JPS6235252Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6235252Y2 JPS6235252Y2 JP1981043357U JP4335781U JPS6235252Y2 JP S6235252 Y2 JPS6235252 Y2 JP S6235252Y2 JP 1981043357 U JP1981043357 U JP 1981043357U JP 4335781 U JP4335781 U JP 4335781U JP S6235252 Y2 JPS6235252 Y2 JP S6235252Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target plate
- rotations
- charged particle
- rotating target
- particle beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は荷電粒子加速によるイオン注入装置に
おける荷電粒子ビーム進入制御装置に係わるもの
である。
おける荷電粒子ビーム進入制御装置に係わるもの
である。
第１図に荷電粒子加速によるイオン注入装置に
おける荷電粒子ビームと回転ターゲツト板との関
係を概略的に示す。
おける荷電粒子ビームと回転ターゲツト板との関
係を概略的に示す。
回転ターゲツト板１の周縁上に複数のウエハー
保持孔２が形成されており、イオン注入を行うウ
エハーは前記ウエハー保持孔２の段部によつて保
持される。回転ターゲツト板１はその回転軸３に
係合されるモーター４によつて回転する。ウエハ
ーをウエハー保持孔２において保持し、真空状態
で、矢印ｂの方向に回転ターゲツト板１を並進さ
せ、同時に回転ターゲツト板１を回転させれば、
各ウエハーは矢印ａの方向よりのイオンビームの
注入を受ける。
保持孔２が形成されており、イオン注入を行うウ
エハーは前記ウエハー保持孔２の段部によつて保
持される。回転ターゲツト板１はその回転軸３に
係合されるモーター４によつて回転する。ウエハ
ーをウエハー保持孔２において保持し、真空状態
で、矢印ｂの方向に回転ターゲツト板１を並進さ
せ、同時に回転ターゲツト板１を回転させれば、
各ウエハーは矢印ａの方向よりのイオンビームの
注入を受ける。
このような場合、前記回転ターゲツト板１を回
転させるモーター４の駆動は外部に設けたモータ
ー制御部１３に信号を入れることに行われるが、
回転ターゲツト板１の回転数および回転数変動は
計測していない。
転させるモーター４の駆動は外部に設けたモータ
ー制御部１３に信号を入れることに行われるが、
回転ターゲツト板１の回転数および回転数変動は
計測していない。
ところで、ウエハーに荷電粒子の注入を行う場
合、前記の回転ターゲツト板１に保持された各ウ
エハーに対する注入量は予め定められているの
で、回転ターゲツト板１の回転数が所要以上の値
になることを基準として、注入時間が定められる
ことになるが、従来の装置においては、前述のよ
うに回転ターゲツト板１の回転数および回転数変
動は計測していない。それ故、このような装置に
おいて、イオン注入に入るには、モーター駆動
後、所要の回転数および最終回転数を得るまでの
時間を見越してある余分の時間をとつたあと荷電
粒子ビームの進入を始めることになるが、この余
分の時間はロスタイムである。
合、前記の回転ターゲツト板１に保持された各ウ
エハーに対する注入量は予め定められているの
で、回転ターゲツト板１の回転数が所要以上の値
になることを基準として、注入時間が定められる
ことになるが、従来の装置においては、前述のよ
うに回転ターゲツト板１の回転数および回転数変
動は計測していない。それ故、このような装置に
おいて、イオン注入に入るには、モーター駆動
後、所要の回転数および最終回転数を得るまでの
時間を見越してある余分の時間をとつたあと荷電
粒子ビームの進入を始めることになるが、この余
分の時間はロスタイムである。
そこで本考案においてはこのロスタイムをなく
すように、回転ターゲツト板の回転数を検出し、
所要回転数に達したとき、荷電粒子ビームのシヤ
ツターを開くように構成したものである。
すように、回転ターゲツト板の回転数を検出し、
所要回転数に達したとき、荷電粒子ビームのシヤ
ツターを開くように構成したものである。
以下、図面に示す実施例について説明する。
第２図は本考案の実施例であり、回転ターゲツ
ト板１、ウエハー保持孔２、回転軸３およびこれ
に係合する駆動用モーター４については第１図に
示すものと同様の構成である。回転ターゲツト板
１の周縁に小孔５を形成し、この小孔５の上下方
向において、それぞれ発光体６および受光用の光
電変換器７を回転ターゲツト板と一体に配置し、
光電変換器７の出力側を周波数計８に接続し、周
波数計８の出力側は周波数プリセツト機能を有す
る判別回路９に接続し、判別回路９の出力はビー
ムシヤツター１０の駆動部１１に制御信号を与え
ることができる。
ト板１、ウエハー保持孔２、回転軸３およびこれ
に係合する駆動用モーター４については第１図に
示すものと同様の構成である。回転ターゲツト板
１の周縁に小孔５を形成し、この小孔５の上下方
向において、それぞれ発光体６および受光用の光
電変換器７を回転ターゲツト板と一体に配置し、
光電変換器７の出力側を周波数計８に接続し、周
波数計８の出力側は周波数プリセツト機能を有す
る判別回路９に接続し、判別回路９の出力はビー
ムシヤツター１０の駆動部１１に制御信号を与え
ることができる。
発光体６よりの光線は回転ターゲツト板１の回
転により断続して光電変換器７に入射し、電気量
に変換され、周波数計によつて周波数が計測さ
れ、この出力が判別回路９においてプリセツトさ
れた所要回転数対応の周波数と対比され、プリセ
ツトした周波数より以上および以下になつたとき
信号を発生し、この信号によつてビームシヤツタ
ー１０を駆動し、矢印方向からの荷電粒子ビーム
を回転ターゲツト板１に進入させ、またしや蔽す
ることができ、回転ターゲツト板１の回転数を監
視することができる。
転により断続して光電変換器７に入射し、電気量
に変換され、周波数計によつて周波数が計測さ
れ、この出力が判別回路９においてプリセツトさ
れた所要回転数対応の周波数と対比され、プリセ
ツトした周波数より以上および以下になつたとき
信号を発生し、この信号によつてビームシヤツタ
ー１０を駆動し、矢印方向からの荷電粒子ビーム
を回転ターゲツト板１に進入させ、またしや蔽す
ることができ、回転ターゲツト板１の回転数を監
視することができる。
以上説明の実施例のかわりに、第３図に部分的
に示すように、透光用の小孔５を回転ターゲツト
板１に設けることなく、回転ターゲツト板１の例
えば下面に光の反射体１２を固着し、発光体６お
よび光電変換器７を、発光体６よりの光が前記反
射体１２により光電変換器７に入射するように配
置し、前記光電変換器７の出力側をすでに第２図
に示す実施例において説明したように接続すれ
ば、同様に機能し、ビームシヤツター１０により
矢印方向よりの荷電粒子ビームを制御することが
できる。なお反射体１２は回転ターゲツト板１そ
のものを反射体としてもよく、反射体として回帰
性反射体を用いれば、発光体、光電変換器を一体
に組込んだ光電装置が使用でき、いずれにしても
第１図に示す実施例のように発光体と光電変換器
の配置が回転ターゲツト板１を間にしてその上下
に拡がることは避けられる。
に示すように、透光用の小孔５を回転ターゲツト
板１に設けることなく、回転ターゲツト板１の例
えば下面に光の反射体１２を固着し、発光体６お
よび光電変換器７を、発光体６よりの光が前記反
射体１２により光電変換器７に入射するように配
置し、前記光電変換器７の出力側をすでに第２図
に示す実施例において説明したように接続すれ
ば、同様に機能し、ビームシヤツター１０により
矢印方向よりの荷電粒子ビームを制御することが
できる。なお反射体１２は回転ターゲツト板１そ
のものを反射体としてもよく、反射体として回帰
性反射体を用いれば、発光体、光電変換器を一体
に組込んだ光電装置が使用でき、いずれにしても
第１図に示す実施例のように発光体と光電変換器
の配置が回転ターゲツト板１を間にしてその上下
に拡がることは避けられる。
第４図に回転ターゲツト板１の回転数に対する
本考案の制御位置を示すが、従来の手法によれ
ば、ロスタイムがOAとなるところ、本考案によ
れば、所要周波数（回転数）を判別回路において
プリセツトすることにより、注入に入つてよい所
要回転に達した時期を確実に指示することができ
るため、ロスタイムはOBと縮少することにな
る。
本考案の制御位置を示すが、従来の手法によれ
ば、ロスタイムがOAとなるところ、本考案によ
れば、所要周波数（回転数）を判別回路において
プリセツトすることにより、注入に入つてよい所
要回転に達した時期を確実に指示することができ
るため、ロスタイムはOBと縮少することにな
る。
一方荷電粒子ビームの注入中もし回転ターゲツ
ト板１の回転数が低下することがあれば、判別回
路９はこれを検知してビームシヤツター１０を閉
じ、荷電粒子ビーム注入の均一性が悪化すること
を未然に防止することができる。
ト板１の回転数が低下することがあれば、判別回
路９はこれを検知してビームシヤツター１０を閉
じ、荷電粒子ビーム注入の均一性が悪化すること
を未然に防止することができる。
以上述べたように本考案によれば、荷電粒子ビ
ーム注入時におけるロスタイムを縮少し、均一な
イオン注入製品を得ることができる。
ーム注入時におけるロスタイムを縮少し、均一な
イオン注入製品を得ることができる。
第１図は荷電粒子加速によるイオン注入装置の
荷電粒子ビームと回転ターゲツト板との関係を説
明する概略図である。第２図は本考案の一実施例
を示す。第３図は本考案に用いられる回転数検出
装置の一部を示す。第４図は回転ターゲツト板の
回転数に対する本考案および従来の制御位置を示
す。 １……回転ターゲツト板、２……ウエハー保持
孔、３……回転軸、４……モーター、５……回転
ターゲツト板に設けられた小孔、６……発光体、
７……受光体（光電変換素子）、８……周波数
計、９……判別回路、１０……ビームシヤツタ
ー、１１……ビームシヤツター駆動部、１２……
反射体、１３……モーター制御部。
荷電粒子ビームと回転ターゲツト板との関係を説
明する概略図である。第２図は本考案の一実施例
を示す。第３図は本考案に用いられる回転数検出
装置の一部を示す。第４図は回転ターゲツト板の
回転数に対する本考案および従来の制御位置を示
す。 １……回転ターゲツト板、２……ウエハー保持
孔、３……回転軸、４……モーター、５……回転
ターゲツト板に設けられた小孔、６……発光体、
７……受光体（光電変換素子）、８……周波数
計、９……判別回路、１０……ビームシヤツタ
ー、１１……ビームシヤツター駆動部、１２……
反射体、１３……モーター制御部。
Claims (1)
- 荷電粒子加速によるイオン注入装置において回
転ターゲツト板の回転数を計測する装置を設け、
前記装置よりの回転数と予め定められた回転数を
対比し、前記装置よりの回転数が予め定められた
回転数より大きくなつたとき荷電粒子ビームシヤ
ツターを開き、予め定められた回転数より小さく
なつたとき前記シヤツターを閉じるようにしたイ
オン注入装置における荷電粒子ビーム進入制御装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981043357U JPS6235252Y2 (ja) | 1981-03-26 | 1981-03-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981043357U JPS6235252Y2 (ja) | 1981-03-26 | 1981-03-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57155659U JPS57155659U (ja) | 1982-09-30 |
| JPS6235252Y2 true JPS6235252Y2 (ja) | 1987-09-08 |
Family
ID=29840335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981043357U Expired JPS6235252Y2 (ja) | 1981-03-26 | 1981-03-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6235252Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4067760A (en) * | 1976-03-24 | 1978-01-10 | General Foods Corporation | Gate control for printed web scanner |
-
1981
- 1981-03-26 JP JP1981043357U patent/JPS6235252Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57155659U (ja) | 1982-09-30 |
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