JPS6236530U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6236530U JPS6236530U JP12647285U JP12647285U JPS6236530U JP S6236530 U JPS6236530 U JP S6236530U JP 12647285 U JP12647285 U JP 12647285U JP 12647285 U JP12647285 U JP 12647285U JP S6236530 U JPS6236530 U JP S6236530U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oven
- inert gas
- semiconductor wafers
- furnace
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す一部を破断
した正面図、第２図はこの考案の一実施例におけ
る排気および不活性ガス導入の動作説明線図、第
３図は従来のオーブンの一部を破断した正面図で
ある。 図において、１０はオーブン本体、１４は炉、
１６，１８はパイプである。なお、各図中、同一
符号は同一又は相当部分を示す。
した正面図、第２図はこの考案の一実施例におけ
る排気および不活性ガス導入の動作説明線図、第
３図は従来のオーブンの一部を破断した正面図で
ある。 図において、１０はオーブン本体、１４は炉、
１６，１８はパイプである。なお、各図中、同一
符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体ウエハをベークするオーブンにおい
て、上記オーブンの炉に不活性ガスの導入口と上
記炉内の空気を排気する排出口とを設け、かつ上
記導入口に接続して不活性ガス導入手段を設ける
と共に上記排出口にはパイプを介して真空ポンプ
を設けたことを特徴とする半導体ウエハ用のオー
ブン。 (2) 上記真空ポンプの起動と停止および不活性
ガスの導入をタイマー制御より行うことを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第１項記載の半導体
ウエハ用のオーブン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12647285U JPS6236530U (ja) | 1985-08-21 | 1985-08-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12647285U JPS6236530U (ja) | 1985-08-21 | 1985-08-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6236530U true JPS6236530U (ja) | 1987-03-04 |
Family
ID=31020302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12647285U Pending JPS6236530U (ja) | 1985-08-21 | 1985-08-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6236530U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006253517A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 減圧乾燥装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS594031A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-10 | Toshiba Corp | 半導体製造装置 |
-
1985
- 1985-08-21 JP JP12647285U patent/JPS6236530U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS594031A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-10 | Toshiba Corp | 半導体製造装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006253517A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 減圧乾燥装置 |