JPS6233681U - - Google Patents

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JPS6233681U
JPS6233681U JP12275685U JP12275685U JPS6233681U JP S6233681 U JPS6233681 U JP S6233681U JP 12275685 U JP12275685 U JP 12275685U JP 12275685 U JP12275685 U JP 12275685U JP S6233681 U JPS6233681 U JP S6233681U
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JP
Japan
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vacuum chamber
magnet
transmission shaft
wall side
support body
Prior art date
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Pending
Application number
JP12275685U
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  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による動力伝達機構の一実施例
を示す要部断面図、第２図は本考案による動力伝
達機構の他の実施例を示す要部斜視図である。 １……真空槽壁、２……第１の回転軸（第１の
伝達軸）、３……第２の回転軸（第２の伝達軸）
、４……槽内動力伝達部、４ａ……永久磁石、５
……槽外動力伝達部、５ａ……電磁石、６……第
１の支持体、７……第２の支持体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空槽の内部に配置されて真空槽壁側の端部に
    磁石を有する第１の伝達軸と、該第１の伝達軸の
    真空槽壁側の端部を支持し少なくとも一部に磁石
    を有する第１の支持体と、真空槽の外部に配置さ
    れて真空槽壁側の端部に磁石を有する第２の伝達
    軸と、該第２の伝達軸の真空槽壁側の端部を支持
    し少なくとも一部に磁石を有する第２の支持体と
    を備え、前記第１および第２の支持第が相互の磁
    力により真空槽壁を挾んで吸引結合されていると
    ともに、前記第１および第２の伝達軸のそれぞれ
    の磁石が相互の磁力により非接触で連動可能とな
    つていることを特徴とする真空装置用動力伝達機
    構。
JP12275685U 1985-08-12 1985-08-12 Pending JPS6233681U (ja)

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JP12275685U JPS6233681U (ja) 1985-08-12 1985-08-12

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JP12275685U JPS6233681U (ja) 1985-08-12 1985-08-12

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JPS6233681U true JPS6233681U (ja) 1987-02-27

Family

ID=31013248

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JP12275685U Pending JPS6233681U (ja) 1985-08-12 1985-08-12

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