JPS6236171B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6236171B2 JPS6236171B2 JP54070729A JP7072979A JPS6236171B2 JP S6236171 B2 JPS6236171 B2 JP S6236171B2 JP 54070729 A JP54070729 A JP 54070729A JP 7072979 A JP7072979 A JP 7072979A JP S6236171 B2 JPS6236171 B2 JP S6236171B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- crystal
- sample
- axis
- spectroscopic crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は既知の複数元素を同時に分析すること
のできる簡易型のＸ線分析装置に関するものであ
る。
のできる簡易型のＸ線分析装置に関するものであ
る。
従来の螢光Ｘ線分析装置は、Ｘ線管から放射さ
れる一次Ｘ線を試料に照射し、試料から発生する
二次Ｘ線をθ軸により回転される分光結晶によつ
て分光し、２θ軸によつて回転される検出器によ
つてブラツグ条件を満足したＸ線を連続的に検出
し、試料の元素分析を行うように載成している。
この様な従来の装置は多元素を含む未知試料の分
析には有効であるが、少元素（２〜５元素）の分
析を多試料について行う場合には操作が煩雑で分
析時間が長くなり、効率が極めて悪く、従つて製
品の品質検査等には利用できなかつた。
れる一次Ｘ線を試料に照射し、試料から発生する
二次Ｘ線をθ軸により回転される分光結晶によつ
て分光し、２θ軸によつて回転される検出器によ
つてブラツグ条件を満足したＸ線を連続的に検出
し、試料の元素分析を行うように載成している。
この様な従来の装置は多元素を含む未知試料の分
析には有効であるが、少元素（２〜５元素）の分
析を多試料について行う場合には操作が煩雑で分
析時間が長くなり、効率が極めて悪く、従つて製
品の品質検査等には利用できなかつた。
そこで、放射線又は粒子線を試料に照射する手
段と、特定の軸の回りに回転自在に保持された分
光結晶と、前記照射によつて前記試料から発生す
るＸ線を前記分光結晶に導く手段と、前記軸に垂
直で前記分光結晶を含む平面内に前記軸を取り囲
んで配置された複数のＸ線検出器とを備え、注目
する各特性Ｘ線が前記結晶にブラツグ反射される
際の該結晶と該分光結晶に入射するＸ線の光路と
が成す角を小さい順にθ１、…θｎとするとき、
前記Ｘ線検出器の各々は前記光路に対して各々角
度２θ１、…２θｎを成して配置されており、分
光結晶を回転させてリミツトスイツチ等により角
度がθ１、…、θｎの位置で順次停止させて各検
出器において各注目する特性Ｘ線の強度を検出す
るようにした装置が提案された（実公昭38−
17798号公報）。
段と、特定の軸の回りに回転自在に保持された分
光結晶と、前記照射によつて前記試料から発生す
るＸ線を前記分光結晶に導く手段と、前記軸に垂
直で前記分光結晶を含む平面内に前記軸を取り囲
んで配置された複数のＸ線検出器とを備え、注目
する各特性Ｘ線が前記結晶にブラツグ反射される
際の該結晶と該分光結晶に入射するＸ線の光路と
が成す角を小さい順にθ１、…θｎとするとき、
前記Ｘ線検出器の各々は前記光路に対して各々角
度２θ１、…２θｎを成して配置されており、分
光結晶を回転させてリミツトスイツチ等により角
度がθ１、…、θｎの位置で順次停止させて各検
出器において各注目する特性Ｘ線の強度を検出す
るようにした装置が提案された（実公昭38−
17798号公報）。
しかしながら、このような装置においては、分
光結晶を前記角度θ１、…、θｎの位置で正確に
停止させなければならないため制御系が複雑にな
る。又、ブラツグ角θ１、…、θｎでの測定を順
次シーケンシヤルに行なわなければならないた
め、粗測定により未知試料の定性的な性質だけ把
握できれば充分な場合にも、注目する各特性Ｘ線
の現時点までの計数値を同時に把握できないた
め、必要最小な測定時間の設定を簡単に行なうこ
とはできない。
光結晶を前記角度θ１、…、θｎの位置で正確に
停止させなければならないため制御系が複雑にな
る。又、ブラツグ角θ１、…、θｎでの測定を順
次シーケンシヤルに行なわなければならないた
め、粗測定により未知試料の定性的な性質だけ把
握できれば充分な場合にも、注目する各特性Ｘ線
の現時点までの計数値を同時に把握できないた
め、必要最小な測定時間の設定を簡単に行なうこ
とはできない。
本発明は、上述した従来の欠点を解決すべく成
されたもので、放射線又は粒子線を試料に照射す
る手段と、特定の軸の回りに回転自在に保持され
た分光結晶と、前記照射によつて前記試料から発
生するＸ線を前記分光結晶に導く手段と、前記軸
に垂直で前記分光結晶を含む平面内に前記軸を取
り囲んで配置された複数のＸ線検出器とを備え、
注目する各特性Ｘ線が前記結晶にブラツグ反射さ
れる際の該結晶と該分光結晶に入射するＸ線の光
路とが成す角を小さい順にθ１、…、θｎとする
とき、前記Ｘ線検出器の各々は前記光路に対して
各々角度２θ１、…、２θｎを成して配置されて
いる装置において、前記光路に対する角度がθ１
よりも小さい第１の角度からθｎよりも大きい第
２の角度までの角度範囲において前記分光結晶を
前記軸の回りに繰り返し振動回転させる手段を備
えたことを特徴としている。
されたもので、放射線又は粒子線を試料に照射す
る手段と、特定の軸の回りに回転自在に保持され
た分光結晶と、前記照射によつて前記試料から発
生するＸ線を前記分光結晶に導く手段と、前記軸
に垂直で前記分光結晶を含む平面内に前記軸を取
り囲んで配置された複数のＸ線検出器とを備え、
注目する各特性Ｘ線が前記結晶にブラツグ反射さ
れる際の該結晶と該分光結晶に入射するＸ線の光
路とが成す角を小さい順にθ１、…、θｎとする
とき、前記Ｘ線検出器の各々は前記光路に対して
各々角度２θ１、…、２θｎを成して配置されて
いる装置において、前記光路に対する角度がθ１
よりも小さい第１の角度からθｎよりも大きい第
２の角度までの角度範囲において前記分光結晶を
前記軸の回りに繰り返し振動回転させる手段を備
えたことを特徴としている。
以下本発明を図面に示した実施例に基づいて詳
述する。
述する。
第１図はその正面図、第２図は縦断面図であ
り、１は固定フレームを示す。この固定フレーム
の前面には環状の案内溝２が設けられ、この溝内
に複数個の検出器保持台３ａ，３ｂ，３ｃの突起
４ａ，４ｂ，４ｃ（４ａと４ｃは図示せず）が摺
動可能に嵌め込まれている。各保持台上には検出
器５ａ，５ｂ，５ｃが載置されており、夫々の前
方にはソーラスリツト６ａ，６ｂ，６ｃが取付け
てある。前記検出器の内５ａと５ｂにはシンチレ
ーシヨンカウンタを用い、５ｃには比例計数管を
使用し、波長域により異なる種類の検出器が使用
される。７ａ，７ｂは分光結晶であり、回転軸８
上に離間して且つ異つた角度で取り付けてある。
前記各検出器の前方に置いたソーラスリツトはこ
の分光結晶７ａ又は７ｂの中心に向けられてい
る。前記回転軸８は固定枠１に保持された振動軸
９を貫通しており、その先端には結晶交換を行う
ためのつまみ１０を有している。前記回転軸の振
動軸への嵌合は互いに摺動は可能であるが互いの
回転は阻止されるようになしてあり、従つて回転
軸８は振動軸９の回転をまつてはじめて回転す
る。振動軸９にはアーム１２の一端が固定され、
その他端にはローラー１３が取り付けてある。こ
のローラーには回転軸１４からの距離が連続的に
変化するカム１５が接している。このカムの軸１
４は固定枠に設置されたモーター１６に直結して
いる。１７はＸ線管で、該Ｘ線管より発生した一
次Ｘ線は試料１８上に投射される。このＸ線照射
により試料より発生した二次Ｘ線はソーラスリツ
ト１９を通して前述の分光結晶７ａ又は７ｂに導
かれる。
り、１は固定フレームを示す。この固定フレーム
の前面には環状の案内溝２が設けられ、この溝内
に複数個の検出器保持台３ａ，３ｂ，３ｃの突起
４ａ，４ｂ，４ｃ（４ａと４ｃは図示せず）が摺
動可能に嵌め込まれている。各保持台上には検出
器５ａ，５ｂ，５ｃが載置されており、夫々の前
方にはソーラスリツト６ａ，６ｂ，６ｃが取付け
てある。前記検出器の内５ａと５ｂにはシンチレ
ーシヨンカウンタを用い、５ｃには比例計数管を
使用し、波長域により異なる種類の検出器が使用
される。７ａ，７ｂは分光結晶であり、回転軸８
上に離間して且つ異つた角度で取り付けてある。
前記各検出器の前方に置いたソーラスリツトはこ
の分光結晶７ａ又は７ｂの中心に向けられてい
る。前記回転軸８は固定枠１に保持された振動軸
９を貫通しており、その先端には結晶交換を行う
ためのつまみ１０を有している。前記回転軸の振
動軸への嵌合は互いに摺動は可能であるが互いの
回転は阻止されるようになしてあり、従つて回転
軸８は振動軸９の回転をまつてはじめて回転す
る。振動軸９にはアーム１２の一端が固定され、
その他端にはローラー１３が取り付けてある。こ
のローラーには回転軸１４からの距離が連続的に
変化するカム１５が接している。このカムの軸１
４は固定枠に設置されたモーター１６に直結して
いる。１７はＸ線管で、該Ｘ線管より発生した一
次Ｘ線は試料１８上に投射される。このＸ線照射
により試料より発生した二次Ｘ線はソーラスリツ
ト１９を通して前述の分光結晶７ａ又は７ｂに導
かれる。
斯る構成において、先ず、つまみ１０を右側に
引き、第２図の如く、分光結晶７ａによりＸ線を
分光するようにすると共に、保持台３ａ，３ｂ，
３ｃを手動により移動させ、検出器５ａ，５ｂ，
５ｃを所望の元素に対応する角度位置に固定す
る。而して、モーター１６に給電し、カム１５を
回転せしめると、それに接したローラー１３の移
動により、アーム１２がある角度範囲にわたり往
復運動し、振動軸、従つて回転軸８は振動し、分
光結晶７ａは所望角度範囲（例えば０〜45゜）で
走査されることになる。この様な角度走査を行つ
た状態でＸ線管１７からの一次Ｘ線を試料に照射
し、該試料からの二次Ｘ線を分光結晶７ａに導け
ば、該二次Ｘ線は分光され、ブラツグ条件を満足
したＸ線のみがソーラスリツト６ａ，６ｂを通し
て検出器５ａ，５ｂに入射する。この模様を第３
図に示してある。この図からわかるように分光結
晶が点線７a′の如く角度θ１をもつときλ１の波
長をもつＸ線がブラツグ条件を満たし、検出器５
ａに入射する。又、５ｂには７a″の如くθ２の角
度に分光結晶が回転したときλ２の波長のＸ線が
入射する。従つて、検出器５ａと５ｂの出力信号
よりλ１，λ２に対応する元素の量を知ることが
できる。検出器５ａ，５ｂによる検出が終了した
後、つまみ１０を左方に押し、分光結晶７ｂを７
ａに代えてＸ線軸中に置く。この分光結晶は比例
計数管５ｃによる検出、つまり長波長のＸ線の分
光に適した格子面間隔を有しており、従つて、今
度は比例計数管５ｃによる軽元素の定量分析が可
能となる。
引き、第２図の如く、分光結晶７ａによりＸ線を
分光するようにすると共に、保持台３ａ，３ｂ，
３ｃを手動により移動させ、検出器５ａ，５ｂ，
５ｃを所望の元素に対応する角度位置に固定す
る。而して、モーター１６に給電し、カム１５を
回転せしめると、それに接したローラー１３の移
動により、アーム１２がある角度範囲にわたり往
復運動し、振動軸、従つて回転軸８は振動し、分
光結晶７ａは所望角度範囲（例えば０〜45゜）で
走査されることになる。この様な角度走査を行つ
た状態でＸ線管１７からの一次Ｘ線を試料に照射
し、該試料からの二次Ｘ線を分光結晶７ａに導け
ば、該二次Ｘ線は分光され、ブラツグ条件を満足
したＸ線のみがソーラスリツト６ａ，６ｂを通し
て検出器５ａ，５ｂに入射する。この模様を第３
図に示してある。この図からわかるように分光結
晶が点線７a′の如く角度θ１をもつときλ１の波
長をもつＸ線がブラツグ条件を満たし、検出器５
ａに入射する。又、５ｂには７a″の如くθ２の角
度に分光結晶が回転したときλ２の波長のＸ線が
入射する。従つて、検出器５ａと５ｂの出力信号
よりλ１，λ２に対応する元素の量を知ることが
できる。検出器５ａ，５ｂによる検出が終了した
後、つまみ１０を左方に押し、分光結晶７ｂを７
ａに代えてＸ線軸中に置く。この分光結晶は比例
計数管５ｃによる検出、つまり長波長のＸ線の分
光に適した格子面間隔を有しており、従つて、今
度は比例計数管５ｃによる軽元素の定量分析が可
能となる。
以上の如き構成となせば検出器の角度位置を予
め測定元素に応じて微調しておくのみで、分光結
晶を各特性Ｘ線のブラツグ条件に合わせて正確に
停止させる必要がないため、分光結晶の回転停止
制御のための複雑な制御系を不要とし、簡単で製
造コストの低廉な装置が実現できる。又、粗測定
により未知試料の定性的な性質だけ把握できれば
充分な場合に、ブラツグ角θ１、…、θｎでの測
定を時分割的に並行して行なつているため、注目
する各特性Ｘ線の現時点までの計数値を同時に把
握して必要最小な時間で測定を停止させることが
できる。
め測定元素に応じて微調しておくのみで、分光結
晶を各特性Ｘ線のブラツグ条件に合わせて正確に
停止させる必要がないため、分光結晶の回転停止
制御のための複雑な制御系を不要とし、簡単で製
造コストの低廉な装置が実現できる。又、粗測定
により未知試料の定性的な性質だけ把握できれば
充分な場合に、ブラツグ角θ１、…、θｎでの測
定を時分割的に並行して行なつているため、注目
する各特性Ｘ線の現時点までの計数値を同時に把
握して必要最小な時間で測定を停止させることが
できる。
尚、上記は本発明の一例であつて種々な変更が
可能である。例えば、検出器は３個用いたが、こ
れより多くても又少なくても差し支えないし、全
て同一種の検出器であつても良い。又分光結晶の
振動回転はアーム１２とカム１５により行つた
が、これに限られるものではない。更に又、螢光
Ｘ線分析装置を例にとり、一次励起線としてＸ線
を用いたが、一次線として電子線を用いるＸ線マ
イクロアナライザにも利用できる。
可能である。例えば、検出器は３個用いたが、こ
れより多くても又少なくても差し支えないし、全
て同一種の検出器であつても良い。又分光結晶の
振動回転はアーム１２とカム１５により行つた
が、これに限られるものではない。更に又、螢光
Ｘ線分析装置を例にとり、一次励起線としてＸ線
を用いたが、一次線として電子線を用いるＸ線マ
イクロアナライザにも利用できる。
第１図は本発明の一例を示す正面図、第２図は
その縦断面図、第３図は動作説明図である。 １：固定フレーム、２：環状溝、３ａ，３ｂ及
び３ｃ：検出器保持台、５ａ，５ｂ及び５ｃ：検
出器、６ａ，６ｂ，６ｃ及び１９：ソーラスリツ
ト、７ａ及び７ｂ：分光結晶、８：回転軸、９：
振動輻、１２：アーム、１３：ローラー、１５：
カム、１６：モーター、１７：Ｘ線管、１８：試
料。
その縦断面図、第３図は動作説明図である。 １：固定フレーム、２：環状溝、３ａ，３ｂ及
び３ｃ：検出器保持台、５ａ，５ｂ及び５ｃ：検
出器、６ａ，６ｂ，６ｃ及び１９：ソーラスリツ
ト、７ａ及び７ｂ：分光結晶、８：回転軸、９：
振動輻、１２：アーム、１３：ローラー、１５：
カム、１６：モーター、１７：Ｘ線管、１８：試
料。
Claims (1)
- １ 放射線又は粒子線を試料に照射する手段と、
特定の軸の回りに回転自在に保持された分光結晶
と、前記照射によつて前記試料から発生するＸ線
を前記分光結晶に導く手段と、前記軸に垂直で前
記分光結晶を含む平面内に前記軸を取り囲んで配
置された複数のＸ線検出器とを備え、注目する各
特性Ｘ線が前記結晶にブラツグ反射される際の該
結晶と該分光結晶に入射するＸ線の光路とが成す
角を小さい順にθ１、…、θｎとするとき、前記
Ｘ線検出器の各々は前記光路に対して各々角度２
θ１、…、２θｎを成して配置されている装置に
おいて、前記光路に対する角度がθ１よりも小さ
い第１の角度からθｎよりも大きい第２の角度ま
での角度範囲において前記分光結晶を前記軸の回
りに繰り返し振動回転させる手段を備えたことを
特徴とするＸ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7072979A JPS55163444A (en) | 1979-06-06 | 1979-06-06 | X-ray analyzing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7072979A JPS55163444A (en) | 1979-06-06 | 1979-06-06 | X-ray analyzing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55163444A JPS55163444A (en) | 1980-12-19 |
| JPS6236171B2 true JPS6236171B2 (ja) | 1987-08-05 |
Family
ID=13439907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7072979A Granted JPS55163444A (en) | 1979-06-06 | 1979-06-06 | X-ray analyzing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS55163444A (ja) |
-
1979
- 1979-06-06 JP JP7072979A patent/JPS55163444A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55163444A (en) | 1980-12-19 |
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