、長ざｅが１〜５扁、端を半円
形とした二辺を有する形状の貫通線とし、隣接するドツ
トとの距離ｆを０．０３〜０．２ｍｓとしたものである
。
ォトレジスト法によるエツチングを施して開孔を行ない
、周縁をもった個々のシャドウマスク素材に切断したの
ち周縁部を除去することからなるシャドウマスクの製造
方法において、第１図に示すように、シャドウマスクの
輪郭１を断続的な貫通孔２をもって形成することを特徴
とする。 コーナー部３および治具用ノツチ部４は、図に示したよ
うに貫通線５で形成するとよい。 輪郭１を形成する貫通孔２は、直径０．１２〜０．６５
７１１Ｉ、ピッチ０．１５〜０．８＃Ｉ１１の円形の孔
とすることが好ましい。 周縁の不要部分を除去したの
ちの輪郭を滑らかにするには、孔を小さめに、たとえば
直径０，１２〜０．１５ｍ、ピッチ０．１５〜０．２０
ｍにすることが好ましい。 貫通孔の形状は、円形のほか、菱形、三角形、六角形、
六角形など任意にえらぶことかできる。 前記したように、コーナー部３は貫通線５で形成すると
よく、その大きさは、第２図の幅ａが０゜１２〜０．６
５ｍｍ１−辺の長さｂが１〜５＃で、端が直径０．１２
〜０．６５８の半円形としたし字型の貫通線とし、隣接
するドツトとの距離Ｃを０．０３〜０．２ｍとすること
が好ましい。 所望により、コーナー部に適宜のアール
を与えてもよいことはもちろんである。 同様に、治具用ノツチ部４は治具に合わせた形状とする
代表的な例は、第３図に示すような幅ｄが０．１２〜０
．６５ａｍの弧の両側に、長ざｅが１〜５扁、端を半円
形とした二辺を有する形状の貫通線とし、隣接するドツ
トとの距離ｆを０．０３〜０．２ｍｓとしたものである
。
シャドウマスクの輪郭を断続的な貫通孔をもって形成す
ることにより、その部分の断面積のコントロールが容易
であって、製造工程で金属薄板に加わる引張力に耐え、
切断しないような強度を確保することができる。 一方
、周縁の不要部分の除去は容易である。 コーナー部や治具用ノツチ部を貫通線としておけば周縁
の不要部分を除去しやすく、正確な寸法の製品を得るの
に好都合である。
ることにより、その部分の断面積のコントロールが容易
であって、製造工程で金属薄板に加わる引張力に耐え、
切断しないような強度を確保することができる。 一方
、周縁の不要部分の除去は容易である。 コーナー部や治具用ノツチ部を貫通線としておけば周縁
の不要部分を除去しやすく、正確な寸法の製品を得るの
に好都合である。
厚さＯ，’Ｉｗのアンバー合金の薄板を材料とし、一方
の面に直径０．０９ａ＋＋の大円ドツトを０．２Ｍピッ
チで配列したシャドウマスクのパターンと、輪郭の直線
部、コーナー部および治具用ノツチ部のそれぞれに、下
記のパターンの第一レシストを設けた。 （イ） 直 線 部 直径０．０８ｍのドツトを０．１５ｍピッチで配列した
パターン （ロ） コーナー部 幅が０．０８ｍ１１、−辺の長さ０．９５＃ｌＩＮ、端
が半円形の１字型で、隣接するドツトとの距離が０．０
７７１１＃ｌであるパターン（ハ） 治具用ノツチ部 径１．１７ｍの弧を幅０．０８７１１１１１の線でえか
き、その両側に幅が０．０８＃１ＩＩＩ、長さ０．９５
＃１Ｉ１１、端が半円形の二辺を有する形状で、隣接す
るドツトとの距離が０．０７であるパターン 他方の面には、直径０．０６ｍｍの小円ドツトを０、２
ａｇ＊ピッチで配列したパターンと、輪郭の直線部、コ
ーナー部および治具用ノツチ部に、上記と同様のパター
ンの第ニレジストを設けた。 まず第一レシストを被覆材で保護し、第ニレジストを使
用したエツチングを行ない、第一レシストの被覆材を溶
かし去ってから、上記のエツチングの済んだ面を被覆材
で保護し、第一レシストを使用したエツチングを行なっ
た。 被覆材および第一、第ニレジストを溶かし去って、多面
付のシャドウマスク材料を得た。 その輪郭の直線部は
直径０．１２ｍの貫通孔がピッチ０．１５ｍｍで並んだ
ものであった。 コーナー部は幅０．１２ａｍ、長さ１
＃Ｉ、端が半円形のＬ字型貫通線であり、隣接するドツ
トとの距離は０．０３ｍであった。 治具用ノツチ部は
、幅０．１２Ｍの線で外径１．３＃ｌ１１１１弧をえが
き、その両側に、幅０．１２ｍｑ長さｌｌｌｌ１１、端
が半円形の二辺を有する形状の貫通線であり、隣接する
ドツトとの距離は０．０３ｍｍであった。 この多面付の材料を切断して個々のシャドウマスク素材
としたのち、周縁の不要部を除去したところ、容易に除
去でき、凹みや折れのないシャドウマスクが得られた。 及五五力１ 本発明のシャドウマスクの製造方法によれば、製造工程
で金属薄板が切断して凹みや折れが発生することなく、
かつ周縁の不要部を除去することが容易になるから、凹
みや折れのないシャドウマスク製品を得ることができる
。
の面に直径０．０９ａ＋＋の大円ドツトを０．２Ｍピッ
チで配列したシャドウマスクのパターンと、輪郭の直線
部、コーナー部および治具用ノツチ部のそれぞれに、下
記のパターンの第一レシストを設けた。 （イ） 直 線 部 直径０．０８ｍのドツトを０．１５ｍピッチで配列した
パターン （ロ） コーナー部 幅が０．０８ｍ１１、−辺の長さ０．９５＃ｌＩＮ、端
が半円形の１字型で、隣接するドツトとの距離が０．０
７７１１＃ｌであるパターン（ハ） 治具用ノツチ部 径１．１７ｍの弧を幅０．０８７１１１１１の線でえか
き、その両側に幅が０．０８＃１ＩＩＩ、長さ０．９５
＃１Ｉ１１、端が半円形の二辺を有する形状で、隣接す
るドツトとの距離が０．０７であるパターン 他方の面には、直径０．０６ｍｍの小円ドツトを０、２
ａｇ＊ピッチで配列したパターンと、輪郭の直線部、コ
ーナー部および治具用ノツチ部に、上記と同様のパター
ンの第ニレジストを設けた。 まず第一レシストを被覆材で保護し、第ニレジストを使
用したエツチングを行ない、第一レシストの被覆材を溶
かし去ってから、上記のエツチングの済んだ面を被覆材
で保護し、第一レシストを使用したエツチングを行なっ
た。 被覆材および第一、第ニレジストを溶かし去って、多面
付のシャドウマスク材料を得た。 その輪郭の直線部は
直径０．１２ｍの貫通孔がピッチ０．１５ｍｍで並んだ
ものであった。 コーナー部は幅０．１２ａｍ、長さ１
＃Ｉ、端が半円形のＬ字型貫通線であり、隣接するドツ
トとの距離は０．０３ｍであった。 治具用ノツチ部は
、幅０．１２Ｍの線で外径１．３＃ｌ１１１１弧をえが
き、その両側に、幅０．１２ｍｑ長さｌｌｌｌ１１、端
が半円形の二辺を有する形状の貫通線であり、隣接する
ドツトとの距離は０．０３ｍｍであった。 この多面付の材料を切断して個々のシャドウマスク素材
としたのち、周縁の不要部を除去したところ、容易に除
去でき、凹みや折れのないシャドウマスクが得られた。 及五五力１ 本発明のシャドウマスクの製造方法によれば、製造工程
で金属薄板が切断して凹みや折れが発生することなく、
かつ周縁の不要部を除去することが容易になるから、凹
みや折れのないシャドウマスク製品を得ることができる
。
第１図は、本発明の製造方法により得たシャドウマスク
素材の一例を示す平面図である。 第２図および第３図は、第１図の部分拡大図であって、
第２図は輪郭におけるコーナー部の詳細を示し、第３図
は治具用ノツチ部の詳細を示す。 １・・・輪 郭 ２・・・貫通孔３・・・コ
ーナー部 ４・・・治具用ノツチ部５・・・貫通
線
素材の一例を示す平面図である。 第２図および第３図は、第１図の部分拡大図であって、
第２図は輪郭におけるコーナー部の詳細を示し、第３図
は治具用ノツチ部の詳細を示す。 １・・・輪 郭 ２・・・貫通孔３・・・コ
ーナー部 ４・・・治具用ノツチ部５・・・貫通
線
Claims (5)
- （１）金属の薄板にフォトレジスト法によるエッチング
を施して開孔を行ない、周縁をもった個々のシャドウマ
スク素材に切断したのち周縁部を除去することからなる
シヤドウマスクの製造方法において、シャドウマスクの
輪郭を断続的な貫通孔をもって形成することを特徴とす
るシャドウマスクの製造方法。 - （２）シャドウマスクのコーナー部および治具用ノッチ
部を貫通線で形成する特許請求の範囲第１項の製造方法
。 - （３）貫通孔を直径０．１２〜０．６５ｍｍ、ピッチ０
．１５〜０．８ｍｍの円形の孔とする特許請求の範囲第
１項の記載の製造方法。 - （４）コーナー部を幅０．１２〜０．６５ｍｍ、一辺の
長さ１〜５ｍｍで、端を半円形としたＬ字型の貫通線と
し、隣接するドットとの距離を０．０３〜０．２ｍｍと
する特許請求の範囲第１項に記載の製造方法。 - （５）治具ノッチ部を幅０．１２〜０．６５ｍｍの線で
治具に合わせた形とし、その両側に、長さ１〜５ｍｍで
端を半円形とした二辺を有する形状の貫通線とし、隣接
するドットとの距離を０．０３〜０．２ｍｍとする特許
請求の範囲第１項に記載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8739587A JPS63255380A (ja) | 1987-04-09 | 1987-04-09 | シヤドウマスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8739587A JPS63255380A (ja) | 1987-04-09 | 1987-04-09 | シヤドウマスクの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63255380A true JPS63255380A (ja) | 1988-10-21 |
Family
ID=13913689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8739587A Pending JPS63255380A (ja) | 1987-04-09 | 1987-04-09 | シヤドウマスクの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63255380A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018115390A (ja) * | 2017-01-17 | 2018-07-26 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 |
| KR20220156656A (ko) * | 2017-01-17 | 2022-11-25 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 중간 제품 |
| JP2022191309A (ja) * | 2016-10-07 | 2022-12-27 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスクが割り付けられた中間製品及び蒸着マスク |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55133728A (en) * | 1979-04-05 | 1980-10-17 | Toshiba Corp | Manufacture of shadow mask |
-
1987
- 1987-04-09 JP JP8739587A patent/JPS63255380A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55133728A (en) * | 1979-04-05 | 1980-10-17 | Toshiba Corp | Manufacture of shadow mask |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022191309A (ja) * | 2016-10-07 | 2022-12-27 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの製造方法、蒸着マスクが割り付けられた中間製品及び蒸着マスク |
| JP2018115390A (ja) * | 2017-01-17 | 2018-07-26 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 |
| JP2019023350A (ja) * | 2017-01-17 | 2019-02-14 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 |
| KR20190103355A (ko) * | 2017-01-17 | 2019-09-04 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 증착 마스크 및 증착 마스크의 제조 방법 |
| US11136664B2 (en) | 2017-01-17 | 2021-10-05 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Deposition mask and method of manufacturing deposition mask |
| KR20220156656A (ko) * | 2017-01-17 | 2022-11-25 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 중간 제품 |
| US11649540B2 (en) | 2017-01-17 | 2023-05-16 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Deposition mask and method of manufacturing deposition mask |
| JP2023089042A (ja) * | 2017-01-17 | 2023-06-27 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの中間製品 |
| US11859274B2 (en) | 2017-01-17 | 2024-01-02 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Deposition mask and method of manufacturing deposition mask |
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