JPS6233157U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6233157U JPS6233157U JP12556985U JP12556985U JPS6233157U JP S6233157 U JPS6233157 U JP S6233157U JP 12556985 U JP12556985 U JP 12556985U JP 12556985 U JP12556985 U JP 12556985U JP S6233157 U JPS6233157 U JP S6233157U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air lock
- chamber
- lock valve
- piston
- cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
Description
添附図面は本考案の一実施例を示す断面図であ
る。 １：投影レンズ、２：観察室、３：エアーロツ
ク弁、４，８：Ｏリングパツキング、５：軸、６
：シリンダ、７：ピストン、９，１１，１２：パ
イプ、１０：電磁切換弁、１３：コンプレツサ、
１４：油回転ポンプ、１５：穴。
る。 １：投影レンズ、２：観察室、３：エアーロツ
ク弁、４，８：Ｏリングパツキング、５：軸、６
：シリンダ、７：ピストン、９，１１，１２：パ
イプ、１０：電磁切換弁、１３：コンプレツサ、
１４：油回転ポンプ、１５：穴。
Claims (1)
- ２つの真空室を真空的に遮断するエアーロツク
弁と、ピストンを有するシリンダと、前記エアー
ロツク弁とピストンとを連結するためのシリンダ
側壁をＯリングパツキングを介して貫通した軸と
、前記ピストンによつて形成される２つのシリン
ダの室の内、エアーロツク弁に近い側のシリンダ
の室に加圧流体発生手段及び真空ポンプのいずれ
かを切換えて接続するための切換手段と、前記２
つのシリンダの他方の室を大気に開放するための
穴とを備え、前記軸を真空室内に移動させる際に
はエアーロツク弁に近い側の室内を真空ポンプに
接続して排気し、ピストンを大気室により駆動さ
せるように構成してなる電子顕微鏡等用エアーロ
ツク弁駆動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12556985U JPS6233157U (ja) | 1985-08-16 | 1985-08-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12556985U JPS6233157U (ja) | 1985-08-16 | 1985-08-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6233157U true JPS6233157U (ja) | 1987-02-27 |
Family
ID=31018578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12556985U Pending JPS6233157U (ja) | 1985-08-16 | 1985-08-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6233157U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20240212971A1 (en) * | 2020-03-26 | 2024-06-27 | National Institute For Materials Science | Electron gun chamber for scanning electron microscope, electron gun containing same, and scanning electron microscope |
-
1985
- 1985-08-16 JP JP12556985U patent/JPS6233157U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20240212971A1 (en) * | 2020-03-26 | 2024-06-27 | National Institute For Materials Science | Electron gun chamber for scanning electron microscope, electron gun containing same, and scanning electron microscope |
| US12633493B2 (en) * | 2020-03-26 | 2026-05-19 | National Institute For Materials Science | Electron gun chamber for scanning electron microscope, electron gun containing same, and scanning electron microscope |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3910160A (en) | Uniflow steam engine | |
| SE9500588L (sv) | Luftpump | |
| JP2675247B2 (ja) | ハンマー装置 | |
| JPS61103580U (ja) | ||
| JPH01130081U (ja) | ||
| JPS5912405Y2 (ja) | エヤエンジン | |
| JPS61138853U (ja) | ||
| SU456671A1 (ru) | Воздухораспределительное устройство пневматического молота | |
| JPS6269081U (ja) | ||
| JPS6166685U (ja) | ||
| JPS61107980U (ja) | ||
| JPS63115601U (ja) | ||
| SU941670A1 (ru) | Поршневой компрессор | |
| JPH03112583U (ja) | ||
| JPS63128275U (ja) | ||
| JPH0399206U (ja) | ||
| JPH06123304A (ja) | ロッドレスシリンダ | |
| JPH025602U (ja) | ||
| JPS6351167U (ja) | ||
| JPS61111869U (ja) | ||
| TH38198A (th) | เครื่องอัดแบบเคลื่อนไปมาแนวตรง | |
| JPH0267183U (ja) | ||
| JPS62183105U (ja) | ||
| JPH0430279U (ja) | ||
| JPH02122187U (ja) |