JPS6234736A - Clamping mechanism - Google Patents

Clamping mechanism

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Publication number
JPS6234736A
JPS6234736A JP17139685A JP17139685A JPS6234736A JP S6234736 A JPS6234736 A JP S6234736A JP 17139685 A JP17139685 A JP 17139685A JP 17139685 A JP17139685 A JP 17139685A JP S6234736 A JPS6234736 A JP S6234736A
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JP
Japan
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stage
clamping
movement stage
clamped
coarse movement
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Application number
JP17139685A
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Japanese (ja)
Inventor
Fumio Tabata
文夫 田畑
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6234736A publication Critical patent/JPS6234736A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/28—Means for securing sliding members in any desired position
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16D—COUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
    • F16D2121/00—Type of actuator operation force
    • F16D2121/18—Electric or magnetic
    • F16D2121/28—Electric or magnetic using electrostrictive or magnetostrictive elements, e.g. piezoelectric elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Clamps And Clips (AREA)
  • Braking Arrangements (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable a mechanism to surely clamp a moving body preventing its vibration and/or displacement difference from being generated, by utilizing a piezo-electric element as a means for clamping the moving body while applying voltage to the piezo-electric element to generate the displacement. CONSTITUTION:A rough moving stage 16, mounted onto a base 1, is movable only in a direction X by a guide 17. A fine moving stage 4 is fine movably supported in directions X, Y onto the rough moving stage 16. A clamping mechanism integrally mounts a clamped part 11 to the rough moving stage 16 in its side edge in the direction at a right angle with the moving direction of said stage 16. The mechanism, providing clamping arms 12, 13 to be arranged so as to hold the clamped part 11 from the upper and the bottom while forming the both clamping arms 12, 13 through their base part integrally into a squared shape opening its one end, constitutes a clamper 18. And the mechanism mounts piezo-electric elements 14, 15 to be supported to mutually opposed internal surfaces of the upper and bottom clamping arms 12, 13.

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 Ｘ−Ｙステージなどのような移動体を、振動や変位ずれ
を伴うことなく確実に固定するために、移動体の被クラ
ンプ部をクランプする手段として、圧電素子を使用し、
圧電素子に電圧を印加して変位を発生させることでクラ
ンプを行なう。[Detailed Description of the Invention] [Summary] In order to securely fix a moving body such as an X-Y stage without vibration or displacement, piezoelectric using elements,
Clamping is performed by applying a voltage to the piezoelectric element to generate displacement.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明は、半導体製造装置に使用されるＸ−Ｙステージ
などのように精度を要する装置において、移動体を固定
するクランプ機構、特に高精度で位置決めを行なうため
に粗調と微調の２段構造を有するＸ−Ｙステージの粗動
ステージのクランプ機構に関する。The present invention relates to a clamp mechanism for fixing a moving object in equipment that requires precision, such as an X-Y stage used in semiconductor manufacturing equipment, and in particular a two-stage structure for coarse adjustment and fine adjustment for positioning with high precision. The present invention relates to a clamping mechanism for a coarse movement stage of an XY stage.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第６図はＸ−Ｙステージの概要を示す斜視図である。ベ
ース１上には、粗動ステージ２がｉ置され、Ｘ軸案内溝
３ｘでＸ方向に案内され、Ｙ軸案内レール３ｙでＹ方向
に案内される。粗動ステージ２上には、微動ステージ４
が弾性支持体５・・・を介して載置支持されている。FIG. 6 is a perspective view showing an outline of the X-Y stage. A coarse movement stage 2 is placed i on the base 1, and is guided in the X direction by an X-axis guide groove 3x, and guided in the Y direction by a Y-axis guide rail 3y. On the coarse movement stage 2, there is a fine movement stage 4.
are mounted and supported via elastic supports 5.

粗動ステージ２は、ＸモータＭｘでＸ方向に駆動され、
ＹモータＭｙでＹ方向に駆動され、高速移動する。また
粗動ステージ２には、圧電素子６．７、８が取付けられ
、それぞれの自由端が微動ステージ４に連結されている
。したがって圧電素子６．７を同じ方向に伸縮させるこ
とで、微動ステージ４がＹ方向に微小移動し、圧電素子
６．７の片方を伸長、他方を縮小させることで、微動ス
テージ４が微小回転する。また圧電素子８を伸縮させる
ことで、微動ステージ４がＸ方向に微小移動する。The coarse movement stage 2 is driven in the X direction by an X motor Mx,
It is driven in the Y direction by the Y motor My and moves at high speed. Furthermore, piezoelectric elements 6 , 7 , 8 are attached to the coarse movement stage 2 , and their free ends are connected to the fine movement stage 4 . Therefore, by expanding and contracting the piezoelectric elements 6.7 in the same direction, the fine movement stage 4 moves slightly in the Y direction, and by expanding one of the piezoelectric elements 6.7 and contracting the other, the fine movement stage 4 rotates slightly. . Furthermore, by expanding and contracting the piezoelectric element 8, the fine movement stage 4 moves slightly in the X direction.

そして微動ステージ４上にワークなどを載置して、微細
加工や測定などの作業を行なう。Then, a workpiece or the like is placed on the fine movement stage 4, and operations such as micromachining and measurement are performed.

微動ステージ４を所定位置に位置決めするには、まずＸ
−ＹモータＭＸ％　Ｍｙで粗動ステージ２を移動させ、
大まかな位置決めを行なう。次いで圧電素子６．７．８
によって、微動ステージ４を高精度に位置決めする。To position the fine movement stage 4 at a predetermined position, first
-Y motor MX% My moves the coarse movement stage 2,
Perform rough positioning. Then piezoelectric element 6.7.8
The fine movement stage 4 is positioned with high precision.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

ところが微動ステージ４を位置決めする際に、粗動ステ
ージ２が振動などで動くと、粗動ステージ２上の微動ス
テージ４の位置も狂ってくるので、粗動ステージ２の底
に摩擦の大きい摺動子９・・・を取付け、粗動ステージ
２の安定性を良くしている。However, when positioning the fine movement stage 4, if the coarse movement stage 2 moves due to vibration etc., the position of the fine movement stage 4 on the coarse movement stage 2 will also become incorrect. 9... is attached to improve the stability of the coarse movement stage 2.

しかしながら摺動子９・・・を使用しただけでは、微動
ステージ４が急速に移動したりして、衝撃が大きい場合
は、粗動ステージ２の動きを確実に防止することはでき
ない。また摺動子９・・・が、粗動ステージ２の移動に
対し制動作用を及ぼすため、粗動ステージ２の高速動作
が阻害される。However, simply using the sliders 9 cannot reliably prevent the movement of the coarse movement stage 2 if the fine movement stage 4 moves rapidly and the impact is large. Furthermore, since the sliders 9 exert a braking action on the movement of the coarse movement stage 2, high-speed movement of the coarse movement stage 2 is inhibited.

そこで固定を要するときのみ、特別のクランプ機構で粗
動ステージ２をクランプし固定してから、微動ステージ
４を駆動することが提案されている。Therefore, it has been proposed to clamp and fix the coarse movement stage 2 using a special clamp mechanism and then drive the fine movement stage 4 only when fixing is required.

このクランプ機構は、電磁石などを駆動源とし、停止時
には粗動ステージ側を完全にクランプするが、粗動ステ
ージが移動する際は、クランプを解除するものである。This clamp mechanism uses an electromagnet or the like as a driving source, and completely clamps the coarse movement stage side when the stage is stopped, but releases the clamp when the coarse movement stage moves.

ところがこの構造では、電磁石の吸引動作時に機械的な
衝撃を伴ない、ステージの位置が狂ったり、振動が残る
などの問題がある。また充分なりランプ力が得られない
、と同時に電磁石から発生する熱がステージの精度を低
下させる。However, with this structure, there are problems such as a mechanical shock being generated during the attraction operation of the electromagnet, causing the stage to become misaligned and vibrations remaining. Furthermore, sufficient lamp power cannot be obtained, and at the same time, the heat generated by the electromagnet reduces the precision of the stage.

本発明の技術的課題は、従来のクランプ機構におけるこ
のような問題を解消し、衝撃や振動を伴うことなしに、
かつ確実に粗動ステージなどのクランプを行なえるよう
にすることにある。The technical problem of the present invention is to solve such problems with conventional clamp mechanisms, and to solve the problems without causing shock or vibration.
Moreover, it is possible to reliably clamp a coarse movement stage, etc.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

第１図は本発明によるクランプ機構の基本原理を説明す
る側面図である。１０は移動体であり、その一部に被ク
ランプ部１１を有している。あるいは移動体１０に被ク
ランプ部１１が連結され、一体的に移動する。１２．１
３は固定側であり、被クランプ部１１に対応する位置に
、圧電素子１４．１５を備えている。これらの圧電素子
１４．１５は、印加電圧のオン・オフで矢印ａＩｓａ１
方向に変位する。被クランプ部１１の形状は、ブロック
状や板状、円柱状など任意でよい。なお圧電素子は、１
４または１５の片方のみでも足りる。FIG. 1 is a side view illustrating the basic principle of the clamp mechanism according to the present invention. Reference numeral 10 denotes a moving body, which has a clamped portion 11 in a part thereof. Alternatively, the clamped portion 11 is connected to the movable body 10 and moves integrally. 12.1
Reference numeral 3 denotes a fixed side, which is provided with piezoelectric elements 14 and 15 at a position corresponding to the clamped portion 11. These piezoelectric elements 14 and 15 move as shown by the arrow aIsa1 when the applied voltage is turned on and off.
displacement in the direction. The shape of the clamped portion 11 may be arbitrary, such as a block shape, a plate shape, or a cylindrical shape. Note that the piezoelectric element is 1
Only one of 4 or 15 is sufficient.

〔作用〕[Effect]

移動体１０は、矢印ａ１、ａ２方向と垂直方向の面内で
移動できるが、この移動体１０が所定位置まで移動じて
停止し、圧電素子１４．１５に駆動電圧が印加されると
、圧電素子１４．１５が矢印ａｌｓａ２方向に伸長し、
被クランプ部１１に当接する。この当接力で被クランプ
部１１が挟持され、クランプされる。また圧電素子（Ｐ
ＺＴ）　１４．１５は、電圧によって微小変位を制御で
きるため、圧電素子１４．１５の変位速度を制御するこ
とで、衝撃を伴なわない柔らかいクランプ動作が可能と
なる。圧電素子が１４または１５の片方しかない場合は
、片方の圧電素子と被クランプ部との間の摩擦力でクラ
ンプ作用が行なわれる。The moving body 10 can move in a plane perpendicular to the directions of arrows a1 and a2, but when the moving body 10 moves to a predetermined position and stops, and a driving voltage is applied to the piezoelectric elements 14 and 15, the piezoelectric Elements 14 and 15 extend in the direction of arrow alsa2,
It comes into contact with the clamped portion 11 . The clamped portion 11 is held and clamped by this contact force. In addition, a piezoelectric element (P
ZT) 14.15 can control minute displacements by voltage, so by controlling the displacement speed of the piezoelectric element 14.15, a soft clamping operation without impact is possible. When there is only one piezoelectric element 14 or 15, the clamping action is performed by the frictional force between one piezoelectric element and the portion to be clamped.

〔実施例〕〔Example〕

次に本発明によるクランプ機構が実際上どのように具体
化されるかを実施例で説明する。第２図は本発明を１軸
の直動ステージに適用した例である。ベース１上に載置
された粗動ステージ１６は、ガイド１７によってＸ方向
にのみ移動可能となっている。微動ステージ４は、粗動
ステージ１０上に、Ｘ−Ｙ方向に微小移動可能に支持さ
れているが、その詳細は省略されている。Next, examples will be used to explain how the clamping mechanism according to the present invention is actually implemented. FIG. 2 is an example in which the present invention is applied to a 1-axis linear motion stage. A coarse movement stage 16 placed on the base 1 is movable only in the X direction by a guide 17. The fine movement stage 4 is supported on the coarse movement stage 10 so as to be able to move finely in the X-Y directions, but the details thereof are omitted.

粗動ステージ１６には、その移動方向と直角方向の側縁
に被クランプ部１１が一体的に取付けられている。該被
クランプ部１１を上下から挟むように、クランプアーム
１２．１３が配設され、両クランプアーム１２．１３は
、基部を介してコ字状に一体化され、クランパー１８を
構成している。そして上下のクランプアーム１２．１３
の互いに対向する内面に、圧電素子１４、１５が取付は
支持されている。１９は圧電素子１４のリード線である
。コ字状クランパー１８の上下の面は、仮バネ２０．２
１を介して、装置本体２２側に取付けられている。A clamped portion 11 is integrally attached to the coarse movement stage 16 on a side edge in a direction perpendicular to the direction of movement thereof. Clamp arms 12.13 are disposed so as to sandwich the clamped portion 11 from above and below, and both clamp arms 12.13 are integrated into a U-shape via a base portion to form a clamper 18. And upper and lower clamp arms 12.13
Piezoelectric elements 14 and 15 are mounted and supported on mutually opposing inner surfaces. 19 is a lead wire of the piezoelectric element 14. The upper and lower surfaces of the U-shaped clamper 18 are provided with temporary springs 20.2.
1 to the device main body 22 side.

この実施例において、圧電素子１４．１５が電圧印加さ
れていない状態では、両圧電素子１４．１５は伸長せず
、被クランプ部１１にクランプ力は作用しない。したが
って粗動ステージ１６は、Ｘ方向に移動できる。粗動ス
テージ１６が所定位置まで高速移動して粗動が終了した
後、微動ステージの駆動に先立って、圧電素子１４．１
５に電圧を印加すると、両圧電素子１４．１５が伸長し
て被クランプ部１１に当接する。このとき被クランプ部
１１に加わる当接力で、被クランプ部１１がクランプさ
れ固定される。また圧電素子１４．１５に印加する電圧
を徐々に上げることで、被クランプ部１１への当接力を
次第に増大できるので、クランプ時に機械的な振動が発
生するようなことはない。圧電素子は強力な押圧力を発
生するので、クランプ力も強力であり、粗動ステージ１
６に大きな衝撃力を発生する場合でも、充分に適応して
確実にクランプできる。In this embodiment, when no voltage is applied to the piezoelectric elements 14.15, both piezoelectric elements 14.15 do not expand, and no clamping force is applied to the clamped portion 11. Therefore, the coarse movement stage 16 can move in the X direction. After the coarse movement stage 16 moves to a predetermined position at high speed and the coarse movement is completed, the piezoelectric element 14.1 is activated prior to driving the fine movement stage.
When a voltage is applied to 5, both piezoelectric elements 14 and 15 expand and come into contact with the clamped portion 11. At this time, the clamped part 11 is clamped and fixed by the contact force applied to the clamped part 11. Furthermore, by gradually increasing the voltage applied to the piezoelectric elements 14 and 15, the contact force against the clamped portion 11 can be gradually increased, so that no mechanical vibration occurs during clamping. Since the piezoelectric element generates a strong pressing force, the clamping force is also strong, and coarse movement stage 1
6. Even when a large impact force is generated, it can be sufficiently adapted and clamped reliably.

第２図の実施例における上下の圧電素子１４．１５から
被クランプ部１１に加わる当接力がバランスしておれば
問題ないが、それぞれの圧電素子１４．１５と被クラン
プ部１１間の隙間の違いや、両圧電素子１４．１５の特
性のバラツキにより、被クランプ部１１に上向きまたは
下向きの力が作用することがある。There is no problem if the contact forces applied to the clamped part 11 from the upper and lower piezoelectric elements 14.15 in the embodiment shown in FIG. Also, due to variations in the characteristics of both piezoelectric elements 14 and 15, an upward or downward force may act on the clamped portion 11.

このような場合は、仮バネ２０．２１が上下方向にのみ
変形し、粗動ステージ１６の移動方向には変形できない
ので、上下方向の力に対してクランパー１８が自動的に
追従変位でき、安定良く粗動ステージ１６をクランプで
きる。In such a case, the temporary springs 20, 21 deform only in the vertical direction and cannot deform in the direction of movement of the coarse movement stage 16, so the clamper 18 can automatically follow the vertical force and maintain stability. The coarse movement stage 16 can be clamped well.

第３図は本発明の別の実施例であり、被クランプ部とし
て円柱状体２３を備え、粗動ステージ１６に一体的に固
設されている。この円柱状被クランプ部２３の外周を取
り巻くように、円筒状に圧電素子２４を形成して、円筒
状クランパー２５を構成している。そしてこの円筒状ク
ランパー２５を、第２図と同様に仮バネ２０．２１を介
して装置本体２２に固定する。このように円柱状体２３
を外周から圧電素子２４で締め付けることで、より強固
なりランプ効果が得られる。圧電素子２４は、電圧を印
加したとき伸長してクランプすることも、電圧印加時に
縮小してアンクランプ状態となり、電圧オフでクランプ
状態とすることもできる。また圧電素子と移動体との間
の摺動部に、摩耗防止のために或いは摩擦率増大のため
にパッドなどを介在させることもできる。FIG. 3 shows another embodiment of the present invention, which includes a cylindrical body 23 as a clamped portion and is integrally fixed to the coarse movement stage 16. A cylindrical piezoelectric element 24 is formed in a cylindrical shape so as to surround the outer periphery of the cylindrical clamped portion 23, thereby forming a cylindrical clamper 25. This cylindrical clamper 25 is then fixed to the main body 22 of the apparatus via temporary springs 20, 21 in the same manner as in FIG. In this way, the cylindrical body 23
By tightening with the piezoelectric element 24 from the outer periphery, it becomes stronger and a lamp effect can be obtained. The piezoelectric element 24 can be expanded and clamped when a voltage is applied, or can be contracted and put into an unclamped state when a voltage is applied, and put into a clamped state when the voltage is turned off. Further, a pad or the like may be interposed in the sliding portion between the piezoelectric element and the movable body to prevent wear or increase the friction coefficient.

このように圧電素子でクランプを行なう場合は、第４図
のように、圧電素子１４．１５を圧電素子制御回路２６
に接続し、圧電素子１４．１５への印加電圧を制御する
ことで、クランプ動作の制御が可能となる。第５図はこ
のクランプ動作のフローチャートである。まずステップ
Ｓ１に示すように、粗動ステージ１６のサーボ動作より
、粗動ステージ１６の粗動位置決めを行なう、そしてス
テップＳ２で粗動動作が終了した後、ステップＳ３にお
いて、上下２個の圧電素子１４．１５に同時に電圧を印
加し、かつ徐々に増圧していく、粗動ステージ１６のク
ランプ動作が終了したことが、ステップＳ４で検出され
たら、ステップＳ５で微動ステージ４の位置決め動作を
開始する。このように印加電圧を徐々に上げていくこと
で、クランプ力を次第に大きくし、衝撃や振動を伴うこ
となくクランプできる。When clamping is performed using a piezoelectric element in this way, as shown in FIG.
By connecting to the piezoelectric elements 14 and 15 and controlling the voltage applied to the piezoelectric elements 14 and 15, the clamping operation can be controlled. FIG. 5 is a flowchart of this clamping operation. First, as shown in step S1, the coarse movement positioning of the coarse movement stage 16 is performed by the servo operation of the coarse movement stage 16, and after the coarse movement operation is completed in step S2, in step S3, the two piezoelectric elements 14. When it is detected in step S4 that the clamping operation of the coarse movement stage 16, in which voltage is simultaneously applied to 15 and gradually increased, is completed, the positioning operation of the fine movement stage 4 is started in step S5. . By gradually increasing the applied voltage in this way, the clamping force can be gradually increased and clamping can be performed without causing shock or vibration.

なお移動体として、直線運動する粗動ステージ１６を例
示したが、回転方向に移動するステージ、あるいはステ
ージ以外の物体の直線運動や回転運動、円運動などを停
止させるクランプ手段、または制動手段としても適用で
きることはいうまでもない。Although the coarse movement stage 16 that moves linearly is shown as an example of a moving body, it can also be used as a clamping means or braking means for stopping the linear movement, rotational movement, circular movement, etc. of a stage moving in a rotational direction or an object other than the stage. Needless to say, it is applicable.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

このようにクランプ部に圧電素子を使用し、電圧を印加
した際の圧電素子の変位を利用して被クランプにクラン
プ力を加える構成となっている。In this way, a piezoelectric element is used in the clamp part, and the displacement of the piezoelectric element when a voltage is applied is used to apply a clamping force to the clamped object.

そのため印加電圧を制御することで、クランプ時の衝撃
や振動を未然に防止でき、また強力なりランプ力を得る
ことができる。電磁石を使用する場合は、コイル部から
の発熱がステージに伝わって精度を低下させるが、圧電
素子の場合は、発熱による問題も発生しない。Therefore, by controlling the applied voltage, it is possible to prevent shock and vibration during clamping, and it is also possible to obtain a strong lamp force. When an electromagnet is used, heat generated from the coil is transmitted to the stage, reducing accuracy, but when using a piezoelectric element, no problems arise due to heat generation.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は本発明によるクランプ機構の基本原理を説明す
る側面図、第２図は本発明によるクランプ機構の第１の
実施例を示す斜視図、第３図は本発明の別の実施例を示
す要部斜視図、第４図は圧電素子の制御回路を示す図、
第５図はクランプ動作のフローチャート、第６図は従来
のＸ−Ｙステージを示す斜視図である。 図において、４は微動ステージ、１０は移動体、１１．
２３は被クランプ部、１４．１５．２４は圧電素子、１
６は粗動ステージをそれぞれ示す。 乍Ｎ 別の突か１列 第３図 Ｌ電素子制卯１路 第４図 クラ）ア動作のフロー去ヤード 第５図 従来のｘ−ｙ’ステージ 第６図FIG. 1 is a side view illustrating the basic principle of the clamp mechanism according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a first embodiment of the clamp mechanism according to the present invention, and FIG. 3 is a side view illustrating another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a diagram showing the control circuit of the piezoelectric element,
FIG. 5 is a flowchart of the clamping operation, and FIG. 6 is a perspective view showing a conventional XY stage. In the figure, 4 is a fine movement stage, 10 is a moving body, 11.
23 is a part to be clamped, 14.15.24 is a piezoelectric element, 1
6 indicates coarse movement stages.乍N Another thrust 1 row Fig. 3 L electric element control 1 path Fig. 4 Cla) A flow of operation Yard Fig. 5 Conventional x-y' stage Fig. 6

Claims (1)

【特許請求の範囲】 移動体（１０）をクランプして固定するクランプ機構で
あって、 移動体（１０）の被クランプ部（１１）に対応する位置
にクランプ手段を設け、該クランプ手段には、被クラン
プ部（１１）の少なくとも片側に対応する位置に、圧電
素子（１４）及び／又は（１５）を取付け、該圧電素子
（１４）及び／又は（１５）に電圧を印加した際に発生
する圧電素子の変位によって、被クランプ部（１１）と
の間にクランプ力を発生する構成となっていることを特
徴とするクランプ機構。[Claims] A clamping mechanism for clamping and fixing a movable body (10), comprising: a clamping means provided at a position corresponding to a clamped portion (11) of the movable body (10); , occurs when a piezoelectric element (14) and/or (15) is attached to a position corresponding to at least one side of the clamped part (11) and a voltage is applied to the piezoelectric element (14) and/or (15). A clamping mechanism characterized in that it is configured to generate a clamping force between a clamped part (11) and a clamped part (11) by displacement of a piezoelectric element.
JP17139685A 1985-08-02 1985-08-02 Clamping mechanism Pending JPS6234736A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6427802A (en) * 1987-07-17 1989-01-30 Okuma Machinery Works Ltd Clamping device for moving body

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6427802A (en) * 1987-07-17 1989-01-30 Okuma Machinery Works Ltd Clamping device for moving body

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