JPS6235728U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6235728U JPS6235728U JP12732285U JP12732285U JPS6235728U JP S6235728 U JPS6235728 U JP S6235728U JP 12732285 U JP12732285 U JP 12732285U JP 12732285 U JP12732285 U JP 12732285U JP S6235728 U JPS6235728 U JP S6235728U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- rotation
- linear movement
- drive motor
- feed screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Workshop Equipment, Work Benches, Supports, Or Storage Means (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
第１図は本考案に係るステージ機構の一実施例
の構造を示し、同図ａは平面図、同図ｂは側断面
図、同図ｃは一部斜視図、第２図は他の実施例の
構造を示し、同図ａは平面図、同図ｂは側断面図
、第３図は更に他の実施例の構造を示し、同図ａ
は平面図、同図ｂは側断面図、第４図、第５図は
従来のギア機構の平面図、第６図は従来のダイレ
クトドライブ機構の平面図を示す。 図中、６：駆動モータ、７：送りネジ軸、８：
ボールネジ軸、９：ピン保持部、１０：ステージ
送りピン、１１：回転ステージ、１２：ステージ
回転軸、１３：バツクラツシユ防止予圧機構、１
４：クロスローラガイド。
の構造を示し、同図ａは平面図、同図ｂは側断面
図、同図ｃは一部斜視図、第２図は他の実施例の
構造を示し、同図ａは平面図、同図ｂは側断面図
、第３図は更に他の実施例の構造を示し、同図ａ
は平面図、同図ｂは側断面図、第４図、第５図は
従来のギア機構の平面図、第６図は従来のダイレ
クトドライブ機構の平面図を示す。 図中、６：駆動モータ、７：送りネジ軸、８：
ボールネジ軸、９：ピン保持部、１０：ステージ
送りピン、１１：回転ステージ、１２：ステージ
回転軸、１３：バツクラツシユ防止予圧機構、１
４：クロスローラガイド。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 回転ステージの回転軸から離れた位置に回転ス
テージに固定して配置されたピンと、 該ピンをステージ回転の接線方向に微小移動さ
せる直進機構と、 を備え、該直進機構は駆動モータと、該駆動モー
タによつて回転せられる送りネジ部と、該送りネ
ジ部の回転運動を直進運動に変換するネジ係合部
とを具備したことを特徴とするステージ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12732285U JPS6235728U (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12732285U JPS6235728U (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6235728U true JPS6235728U (ja) | 1987-03-03 |
Family
ID=31021960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12732285U Pending JPS6235728U (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6235728U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996024461A1 (en) * | 1995-02-06 | 1996-08-15 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Swivelling table device |
-
1985
- 1985-08-20 JP JP12732285U patent/JPS6235728U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996024461A1 (en) * | 1995-02-06 | 1996-08-15 | Seiko Seiki Kabushiki Kaisha | Swivelling table device |