JPS6233320Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は気密容器を使用する半導体気相成長装
置、エツチング装置、拡散装置等の半導体製造装
置に係り、特に気密容器のウエーハ導入用開口を
開閉する密閉用弁板と、気密容器内、外部にそれ
ぞれ設けられ、密閉用弁板の開時に、ウエーハを
ウエーハ導入用開口を通して搬送するための内、
外部ウエーハ搬送機構とを備えた半導体製造装置
に関する。

従来のこのような半導体製造装置においては、
密閉用弁板の開閉時に、弁板とウエーハ搬送機構
との機械的干渉による部品の破損を避けるため、
一方のウエーハ搬送機構を逃がしておき、逃げた
ことを確認してから弁板を動作させるように構成
していたが、このような構成では弁板用とウエー
ハ搬送機構用の二系統の駆動源を必要とし、又、
自動化の場合、センサーも又二系統必要であり、
両者間のインターロツク機構も必要であるなど複
雑であり、一方の駆動源やセンサーが不良である
場合には部品を破損させる恐れがあり、信頼性に
欠ける欠点があつた。

本考案は前記の欠点を解消するためになされた
ものであつて、弁板とウエーハ搬送機構を１つの
駆動源のみで作動させ、機械的干渉による部品の
破損を防止するとともに、センサーを一系統と
し、自動化も容易に達成できるようにした半導体
製造装置を提供することを目的とする。

以下上記の目的を達成する本考案を図面に示す
一実施例について説明する。

図面は本考案の一実施例の要部を示す側断面図
で、まずその構成を説明すると、１は気密容器、
１１はそのウエーハ導入用開口、７はこのウエー
ハ導入用開口１１を開閉する密閉用弁板、１０は
気密容器１内を気密に保持するためのＯリング、
２，３はそれぞれ気密容器１の内、外部に設けら
れた内、外側ウエーハ搬送機構である。内、外側
ウエーハ搬送機構２，３としては例えばエアトラ
ツクを用いることができる。

９は回動規制バネで、図例ではバネ蝶番の場合
を示しているが、バネ付き蝶番の如きものでもよ
い。

４は気密容器１の外部において固定部１３に中
央部を枢支軸５により回動自在に枢支した、くの
字形のアームで、７はこのアーム４の先端部にピ
ン、軸、ネジ等の結合手段６により結合した密閉
用弁板である。８はアーム４の先端に枢着したコ
ロで、外側ウエーハ搬送機構３との接触を滑らか
にするためのものである。

そして密閉用弁板７の開時に固定部１２の側面
に外側搬送機構３の端面が当接して内、外側搬送
機構２，３の一直線状態が確保され、かつ密閉用
弁板７の閉時にはアーム４に枢着したコロ８で外
側搬送機構３がバネ力に抗して持ち上げられるよ
うに外側搬送機構３を固定部１２にバネ蝶番９で
連接せしめてある。

次に上記の如き構成の本考案の動作を説明す
る。いま、アーム４及び弁板７が仮想線で示す開
の位置にあり、外側ウエーハ搬送機構３が蝶番９
のバネ力により仮想線で示すように内側ウエーハ
搬送機構２に対し一直線状になる位置にあるとす
る。このような状態においてアーム４を枢支軸５
を中心に矢印Ａで示す時計方向に回動すると、弁
板７がＣ矢印で示す時計方向に回動して実線で示
すように気密容器１の外側面にＯリング１０を介
して押付けられ、ウエーハ導入用開口１１が閉じ
られる。これと同時に外側ウエーハ搬送機構３が
アーム４のコロ８によつて蝶番９のバネ力に抗し
て押されて矢印Ｆで示す反時計方向に回動し、実
線の状態になる。そこで気密容器１内を減圧する
と、弁板７が増々気密容器１の外側面にＯリング
１０を介して押付けられ、ウエーハ導入用開口１
１が密閉されて気密状態を保持することになる。

次に気密容器１内を大気圧に戻してアーム４を
枢支軸５を中心に矢印Ｂで示す反時計方向に弁板
７による実線の閉状態より仮想線の開状態になる
まで回動すると、弁板７がＤ矢印で示す反時計方
向に回動して実線の閉状態より仮想線の開状態に
なる。これと同時にアーム４のコロ８に対接して
いた外側ウエーハ搬送機構３は、アーム４のＢ矢
印で示す反時計方向に蝶番９のバネ力と外側ウエ
ーハ搬送機構３の自重によつてＧ矢印で示す時計
方向に回動し、仮想線の状態に復帰する。

この復帰状態では、外側ウエーハ搬送機構３は
内側ウエーハ搬送機構２に対し一直線状となつて
連通した状態に蝶番９によつて確保され、気密容
器１の内部で例えば気相成長されたり、エツチン
グされたり、あるいは拡散処理されたりしたウエ
ーハをこれらのウエーハ搬送機構２，３によつて
外部に搬出したり、逆に外部より未処理のウエー
ハを処理すべく気密容器１の内部に搬入したりす
ることができる。

この実施例では回動規制バネ９としてバネ蝶番
を用いた例を説明したが、バネ付き蝶番を用いて
も同様に説明できることは明らかである。

以上の説明より明らかなように本考案によれ
ば、弁板７の開閉動作と外側ウエーハ搬送機構３
の逃げ動作をアーム４の回動操作だけで行えるよ
うに構成したので、弁板７と外側ウエーハ搬送
機構３の動作を１つの駆動源で行うことができ、
装置を簡単にできる。弁板７と外側ウエーハ搬
送機構３の動作が機械的に同期しているため、機
械的干渉による部品の破損を防止でき安全であ
る。センサーを弁板７用と外側ウエーハ搬送機
構３用の二系統とする必要はなく一系統でよいた
め、両者間のインターロツク機構も必要なくな
り、構成が簡単で信頼性が向上し、自動化も容易
に達成できる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例の要部を示す側断面図
である。 １……気密容器、２，３……内、外側ウエーハ
搬送機構、４……アーム、５……枢支軸、６……
結合手段、７……密閉用弁板、８……コロ（部
材）、９……バネ蝶番（回動規制バネ）、１１……
ウエーハ導入用開口、１２，１３……固定部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 気密容器１のウエーハ導入用開口１１を開閉す
   る密閉用弁板７と、気密容器内、外部にそれぞれ
   設けられ、密閉用弁板の開時に、ウエーハをウエ
   ーハ導入用開口を通して搬送するための内、外側
   ウエーハ搬送機構２，３とを備えた半導体製造装
   置において、前記密閉用弁板７を、気密容器外で
   回動自在に枢支したアーム４に結合し、このアー
   ム４の一部に部材８を取付けると共に、密閉用弁
   板７の開時に固定部１２の側面に外側搬送機構３
   の一部が当接して内、外側搬送機構２，３の一直
   線状態が確保され、かつ密閉用弁板７の閉時には
   アーム４に取付けた部材８で外側搬送機構３がバ
   ネ力に抗して持ち上げられるように外側搬送機構
   ３を固定部１２に回動規制バネ９で連接せしめて
   なる半導体製造装置。