JPS6236183B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6236183B2 JPS6236183B2 JP54156154A JP15615479A JPS6236183B2 JP S6236183 B2 JPS6236183 B2 JP S6236183B2 JP 54156154 A JP54156154 A JP 54156154A JP 15615479 A JP15615479 A JP 15615479A JP S6236183 B2 JPS6236183 B2 JP S6236183B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- amplifier
- under test
- switch
- device under
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 29
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試験装置に係り、特に半導体集積回路
等の試験を行うための電圧印加電流測定回路に関
する。
等の試験を行うための電圧印加電流測定回路に関
する。
一般に、半導体集積回路等の電気的特性試験・
測定においては各端子の直流特性を測定する必要
があり、このために試験装置は電圧印加電流測定
回路を内蔵している。
測定においては各端子の直流特性を測定する必要
があり、このために試験装置は電圧印加電流測定
回路を内蔵している。
本発明はこの電圧印加電流測定回路の改善を目
的としている。
的としている。
試験装置を内蔵する従来の電圧印加電流測定回
路のブロツク図を第１図に示す。同図において１
は演算増幅器、２は演算増幅器によつて構成され
る電圧フオロア、３は被測定物、４，５はスイツ
チを示し、動作を説明すれば以下のようになる。
端子６に電圧0Vが加えられている状態で、スイ
ツチ４および５を閉じ、被測定物３と接続し、ス
イツチ４および５の閉動作が完全に安定するに充
分な時間、待つた後端子６に電圧Eiを加えると
あらかじめ設定された抵抗値R2，R3によつて決
まる電圧Eoが被測定物３に印加される。電圧フ
オロア２の入力抵抗は非常に大きいため、被測定
物３に流れる電流はすべて、あらかじめ設定され
た抵抗R1を流れる。従つて抵抗R1の電圧降下を
測定すれば被測定物３に流れる電流が求まる。
路のブロツク図を第１図に示す。同図において１
は演算増幅器、２は演算増幅器によつて構成され
る電圧フオロア、３は被測定物、４，５はスイツ
チを示し、動作を説明すれば以下のようになる。
端子６に電圧0Vが加えられている状態で、スイ
ツチ４および５を閉じ、被測定物３と接続し、ス
イツチ４および５の閉動作が完全に安定するに充
分な時間、待つた後端子６に電圧Eiを加えると
あらかじめ設定された抵抗値R2，R3によつて決
まる電圧Eoが被測定物３に印加される。電圧フ
オロア２の入力抵抗は非常に大きいため、被測定
物３に流れる電流はすべて、あらかじめ設定され
た抵抗R1を流れる。従つて抵抗R1の電圧降下を
測定すれば被測定物３に流れる電流が求まる。
しかしながら従来の回路においてはスイツチ４
および５を閉じた瞬間は、端子６の入力電圧が
0Vなので、被測定物３には0Vが印加されるた
め、被測定物３の測定端子が、比較的低抵抗で被
測定物の電源に接続されているような場合、非常
に大きな電流が被測定物に流れることになり、ま
たこの大きな電流に対して回路の応答が追従でき
ないような場合、過渡的に異常電圧が被測定物に
印加されることになり、結局被測定物が破壊され
てしまうことになる。
および５を閉じた瞬間は、端子６の入力電圧が
0Vなので、被測定物３には0Vが印加されるた
め、被測定物３の測定端子が、比較的低抵抗で被
測定物の電源に接続されているような場合、非常
に大きな電流が被測定物に流れることになり、ま
たこの大きな電流に対して回路の応答が追従でき
ないような場合、過渡的に異常電圧が被測定物に
印加されることになり、結局被測定物が破壊され
てしまうことになる。
本発明は前記欠点を改良した試験装置を提供す
ることを目的としたものである。
ることを目的としたものである。
以下本発明について図面を参照しながら詳細に
説明する。第２図は本発明の一実施例を示すブロ
ツク図である。同図において、１，７は演算増幅
器、２は演算増幅器によつて構成される電圧フオ
ロア、３は被測定物、４，５はスイツチ、８は半
導体スイツチを示す。動作を説明すれば以下のよ
うになる。所定の電圧Eiを端子６に加え、半導
体スイツチ８を閉じ（オンし）、スイツチ５を閉
じると電圧フオロア２の出力電圧は被測定物３の
測定端子の出力電圧Exとなり、この電圧Exと演
算増幅器１の出力電圧の差電圧が演算増幅器７に
より増幅されて抵抗R4を介して演算増幅器１に
入力に帰還されることにより、演算増幅器１の出
力電圧は被測定物の出力電圧Exと等しくなる。
次いで、スイツチ４を閉じると演算増幅器１の出
力電圧は被測定物３の出力電圧と等しいので、抵
抗R1には電流が流れない。次いで半導体スイツ
チ８を開く（オフする）と、端子６の入力電圧
Eiに対し、抵抗値R2，R3によつて決まる電圧Eo
が被測定物３に印加されることになり、そこで抵
抗R1に流れる電流による電圧降下を測定すれ
ば、被測定物３に流れる電流が求まる。
説明する。第２図は本発明の一実施例を示すブロ
ツク図である。同図において、１，７は演算増幅
器、２は演算増幅器によつて構成される電圧フオ
ロア、３は被測定物、４，５はスイツチ、８は半
導体スイツチを示す。動作を説明すれば以下のよ
うになる。所定の電圧Eiを端子６に加え、半導
体スイツチ８を閉じ（オンし）、スイツチ５を閉
じると電圧フオロア２の出力電圧は被測定物３の
測定端子の出力電圧Exとなり、この電圧Exと演
算増幅器１の出力電圧の差電圧が演算増幅器７に
より増幅されて抵抗R4を介して演算増幅器１に
入力に帰還されることにより、演算増幅器１の出
力電圧は被測定物の出力電圧Exと等しくなる。
次いで、スイツチ４を閉じると演算増幅器１の出
力電圧は被測定物３の出力電圧と等しいので、抵
抗R1には電流が流れない。次いで半導体スイツ
チ８を開く（オフする）と、端子６の入力電圧
Eiに対し、抵抗値R2，R3によつて決まる電圧Eo
が被測定物３に印加されることになり、そこで抵
抗R1に流れる電流による電圧降下を測定すれ
ば、被測定物３に流れる電流が求まる。
以上説明したように被測定物には被測定物の出
力電圧でもつて、すなわち電流の流れない状態で
接続された後、所定の電圧が印加されるので、瞬
間的に異常電流が被測定物に流れることもなく、
また異常電圧が加わることもなく安定な電流測定
が可能となる。
力電圧でもつて、すなわち電流の流れない状態で
接続された後、所定の電圧が印加されるので、瞬
間的に異常電流が被測定物に流れることもなく、
また異常電圧が加わることもなく安定な電流測定
が可能となる。
本発明によれば被測定物に電圧を印加し電流を
測定するにあたつて、被測定物に害を与えること
もなく、まして破壊することもなく安定な測定が
可能となり、その効果は著しい。
測定するにあたつて、被測定物に害を与えること
もなく、まして破壊することもなく安定な測定が
可能となり、その効果は著しい。
第１図は従来の電圧印加電流測定回路を示すブ
ロツク図、第２図は本発明の一実施例を示すブロ
ツク図である。 図において、１…演算増幅器、２…演算増幅器
によつて構成される電圧フオロア、３…被測定
物、４，５…スイツチ、６…入力端子、７…演算
増幅器、８…半導体スイツチ。
ロツク図、第２図は本発明の一実施例を示すブロ
ツク図である。 図において、１…演算増幅器、２…演算増幅器
によつて構成される電圧フオロア、３…被測定
物、４，５…スイツチ、６…入力端子、７…演算
増幅器、８…半導体スイツチ。
Claims (1)
- １ 被測定物の試験を行うための電圧印加電流測
定回路を備えた試験装置において、該被測定物に
接続された第１のスイツチが、任意に設定された
抵抗を介して第１の増幅器の出力に接続され、か
つ該被測定物に接続された第２のスイツチが第２
の増幅器の入力に接続されており、先に前記第２
のスイツチを閉じ、該被測定物の電位を前記第２
の増幅器によつて検出し、前記第１の増幅器の出
力電圧と前記第２の増幅器の出力電圧の差電圧を
第３の増幅器を通して、前記第１の増幅器の入力
に帰還することにより、前記第１の増幅器の出力
電圧を前記被測定物の電位と同電位にする手段
と、前記第１のスイツチを閉じ、次いで前記第３
の増幅器による前記第１の増幅器の入力への帰還
を切り離すことにより、所定の電圧を該被測定物
に印加し電流を検出する手段とを含むことを特徴
とする試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15615479A JPS5679267A (en) | 1979-11-30 | 1979-11-30 | Tester |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15615479A JPS5679267A (en) | 1979-11-30 | 1979-11-30 | Tester |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5679267A JPS5679267A (en) | 1981-06-29 |
| JPS6236183B2 true JPS6236183B2 (ja) | 1987-08-05 |
Family
ID=15621522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15615479A Granted JPS5679267A (en) | 1979-11-30 | 1979-11-30 | Tester |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5679267A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000310672A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-07 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
-
1979
- 1979-11-30 JP JP15615479A patent/JPS5679267A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5679267A (en) | 1981-06-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102955125B (zh) | 集成电路 | |
| US3227953A (en) | Bridge apparatus for determining the input resistance and beta figure for an in-circuit transistor | |
| JPS6382377A (ja) | 電流測定回路 | |
| JPS622169A (ja) | 極小抵抗測定方法及び装置 | |
| JPS6236183B2 (ja) | ||
| JPS641649Y2 (ja) | ||
| JPH11281677A (ja) | 電流測定装置 | |
| JP3461258B2 (ja) | 導電率またはｐＨを測定する装置 | |
| JPH0438303Y2 (ja) | ||
| JPH0519821Y2 (ja) | ||
| JPH0519820Y2 (ja) | ||
| JP3495545B2 (ja) | 溶存酸素またはｐＨを測定する装置 | |
| RU1810837C (ru) | Устройство дл измерени падени напр жени на контактах | |
| JPH0546341Y2 (ja) | ||
| GB2124785A (en) | Circuit module for impedance measuring circuit | |
| JPH0216292Y2 (ja) | ||
| SU1084709A1 (ru) | Устройство дл измерени параметров рассе ни транзисторов | |
| US3200335A (en) | Apparatus for enabling the hi, hf, ho, and hr chracteristics of transistors to be derived | |
| JPH0524222Y2 (ja) | ||
| JP2537961B2 (ja) | 溶接電圧検出装置 | |
| KR960013754B1 (ko) | 직렬 저항 보상 기능을 갖는 적분형 콘덴서 측정 회로 | |
| JPS5820942Y2 (ja) | 電源試験用負荷装置 | |
| JP3521094B2 (ja) | 酸素濃度測定装置 | |
| JP2874763B2 (ja) | 電熱線の抵抗変化観測装置 | |
| JPH11153641A (ja) | 半導体デバイス試験装置 |