JPS623572U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS623572U JPS623572U JP9430485U JP9430485U JPS623572U JP S623572 U JPS623572 U JP S623572U JP 9430485 U JP9430485 U JP 9430485U JP 9430485 U JP9430485 U JP 9430485U JP S623572 U JPS623572 U JP S623572U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- backing plate
- sputtering
- pedestal
- locked
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の第一の実施例を示す縦断側
面図、第２図はターゲツト取り外し時の縦断側面
図、第３図はこの考案の第二の実施例を示す縦断
側面図、第４図はスパツタリング装置の縦断側面
図、第５図は従来の一例を示す縦断側面図である
。 ４…ターゲツト機構、７…台座、１２…ターゲ
ツト、１３…ターゲツト材、１４…バツキングプ
レート、１７…係止溝（係止部）、１８…交換用
器具、２４…鍔（係止部）、２７…工具（交換用
器具）。
面図、第２図はターゲツト取り外し時の縦断側面
図、第３図はこの考案の第二の実施例を示す縦断
側面図、第４図はスパツタリング装置の縦断側面
図、第５図は従来の一例を示す縦断側面図である
。 ４…ターゲツト機構、７…台座、１２…ターゲ
ツト、１３…ターゲツト材、１４…バツキングプ
レート、１７…係止溝（係止部）、１８…交換用
器具、２４…鍔（係止部）、２７…工具（交換用
器具）。
Claims (1)
- バツキングプレートにターゲツト材を固定して
形成したターゲツトを、マグネトロンスパツタ用
永久磁石を保持する台座に着脱自在に取り付けた
ターゲツト機構において、前記ターゲツトのバツ
キングプレートの側面に交換用器具が係止される
係止部を形成したことを特徴とするスパツタリン
グ用ターゲツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9430485U JPS623572U (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9430485U JPS623572U (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS623572U true JPS623572U (ja) | 1987-01-10 |
Family
ID=30652742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9430485U Pending JPS623572U (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS623572U (ja) |
-
1985
- 1985-06-21 JP JP9430485U patent/JPS623572U/ja active Pending