JPS6235486A - 石英管ヒ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、Ｆｅ−Ｃｌ−Ａｌ系電熱線よシなるヒータエ
レメントを用いた縦に使用可能な石英管ヒータに関する
ものである。

従来の技術 従来、縦に使用される石英管ヒータのヒータエレメント
は、第３図に示すようにＦｅ　−Ｃｒ−Ａｌ系の電熱線
１０１をコイル状に密着で巻回され、さらに、熱処理を
施すことによシ、表面に酸化被膜１０２を生成させ電熱
線１０１のコイル間の絶縁性を保つというものであった
。

発明が解決しようとする問題点 このような従来の構成では、電熱線１０１に酸化被膜１
０２を生成させる熱処理に多大の時間を要しコストの比
率が経済的に割高になり、また、高温にて熱処理を施す
ため、電熱線１０１の結晶粒子が粗大化して脆化し、作
業時に断線しやすいという問題点を有していた。

本発明はこのような問題点を解決するもので熱処理を廃
止し、安価で断線しにくいヒータエレメントを用いた石
英管ヒータを得ることを目的とするものである。

問題点を解決するための手段 この問題点を解決するために、本発明はＦｅ　−Ｃｒ−
Ａｎ系電熱線よりなるヒータエレメントと、これを納め
る石英管と、この石英管の両端に設けられ、前記ヒータ
エレメントを支持するエンドキャップよりなり、前記ヒ
ータエレメントは、密着に巻回され、表面に耐熱絶縁性
セラミックをコ−ティングしたものである。

作　　用 この構成により、電熱線を熱処理しなくても、耐熱絶縁
性セラミックによクコイル間の絶縁性を保つこととなる
。

実施例 以下、本発明の一実施例について図面を用いて説明する
。第１図、第２図において、２は石英管１０両端を保持
するエンドキャンプ、３は石英管１の内部に納めるヒー
タエレメントで、Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ　　系の電熱線４が
コイル状に密着に巻回されており、さらに表面には耐熱
絶縁性セラミック５がコーティングされている。

上記構成によると、ヒータエレメント３に耐熱絶縁性セ
ラミック５がコーティングされているため、コイル間の
絶縁性を保つことができる。従って長時間にわたる熱処
理を省くことができ、また、熱処理による結晶粒子の粗
大化に伴う脆化を防ぐことができる。

発明の効果 以上のように本発明によれば、ヒータエレメントの表面
に耐熱絶縁性セラミックをコーティングすることにより
、絶縁性を有する酸化被膜生成のための熱処理を省くこ
とができ、ヒータエレメントの製造コストが安価になり
、さらに、熱処理による結晶粒子の粗大化に伴う脆化を
防ぎ、断線しにくいヒータエレメントを用いた石英管ヒ
ータを製造することができるという効果を発揮するもの
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における石英管ヒータのヒー
タエレメントの拡大縦断面図、第２図は同石英管ヒータ
の縦断面図、第３図は従来例におけるヒータエレメント
の拡大縦断面図である。 １・・・・・・石英管、２・・・・・・エンドキャップ
、３・・・・・ヒータエレメント、４・・・・・・電熱
線、６・・・・・・耐熱絶縁性セラミック。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 ニ４ 第２図 第３図 −ｆρ２ ｆＯｆ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ系電熱線よりなるヒータエレメントと
   、これを納める石英管と、この石英管の両端に設けられ
   前記ヒータエレメントを支持するエンドキャップよりな
   り、前記ヒータエレメントは、密着に巻回され、表面に
   耐熱絶縁性セラミックをコーティングした石英管ヒータ
   。