JPS6233318Y2

JPS6233318Y2 -

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Publication number: JPS6233318Y2
Application number: JP1982129502U
Authority: JP
Priority date: 1982-08-25
Filing date: 1982-08-25
Publication date: 1987-08-26
Also published as: JPS5933241U

Description

【考案の詳細な説明】本考案は、半導体素子の樹脂封止装置の性能向
上に関するものである。[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to improving the performance of a resin sealing device for semiconductor elements.

従来、この種の装置としては第１図に示すよう
なものがある。図に於て、１は油圧駆動部でロツ
ド２を上下方向に駆動できるようになつている。
３はロツド２の途中に取り付けられたアクチエー
タ、４はロツド２の下端に取付けられたピストン
である。５は上型、６は上型５に一体化されたシ
リンダ、７は上型５に嵌合する下型、８は上型５
と下型７によつて形成され樹脂流路９の先端に設
けられた成形空間、１０はシリンダ６に投入され
た樹脂である。なお、成形空間８には予め樹脂封
止される前の半導体素子が配置されている（図示
せず）。１１，１２，１３はマイクロスイツチ
で、ピストン４の上死点、速度変更点、下死点で
それぞれアクチエータ３に当接されるように配置
されている。１４はマイクロスイツチの動作に応
じて油圧駆動部１を制御する制御部である。 A conventional device of this type is shown in Fig. 1. In the figure, reference numeral 1 denotes a hydraulic drive unit capable of driving a rod 2 in the vertical direction.
Numeral 3 is an actuator attached midway along rod 2, and numeral 4 is a piston attached to the lower end of rod 2. Numeral 5 is an upper die, numeral 6 is a cylinder integrated with upper die 5, numeral 7 is a lower die that fits into upper die 5, and numeral 8 is a cylinder that fits into upper die 5.
A molding space is formed at the tip of the resin flow path 9 by the lower die 7, and 10 is the resin poured into the cylinder 6. A semiconductor element is placed in the molding space 8 before being sealed with resin (not shown). Microswitches 11, 12, and 13 are placed so as to come into contact with the actuator 3 at the top dead center, the speed change point, and the bottom dead center of the piston 4, respectively. 14 is a control unit which controls the hydraulic drive unit 1 in response to the operation of the microswitches.

次に上記構成の動作について説明する。油圧駆
動部１が作動してロツド２を下方に移動させると
ピストン４はシリンダ６内で下方に摺動する。従
つて、シリンダ６内の樹脂１０はピストン４に押
され樹脂流路９を通つて成形空間８に押し込ま
れ、成形空間８内で半導体素子が樹脂封止され
る。成形が終了すると、ピストン４がシリンダ６
から出たのち上型５と下型７は分離されて成形さ
れた半導体素子が取り出される。以上の動作にお
いて、ロツド２が下方に移動するときに、ピスト
ン４は初め早い速度で下降してアクチエータ３が
速度変更点のマイクロスイツチ１２に当接すると
その時点から遅い速度で下降し下死点で停止す
る。その後、ピストン４は方向転換されて上死点
へ復帰される。 Next, the operation of the above configuration will be explained. When the hydraulic drive 1 is actuated to move the rod 2 downward, the piston 4 slides downward within the cylinder 6. Therefore, the resin 10 in the cylinder 6 is pushed by the piston 4 into the molding space 8 through the resin flow path 9, and the semiconductor element is sealed with the resin within the molding space 8. When the molding is completed, the piston 4 moves into the cylinder 6.
After coming out of the mold, the upper mold 5 and the lower mold 7 are separated and the molded semiconductor element is taken out. In the above operation, when the rod 2 moves downward, the piston 4 initially descends at a fast speed, and when the actuator 3 contacts the micro switch 12 at the speed change point, it descends at a slow speed from that point to the bottom dead center. Stop at. Thereafter, the piston 4 is changed direction and returned to the top dead center.

一般に、樹脂が成形空間に押し込まれるとき
は、特に念入りな速度制御が必要である。一方、
ピストンの速度は油圧駆動部の送油量に比例し、
かつピストンの負荷に反比例する。しかし、従来
の装置では、ピストンの速度は高速、低速の２段
階に制御されるが、低速制御時における油圧駆動
部の送油量は一定であるため、ピストンに何らか
の抵抗が加わつた場合、その速度が遅くなり外観
が悪く、信頼性の低い半導体素子を作り出す欠点
があつた。 In general, particularly careful speed control is required when the resin is forced into the molding space. on the other hand,
The speed of the piston is proportional to the amount of oil fed by the hydraulic drive.
and is inversely proportional to the piston load. However, in conventional devices, the speed of the piston is controlled in two stages, high speed and low speed, but since the amount of oil fed to the hydraulic drive section is constant during low speed control, if some resistance is applied to the piston, The drawbacks were that they produced semiconductor devices that were slow, had poor appearance, and were unreliable.

従つて、本考案はこのような点に鑑みなされた
もので、その目的はピストンの動作を制御して製
品の外観及び信頼性の向上を計る樹脂封止装置を
提供することにある。 Therefore, the present invention has been devised in view of these points, and its purpose is to provide a resin sealing device that controls the operation of the piston to improve the appearance and reliability of the product.

このような目的を達成するために、本考案では
ピストンの位置を検出するための検出器を複数個
設け、その速度の許容範囲を設定してその許容範
囲を越えた場合ピストンの動きを止め警報を発生
させたり、又は、常に適正速度となるよう自動制
御させたりすることを可能にするものである。 In order to achieve this purpose, the present invention provides multiple detectors to detect the position of the piston, sets a permissible speed range, and if the permissible range is exceeded, the piston stops moving and an alarm is issued. This makes it possible to automatically control the speed so that it always maintains an appropriate speed.

第２図は本考案の一実施例の概要図、第３図は
第２図に於けるピストンの移動量と時間の関係を
示すグラフである。第２図において、１５及び１
６は速度変更点のマイクロスイツチ１２下死点の
マイクロスイツチ１３の途中に設けられたマイク
ロスイツチである。１７は各マイクロスイツチの
信号を受けて油圧駆動部１を制御する制御部、１
８は制御部１７から停止信号が出された場合に警
報を発する警報部である。なお、第２図に於て第
１図と同一部分は同一符号を用いている。第３図
に於て、縦軸にピストンの下降距離、横軸に時間
をとり、曲線Ａ→Ｂ→Ｃでピストンの速度変化の
様子を表わしている。縦軸に於てＬ_Aは上死点、
Ｌ_Bは速度変更点、Ｌ_Dは第１の速度検出点、Ｌ_E
は第２の速度検出点、Ｌ_Cは下死点である。横軸
に於てＴ_Aはピストン４の下降開始時点、Ｔ_Bは速
度変更点に到達した時点、Ｔ_Dは第１の速度検出
点に到達した時点、T₁およびT₂は許容時間幅の
各時点、Ｔ_Eは第２の速度検出点に到達した時
点、T₃及びT₄は許容時間幅の各時点、Ｔ_Cは下死
点に到達した時点である。 FIG. 2 is a schematic diagram of an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a graph showing the relationship between the amount of movement of the piston in FIG. 2 and time. In Figure 2, 15 and 1
Reference numeral 6 designates a micro switch provided midway between the micro switch 12 at the speed change point and the micro switch 13 at the bottom dead center. 17 is a control unit that controls the hydraulic drive unit 1 in response to signals from each microswitch;
Reference numeral 8 denotes an alarm section that issues an alarm when a stop signal is issued from the control section 17. Note that in FIG. 2, the same parts as in FIG. 1 are designated by the same reference numerals. In FIG. 3, the vertical axis represents the downward distance of the piston, and the horizontal axis represents time, and curves A→B→C represent the change in piston speed. On the vertical axis, L _A is top dead center,
L _B is the speed change point, L _D is the first speed detection point, L _E
is the second speed detection point, and L _C is the bottom dead center. On the horizontal axis, T _A is the time when the piston 4 starts descending, T _B is the time when the speed change point is reached, T _D is the time when the first speed detection point is reached, and T ₁ and T ₂ are the allowable time width. At each time, T _E is the time when the second speed detection point is reached, T ₃ and T ₄ are each time of the allowable time width, and T _C is the time when the bottom dead center is reached.

次に上記構成の動作について第２図及び第３図
により説明する。先づ、油圧駆動部１が作動して
ピストン４がシリンダ６内を早い速度で下降す
る。その間、アクチエータ３はマイクロスイツチ
１１を離れ、やがて、マイクロスイツチ１２に当
接する。マイクロスイツチ１２の信号は制御部１
７へ送られ、制御部１７から油圧駆動部１を遅い
速度で動作させるように変速信号ａが出力され
る。第３図ではＡ→Ｂの線が示すように傾斜が急
角度に表わされ早い速度であることを示してい
る。 Next, the operation of the above configuration will be explained with reference to FIGS. 2 and 3. First, the hydraulic drive unit 1 is actuated and the piston 4 descends within the cylinder 6 at a high speed. During this time, the actuator 3 leaves the microswitch 11 and eventually comes into contact with the microswitch 12. The signal from the micro switch 12 is sent to the control unit 1.
7, and the control section 17 outputs a speed change signal a to operate the hydraulic drive section 1 at a slow speed. In FIG. 3, as shown by the line A→B, the slope is steep and the speed is fast.

その後、ピストン４は遅い速度で下降し、やが
て、アクチエータ３はマイクロスイツチ１５に当
接する。この間、即ち、アクチエータ３がマイク
ロスイツチ１２に当接した時点から遅い速度でマ
イクロスイツチ１５に当接する迄の時間（Ｔ_D−
Ｔ_B）は制御部１７が測られる。一方、アクチエ
ータ３がマイクロスイツチ１２に当接して次にマ
イクロスイツチ１５に当接する迄の時間は製品の
品質により許容時間幅（T₁−Ｔ_B，T₂−Ｔ_B）を
もつて予め制御部１７に設定されている。 Thereafter, the piston 4 descends at a slow speed, and the actuator 3 eventually comes into contact with the micro switch 15. During this period, that is, the time from when the actuator 3 contacts the micro switch 12 until it contacts the micro switch 15 at a slow speed (T _D -
T _B ) is measured by the control unit 17. On the other hand, the time from when the actuator 3 comes into contact with the micro switch 12 to when it next comes into contact with the micro switch 15 is determined by the control unit in advance with an allowable time width (T ₁ -T _B , T ₂ -T _B ) depending on the quality of the product. It is set to 17.

制御部１７で測られた時間（Ｔ_D−Ｔ_B）が許容
時間幅（T₁−Ｔ_B，T₂−Ｔ_B）を越えた場合、制
御部１７から停止信号ｂが出力せられ油圧駆動部
１の動作は停止する。一方、停止信号ｂは警報部
１８にも伝えられて警報を発して装置の停止を知
らせる。 When the time ( _TD - _{T B} ) measured by the control section 17 exceeds the allowable time width (T ₁ - T _B , T ₂ - T _B ), the control section 17 outputs a stop signal b and the hydraulic drive is started. The operation of section 1 is stopped. On the other hand, the stop signal b is also transmitted to the alarm section 18, which issues an alarm to notify that the apparatus has stopped.

ところが、ピストン４の移動速度が許容範囲内
であれば、ピストン４はさらに下降してやがてア
クチエータ３はマイクロスイツチ１６に当接す
る。この時点でも、時間（Ｔ_E−Ｔ_B）が制御部１
７で測られ、許容時間幅（T₃−Ｔ_B，T₄−Ｔ_B）
と比較されて停止か否かが判断される。許容時間
幅を越えた場合は同様に停止信号ｂが出力される
が、許容範囲内であればピストン４は下死点に到
達し成形が終了してピストン４は上死点に復帰
し、また、成形された半導体素子は取り出され
る。なお、第２の実施例をさらに進めてピストン
の速度を常に適正速度となるように自動制御させ
ることもできる。 However, if the moving speed of the piston 4 is within the permissible range, the piston 4 will further descend and the actuator 3 will eventually come into contact with the micro switch 16. At this point as well, the time (T _E - T _B ) is
7, and the allowable time width (T ₃ - T _B , T ₄ - _{T B} )
It is determined whether or not it has stopped. If the permissible time range is exceeded, the stop signal b is similarly output, but if it is within the permissible range, the piston 4 reaches the bottom dead center, molding is completed, and the piston 4 returns to the top dead center, and then the piston 4 returns to the top dead center. , the molded semiconductor element is taken out. Note that the second embodiment can be further advanced to automatically control the speed of the piston so that it always maintains an appropriate speed.

第４図はこのような実施例の概要図である。第
４図に於て、ピストン４の下降時間は、マイクロ
スイツチ１５及び１６が動作する各時点に於て、
サーボ部１９で予め設定された許容時間幅と比較
され、下降速度が遅くて時間が長い場合は速度を
早くするように制御信号ｃによつて油圧駆動部１
の動作を制御する。 FIG. 4 is a schematic diagram of such an embodiment. In FIG. 4, the descending time of the piston 4 is determined at each time when the micro switches 15 and 16 operate.
The servo unit 19 compares it with a preset allowable time width, and if the descending speed is slow and takes a long time, the hydraulic drive unit 1 is controlled by the control signal c to increase the speed.
control the behavior of

又、下降速度が早くて時間が短い場合は逆にピ
ストン４が遅く下降するように制御される。この
実施例ではマイクロスイツチの数が多いと、より
高精度の制御ができる。 On the other hand, if the descending speed is fast and the time is short, the piston 4 is controlled to descend slowly. In this embodiment, the more microswitches there are, the more precise control can be achieved.

以上説明したように、本考案によれば、ピスト
ンの移動範囲の途中の位置を検出する複数個の検
出器を設け、この検出器の動作に基づいてピスト
ンの動作を制御することにより、その移動時間を
許容設定値の範囲内に限定できるので半導体素子
の外観及び信頼性を向上できる効果がある。 As explained above, according to the present invention, a plurality of detectors are provided to detect the midway position of the piston's movement range, and the movement of the piston is controlled based on the operation of the detectors. Since the time can be limited within the range of allowable set values, there is an effect that the appearance and reliability of the semiconductor device can be improved.

[Brief explanation of the drawing]

第１図は従来装置の概要図、第２図は本考案の
一実施例を示す概要図、第３図は第２図における
ピストンの移動量と時間の関係を示すグラフ、第
４図は本考案の他の実施例を示す概要図である。１……油圧駆動部、２……ロツド、３……アク
チエータ、４……ピストン、５……上型、６……
シリンダ、７……下型、８……樹脂成形空間、９
……樹脂流路、１０……樹脂、１１，１２，１
３，１５，１６……マイクロスイツチ、１７……
制御部、１８……警報部。 Fig. 1 is a schematic diagram of the conventional device, Fig. 2 is a schematic diagram showing an embodiment of the present invention, Fig. 3 is a graph showing the relationship between the amount of piston movement and time in Fig. 2, and Fig. 4 is a diagram of the present invention. FIG. 3 is a schematic diagram showing another embodiment of the invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Hydraulic drive part, 2... Rod, 3... Actuator, 4... Piston, 5... Upper mold, 6...
Cylinder, 7...Lower mold, 8...Resin molding space, 9
... Resin flow path, 10 ... Resin, 11, 12, 1
3, 15, 16...Micro switch, 17...
Control unit, 18...Alarm unit.

Claims

[Scope of utility model registration request]

A cylinder having a resin mold, a piston that slides in the cylinder, a drive device that drives the piston, a plurality of detectors that detect positions in the middle of the movement range of the piston, and a control unit that calculates a moving speed of the piston based on the operation and controls the driving device to maintain this moving speed at an appropriate speed or to stop when this moving speed exceeds an allowable range. A resin sealing device for a semiconductor element, characterized in that: