JPS6235277B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6235277B2 JPS6235277B2 JP8738878A JP8738878A JPS6235277B2 JP S6235277 B2 JPS6235277 B2 JP S6235277B2 JP 8738878 A JP8738878 A JP 8738878A JP 8738878 A JP8738878 A JP 8738878A JP S6235277 B2 JPS6235277 B2 JP S6235277B2
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- JP
- Japan
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- high voltage
- discharge
- voltage
- pulse
- power supply
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- Expired
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ガスレーザ装置、特に放電路を二系
統以上有するパルス出力ガスレーザ装置の改良に
関する。
統以上有するパルス出力ガスレーザ装置の改良に
関する。
従来、パルス出力のガスレーザ装置、たとえば
炭酸ガスレーザ装置は第１図に示すように、レー
ザ管１の中にアノード２とカソード３，４を設け
放電路を２系統有するようにしている。カソード
３，４とアース間にはバラスト抵抗７，８が接続
されており、アノード２とアース間に高圧直流電
源６が接続されている。この高圧直流電源６には
パルス発生器１３が接続され、高圧直流電源６に
パルス電圧を供給している。いま、パルス発生器
１３からパルスが供給されると、高圧直流電源６
は数kVから数10kVまで電圧が上昇し、レーザ管
１のアノード２、カソード３，４間で放電を開始
する。その際放電開始時の過渡現象によりバラス
ト抵抗７，８に過大電流が流れるため、レーザ管
１のカソード３，４は10数kVの高電圧となり、
カソード３，４とミラー５，５′との耐圧が破れ
て放電が起りカソード部品、ミラー等の劣化を招
くという問題があつた。また高電圧直流電源６は
パルスが供給されてから数10kVになるまでに約
50〜100ms程度かかり、放電開始までに相当の時
間を要すること、さらに各放電路の放電電流は、
各放電路の不均一性により放電路ごとに異なるた
め、レーザ出力が不安定となるなどの欠点があつ
た。
炭酸ガスレーザ装置は第１図に示すように、レー
ザ管１の中にアノード２とカソード３，４を設け
放電路を２系統有するようにしている。カソード
３，４とアース間にはバラスト抵抗７，８が接続
されており、アノード２とアース間に高圧直流電
源６が接続されている。この高圧直流電源６には
パルス発生器１３が接続され、高圧直流電源６に
パルス電圧を供給している。いま、パルス発生器
１３からパルスが供給されると、高圧直流電源６
は数kVから数10kVまで電圧が上昇し、レーザ管
１のアノード２、カソード３，４間で放電を開始
する。その際放電開始時の過渡現象によりバラス
ト抵抗７，８に過大電流が流れるため、レーザ管
１のカソード３，４は10数kVの高電圧となり、
カソード３，４とミラー５，５′との耐圧が破れ
て放電が起りカソード部品、ミラー等の劣化を招
くという問題があつた。また高電圧直流電源６は
パルスが供給されてから数10kVになるまでに約
50〜100ms程度かかり、放電開始までに相当の時
間を要すること、さらに各放電路の放電電流は、
各放電路の不均一性により放電路ごとに異なるた
め、レーザ出力が不安定となるなどの欠点があつ
た。
本発明の目的は放電開始の遅れが少なく、かつ
カソード電圧が規定値以上に上昇しないように制
御され、レーザ出力も安定でカソード部品、ミラ
ー等の劣化も起り難いパルス出力のガスレーザ装
置を提供することにある。
カソード電圧が規定値以上に上昇しないように制
御され、レーザ出力も安定でカソード部品、ミラ
ー等の劣化も起り難いパルス出力のガスレーザ装
置を提供することにある。
本発明によれば、放電路を二系統以上有するレ
ーザ装置において、放電路ごとのカソード側に定
電流回路を接続し、アノード側には高圧パルス電
源と高圧直流電源とを直列に接続し、定電流回路
と高圧パルス電源に同期パルスを供給するための
パルス発生器を接続した構成を有し、放電開始の
時間遅れを少なくし、放電開始持のカソード側に
おける高電圧の発生を防止するとともに放電中は
各放電路が一定電流になるようにしたパルス出力
ガスレーザ装置が得られる。
ーザ装置において、放電路ごとのカソード側に定
電流回路を接続し、アノード側には高圧パルス電
源と高圧直流電源とを直列に接続し、定電流回路
と高圧パルス電源に同期パルスを供給するための
パルス発生器を接続した構成を有し、放電開始の
時間遅れを少なくし、放電開始持のカソード側に
おける高電圧の発生を防止するとともに放電中は
各放電路が一定電流になるようにしたパルス出力
ガスレーザ装置が得られる。
以下、第２図に示した実施例について本発明を
具体的に説明する。第２図のレーザ管１は従来と
同様にアノード２とカソード３，４を有し、放電
路が２系統形成される。そしてカソード３，４と
アース間にはそれぞれ高耐圧の３極真空管を用い
た定電流回路１１，１２が接続されており、また
アノード２とアース間には一組の直列接続された
高圧パルス電源１０と高圧直流電源６とが接続さ
れている。そして定電流回路１１，１２と高圧パ
ルス電源１０にはパルス発生器１３の出力が供給
される。
具体的に説明する。第２図のレーザ管１は従来と
同様にアノード２とカソード３，４を有し、放電
路が２系統形成される。そしてカソード３，４と
アース間にはそれぞれ高耐圧の３極真空管を用い
た定電流回路１１，１２が接続されており、また
アノード２とアース間には一組の直列接続された
高圧パルス電源１０と高圧直流電源６とが接続さ
れている。そして定電流回路１１，１２と高圧パ
ルス電源１０にはパルス発生器１３の出力が供給
される。
このような構成において、高圧電源６は、レー
ザ管１のアノード２、カソード３，４間の放電維
持電圧約10数kVより低い10kV程度に設定してお
き、パルス発生器１３よりパルスを供給すると、
高圧パルス電源１０が働いて、そのパルス電圧が
直流電圧に重畳されてアノードに供給される。こ
のため出力電圧は約数10μＳ〜数100μＳで10数
kV〜数10kVまで上昇し、レーザ管１のアノード
２とカソード３，４間で放電が開始する。そして
放電を開始した時の過渡現象により、定電流回路
１１，１２のカソード３，４間に過大電圧が発生
しそうになるが、パルス発生器１３の出力が高圧
パルス電源への供給パルスと同期して定電流回路
１１，１２にも供給されているので、過渡現象に
応じた過渡電流が定電流回路１１，１２に流れ、
レーザ管１のカソード３，４間の電圧は規定値に
制御され、レーザ管１のアノード２、カソード
３，４間はパルス発生器１３の出力に応じて、安
定に断続放電し、安定なパルスレーザ出力９が得
られる。
ザ管１のアノード２、カソード３，４間の放電維
持電圧約10数kVより低い10kV程度に設定してお
き、パルス発生器１３よりパルスを供給すると、
高圧パルス電源１０が働いて、そのパルス電圧が
直流電圧に重畳されてアノードに供給される。こ
のため出力電圧は約数10μＳ〜数100μＳで10数
kV〜数10kVまで上昇し、レーザ管１のアノード
２とカソード３，４間で放電が開始する。そして
放電を開始した時の過渡現象により、定電流回路
１１，１２のカソード３，４間に過大電圧が発生
しそうになるが、パルス発生器１３の出力が高圧
パルス電源への供給パルスと同期して定電流回路
１１，１２にも供給されているので、過渡現象に
応じた過渡電流が定電流回路１１，１２に流れ、
レーザ管１のカソード３，４間の電圧は規定値に
制御され、レーザ管１のアノード２、カソード
３，４間はパルス発生器１３の出力に応じて、安
定に断続放電し、安定なパルスレーザ出力９が得
られる。
以上説明したように、本発明によれば、レーザ
管１のアノード２、カソード３，４間の放電電流
が、定電流回路１１，１２によつて過渡的にも定
常的にも均一に保たれるので、レーザ出力９のモ
ードも安定に保たれ、安定なパルスレーザ出力９
が得られる。また、レーザ管１のカソード３，４
の電圧は規定値に制御されカソード３，４とミラ
ー５，５′との耐圧が破れることなく、カソード
部品ミラー等の劣化も起り難い。
管１のアノード２、カソード３，４間の放電電流
が、定電流回路１１，１２によつて過渡的にも定
常的にも均一に保たれるので、レーザ出力９のモ
ードも安定に保たれ、安定なパルスレーザ出力９
が得られる。また、レーザ管１のカソード３，４
の電圧は規定値に制御されカソード３，４とミラ
ー５，５′との耐圧が破れることなく、カソード
部品ミラー等の劣化も起り難い。
第１図は従来のガスレーザ装置を示すブロツク
図、第２図は本発明のガスレーザ装置の一実施例
を示すブロツク図である。 １…ガスレーザ管、２…アノード、３，４…カ
ソード、５，５′…ミラー、６…高圧直流電源、
７，８…バラスト抵抗、９…レーザ出力、１０…
高圧パルス電源、１１，１２…定電流回路、１３
…パルス発生器。
図、第２図は本発明のガスレーザ装置の一実施例
を示すブロツク図である。 １…ガスレーザ管、２…アノード、３，４…カ
ソード、５，５′…ミラー、６…高圧直流電源、
７，８…バラスト抵抗、９…レーザ出力、１０…
高圧パルス電源、１１，１２…定電流回路、１３
…パルス発生器。
Claims (1)
- １ 放電路を二系統以上有するガスレーザ装置に
おいて、前記放電路ごとのカソード側に定電流回
路を設けるとともに、アノード側に高圧パルス電
源と高圧直流電源を直列に接続し、前記定電流回
路と高圧パルス電源に同期パルスを供給するパル
ス発生器を接続してなるガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8738878A JPS5513970A (en) | 1978-07-17 | 1978-07-17 | Gas laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8738878A JPS5513970A (en) | 1978-07-17 | 1978-07-17 | Gas laser device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5513970A JPS5513970A (en) | 1980-01-31 |
| JPS6235277B2 true JPS6235277B2 (ja) | 1987-07-31 |
Family
ID=13913500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8738878A Granted JPS5513970A (en) | 1978-07-17 | 1978-07-17 | Gas laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5513970A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4457122A (en) * | 1981-08-21 | 1984-07-03 | W. R. Grace & Co., Cryovac Div. | Vacuum packaging goods in heat shrinkable plastic bags using flexible diaphragms |
| CA1247515A (en) * | 1981-09-14 | 1988-12-28 | Richard R. Perdue | Method and apparatus for vacuum packaging goods in heat shrinkable plastic bags |
| US4550548A (en) * | 1983-05-26 | 1985-11-05 | W. R. Grace & Co., Cryovac Div. | Method and apparatus for vacuum packaging with preshrinking |
| JPS6358885A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
| JPS6358884A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
-
1978
- 1978-07-17 JP JP8738878A patent/JPS5513970A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5513970A (en) | 1980-01-31 |
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