JPS6236624A - 走査型光学顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 用直丘見 本発明は、走査型光学顕微鏡に関するものである。

従来技術 従来一般の顕微鏡は、光源及び適切なコンデンサーレン
ズによって被観察試料の観察領域全体をできるだけ均一
に照明するようにすると共に、対物レンズにより試料像
を拡大し接眼レンズを通して観察或は写真逼影するよう
にしていたが、観察領域全体を照明するためにフレア等
が多く、従来からの工夫にもかかわらず理論上の解像限
界を得ることは不可能であり、又低コントラストな試料
等は非常に見づらかった。又、特殊検鏡法例えば位相差
法、微分干渉法のように位相物体を観察する検鏡を行う
場合或は暗視野観察を行う場合には、夫々各検鏡法専用
の特別の高価な光学部品が必要であった。

そこで、上記従来の光学顕微鏡の一つの欠点であるフレ
ア等によって理論上の解像限界が達成できない点を解決
するために、点状光投射型の顕微鏡が提案された。これ
は点光源によって観察試料を点状に照射し、照射された
試料からのｉ３過光又は反射光を再び点状に結像せしめ
、ピンホール開口を有する検出器で像の濃度情報を得る
ようにしたものであって、現在マイクロ濃度計等に用い
られている測光方法である小穴・改良方式とほとんど同
じ方式のものである。ただし、これだけでは点状光が照
射された点の濃度情報しか得られないので、試料をＸ−
Ｙの二次元に機械的にラスター走査してそれと同期した
ＣＲＴに像を形成し観察するようになっていた。

この顕微鏡について米国特許第３０１３４６７号明細書
に記載された一例に基づき説明する。第１４図はその概
略図であって、光１ｆＧ（１とピンホール２によって点
光源を形成し、該点光源は収差の良く補正された対物レ
ンズ３によって試料４上に点として結像せしめられ、試
料４を照明する。更に試料４上の点状光は収差の良く補
正されたコンデンサーレンズ５によってピンホール６上
に点として再び結像せしめられ、形成された点状光をピ
ンホール６を通して検出器で検出する。一方、駆動回路
８によって試料４上をテレビのラスクー走査のようにＸ
−Ｙの二次元に機械的に走査する。

こうして検出器７からの画像信号を駆動回路８から周期
信号に周期したストレージ型のＣＲＴ９に表示すれば、
試料４の像を観察することができる、このように点状光
で試料を照明し、点状の検出器で信号を検出するように
しているので、通常の顕微鏡に比べてフレアの少ない画
像が得られ解像力が向上する。

そこで、このような走査型光学顕微鏡において、第１５
図に示した如く試料で反射した反射光を試料の周囲にお
いたファイバーで集めて検出器に導き暗視野顕微鏡を行
う方法が提案されている。これは、レーザー等の点光源
ＩＯからの光は対物レンズ１１によって試料１２に照射
され、試料１２で散乱された光１３は試料１２或は対物
レンズｌｌの周囲に適切に配置された光ファイバーの集
光器１４によって集光され検出器１５で検出されるよう
になっていたが、この方法では暗視野検鏡を行う場合に
光ファイバーを利用した高価な光学部品が必要となり、
コスト高になるという問題があった・ 目　　　的 本発明は、上記問題点に鑑み、低コストで暗視野検鏡を
実現し得るようにした走査光学顕微鏡を提供せんとする
ものである。

互−１ 本発明による走査型光学顕微鏡は、光源と、前記光源か
ら発した光を物体上に集光する対物レンズと、物体から
の光を受ける検出器とを有する走査型光学顕微鏡におい
て、検出光学系中に検出光のＯ次回折光を除く手段を設
けたことにより、遮光板等の安価な光学部品を採用する
だけで済むようにしたものである。

、Ｌａ、ｆｉ 以下、図示した一実施例に基づき、本発明の詳細な説明
すれば、第１図は本発明による走査型光学顕微鏡におけ
る暗視野検鏡の一方式を示す図であって、レーザ光源か
らのレーザビーム１６はビームスプリンタ１７．対物レ
ンズ１８を通って試料１９上に集光される。試料１９で
反射及び散乱された光（検出ビーム２４）は対物レンズ
１８゜ビームスプリッタ１７を通り集光レンズ２０によ
って集光されて点状像２１を形成する。その点状像２１
の中のＯ次回折光或は中心部分の光を遮光板２２により
除いてその後方の検出器２３で光を検出する。

第２回は第二の方式を示す図であって、これはレーザビ
ーム１６より検出ビーム２４の幅が太きい場合の例であ
る。

尚、第１図及び第２図において、遮光板２２の大きさは
エアリ−ディスクの大きさと同等か或はそれより大きい
ことが望ましい。

第３図は第三の方式を示す図であって、これは試料１９
から反射或は散乱された検出ビーム２４の中で試料１９
により直接反射された成分を遮光板２５によって除いた
例である。この場合、集光レンズ２０は必ずしも必要で
ない。

以上のように、検出光の０次回折光成分即ち試料からの
直接反射光を検出光から除く手段（遮光板）を設けるこ
とにより、走査型光学顕微鏡において低コストで暗視野
検鏡を実現することができた。

次に、上記第一の方式を採用した第一の実施例の光学系
を第４図に示す。後で詳述するレーザ光源からのレーザ
ビーム３４はビームスプリッタ３５を透過して対物レン
ズの瞳位置と共役な位置に設けられた光偏向器のガルバ
ノメータミラー３６に入射する。ここでレーザビーム５
４は偏向されてＹ方向に走査される０次に瞳伝送レンズ
３７゜３８によってやはり対物レンズの瞳位置と共役な
位置に設けられたガルバノメータミラー３９に入射する
。ここでレーザビーム３４は偏向、されてさらにＸ方向
に走査される。尚、図面上は、ガルバノメータミラー３
６．３９は共に同じ方向にレーザビーム３４を偏向する
かの如く図示されているが、実際はＹ及びＸの方向にレ
ーザビーム３４を走査し、結果的には試料上をＸ−Ｙの
二次元に走査し得るようになっている。二次元に走査さ
れたレーザビーム３４は、瞳投影ンズ４０．結像レンズ
４１を透過し対物レンズ４２の瞳に入射する。

そして、試料４３上に回折によって制限されるレーザス
ポットを生じ、そのレーザスポットで試料４３をＸ−Ｙ
の二次元に走査する。ここで、走査型観察を行う場合に
、眼視観測用のプリズム４４及び落射照明用のビームス
プリンタ４５は光路上から除かれている。さもないと、
レーザビームが目に入る恐れがあり危険であるし、また
フレアの原因にもなる。瞳投影レンズ４０は対物レンズ
の瞳を努゛ルバノメータミラー３９上に投影するレンズ
であるが、対物レンズの瞳位置は種類により大きく異な
ることがあるので、夫々の種類の対物レンズの瞳位置を
正確にガルバノメータミラー３９上に投影できる複数の
種類の瞳投影レンズが容易に交喚できるような構造にな
っている。勿論像位置を不変に保ちながら瞳投影距離を
調整するするズーム型のレンズでも良い。

次に透過系における検出について説明する。試料４３上
を走査して透過したレーザビームは、コンデンサーレン
ズ４６．眼視観測の１３過照明用のビームスプリッタ４
７を透過して検出器４８，４９によって検出される。尚
、検出器４８．４９は瞳と共役な位置において光軸に関
して対象に配置されている。そして、検出器４８及び４
９の信号の和を用いて像を形成するとｆＦ！通の透過像
が得られ、信号の差を用いると微分的な画像が得られる
又、両信号に重みを掛けて和、差を計算するか、或は片
側だけの１８号を用いると、普通像と微分像の重なった
像が得られることは言うまでもない。

次にＩｃ標本を観察する場合のように反射系で検出する
場合について説明する。光ビームは試料４３で反射され
、対物レンズ４２．結像レンズ４１、瞳投影レンズ、ガ
ルバノメータミラー３９゜瞳伝送レンズ３８，３７．ガ
ルバノメータミラー３６を通ってビームスプリッタ３５
に戻ってくる。

即ち試１４４３に入射した時と全（同じ光路を逆に通っ
て戻ってくる。ビームスプリンタ３５によっ反射された
検出ビーム５０は集光レンズ５１によって点状に集光さ
る。この位置にピンホール５２を挿入し、その後方の検
出器で検出すると高解像の画面が得られる。更にガラス
板上の小さ遮光用の黒点を設けた黒点遮光板５３を挿入
して集光された検出ビームの０次光をカットすると、暗
視野像が得られる。又、光束の広がったところに検出器
５４．５５を光軸に関して対象に設置しであるので、微
分像が得られる。

ここで、光ビームを走査する方法による場合、ガルバノ
メータミラー等の光偏向部材を対物レンズの瞳位置に配
設することにより、本発明による暗視野検鏡が可能にな
ることを説明する。第５図は瞳を考慮した光偏向部材の
配置を示した図であって、等価的点光源と考えられるレ
ーザーからの光ビーム６０はビームスプリッタ６１を透
過し第一の光偏向器６２に入射する。この光偏向器６２
は対物レンズ６３の瞳６４と共役な瞳位置に配置する。

偏向を行っていない場合光ビーム６０は光軸６５に沿っ
て進む。偏向を行う場合即ち光ビーム６０を走査する場
合、光偏向器６２が瞳位置に設けられているので、光ビ
ーム６０の方向は軸外主光線６６と一致し、光ビーム６
０の中心も軸外主光線６６と一敗する０次にこれらの光
ビームは瞳伝送レンズ６７及び６８を通って瞳位置に配
置された第二の光偏向器８９に入射する。ごの光偏向器
６９が二次元走査のうちＸ方向の走査を行うとすると、
先の光偏向器はＹ方向の走査を行うことになる。Ｘ−Ｙ
両方向の偏向を行うことのできる光偏向器を用いれば、
光偏向器は一つで良い。光偏向器６２及び６９により二
次元的に走査された光ビームは、瞳投影レンズ７０及び
結像レンズ７１により対物レンズ６３の瞳６４に入射せ
しめられる。光偏向器６２及び６９によって形成される
軸外光のビームも方向及びその中心が軸外主光線６６と
一致しているので、軸外の光ビームも対物レンズ６３の
瞳６４に正確に入射する。そしてこれらの光ビームは対
物レンズ６３によって試料７２上に回折で制限される点
状光を生じる。光偏向器６２及び６９によってＸ−Ｙの
二次元に走査することにより、点状光が試料７２を二次
元走査する。

試料７２から反射された光ビームは、対物レンズ６３と
その１ｌＩ６４を通り更に結像レンズ６１を通って一端
結像する。この結像面が通常の光学顕微鏡で像を観測す
る面である。更に光ビームは瞳投影レンズ７０により光
偏向器６９上に戻ってくる。このように反射ビームは試
料に入射した時と全く同じ経路を逆に通ってズームスプ
リンタ６１に戻り、ビームスプリッタ６１により取り出
されて検出ビーム７７となる。反射ビームが光偏向器６
９．６２を通過して戻ってきているので、軸外を走査し
ても検出ビーム７７は動かない。従って、検出ビーム７
７は集光レンズ７８によって点状に絞ることが出来る。

それ故、この点状に絞られた位置７９に黒点状の８光物
８０を設ければ、暗視野像が容易にｔｔｌ！測できる。

尚、８１．８２は光ビームが拡がった位置に配置された
検出器である。

次に、検出部について詳しく説明する。第４図に示され
ている検出器５４．５５は光束の拡がったところに置か
れているが二この場所で差信号として得られる微分像は
試料の位相に関するものである。これら二つの検出器５
４．５５を集光レンズ５１で集光された位置にもってき
て。点状に集光さた光を二つの検出器５４．５５で分割
して検出して差信号を得れば、試料の振幅に対する微分
像が得られる。この場合には、小さく集光されたスポッ
トを分割するために二つの検出器５４．５５の間隙を非
常に小さくする必要があるが、二つの検出器５４．５５
を並べてこの間隙を小さくすることは難しいので、第６
図に示した如くプリズムミラー８３を用いるのが良い。

尚、検出器５４゜５５に光電子増倍管を用いる場合には
、光束の拡がった位ｉｌｉ！或は瞳位置で検出する場合
にも第６図のような構成が良い。

又、干渉ｉ！Ｉｔ　ｍ鏡を構成することができる。第４
図において、通常は光路から除かれているミラー８４を
光路上に入れる。レーザー光源３３からのレーザビーム
３４は、ビームスプリッタ３３で反射されミラー８４で
反射される。又、ビームスプリッタ３５を透過した成分
は、試料４３から反射し戻ってきた検出ビーム５０と重
なる。そして、ピンホール５２を光路に入れて両方のビ
ームがピンホール５２を通過するように調整すると容易
に干渉縞を得ることができる。

又、偏光顕微鏡も構成できる。第４図において、レーザ
光源３３からの直線偏光のビームを試料に投射し、偏光
板８５或は８６を通して検出器で検出する。又、偏光板
８５或は８６の偏光方向を変化させることによりより違
った偏光状態を観察できる。又レーザー光源３３からの
レーザビームを円偏光にしても良い。

又、螢光観察も行い得る。例えばＡ、、°　レーザの４
８８ｎｍの波長でＦＩＴＣ付色された試料を励起し、そ
の螢光を観察することもできる。この場合には検出ビー
ム中にバリアフィルター８７を入れれば良い、この観察
法が上記各種検鏡法と組み合わせられるのは言うまでも
無い。

尚、第５図において、８８は落射型の通常顕微鏡眼視観
測用の光源で、ビームスプリッタ４５を光路中に入れ、
プリズム４４．接眼レンズ８９を通して観察するように
なっている。９０は透過照明用の光源である。又、図中
に示していない微分干渉用プリズムや位相差用対物レン
ズ及びリングスリット等を用いて通常ｉ！ｆｆ　微鏡の
特殊検鏡も行える。持論走査型観察時にそれらの光学部
品をそのまま用いて特種検鏡が行えるのはいうまでも無
い。

第７図はレーザ光源３３の光学系の詳細図であって、こ
の場合二つのレーザ９４゜９５を使用している。９６．
９７は音響光変調器でレーザ光の強度を変調するもので
ある。９８．９９は集光レンズ、１００．１０１はスベ
ーシャルフィルタ（ピンホール）、１０２，１０３はビ
ーム径を適切な径に変換するコリメータである。コリメ
ータ１０２．１０３を通った光は切換えミラー１０４に
より光路が選択され、図中のレーザビーム３４を形成す
る。尚、第７図中に図示されていないビーム径可変コン
バータレンズにより瞳に入射する光量分布を均一分布か
らガウス型分布に変化させることができ、これによりレ
ーザビーム走査観察時における焦点ａ度の大きさを変え
ることができる。

第８図は走査型レーザｗ４徽鏡においてカラー画像を得
る留場合のレーザ光源の光学系を示している。１０５，
１０６．１０７は夫々前のレーザ光源（Ａ、′　レーザ
、波長４８８ｎａ＋）、緑のレーザ光源（Ａ、”　レー
ザ、波長５１４．５０ｍ）、赤のレーザ光源（Ｈ，−Ｈ
，レーザ、波長６３３ｎｍ）であって、これらから発し
たレーザ光をグイクロイ／クミラ−１０８，１０９を用
いて一本に合成Ｌ、’ｔＬ光レンズ１１０を介してスペ
ースシャルフィルタ１１１に入射させ、コリメータ１１
２を用いてレーザビーム３４を形成する。尚、第７図の
場合は二本のレーザはスペースシャルフィルタを通った
後に合成されるので調整が容易であるが、第８図の場合
は三本のレーザを合成してからスペースシャルフイルタ
を通しているので調整が困難である。しかし、三色の点
光源を一敗させれば色ずれを防ぐことができる。

第９図は第８図の光源を用いてカラー画像のＲｌＧ、Ｂ
（８号を得るための光学系をしめしている。

検出ビーム５０を集光レンズ７１を用いて集光して点状
光に形成し、ピンホール５２を入れた検出が可能となっ
ている。その後ビームをグイクロイックミラー１１３．
１１４でＲ，Ｇ、Ｂの三色に分け、夫々を検出器で検出
する。

第１Ｏ図はマイクロコンピュータを用いた場合の電気回
路のブロック図を示している。１１５はマイクロコンピ
ュータ１１６によって制御されるガルバノメータコント
ロール回路であって、サーボアンプ１１７．１１８を介
してＸ偏向、Ｙ偏向二つのガルバノメータ１１９．１２
０を動作させる。動作モードは、走査型レーザ顕微鏡と
して通常の画像を得るためのＸ−Ｙの二次元のう、スタ
ー走査の他、Ｘ方向のみの走査がある。或は、画像中の
任意の一点にのみレーザを照射する座標指定のモードが
ある。透過系の検出器４８．４９の信号はプリアンプ１
２１，１２２及びオフセット。

可変ゲイン（ｇｅｉｎ）の調整のついた増幅器１２３゜
１２４によって加減算器１２５に与えられる。加減算器
１２５は二つの信号の加算或は減算を行い、その結果を
マルチプレクサ１２６に入力する０反射検出系の検出器
５４．５５の信号は同様な回路を経てマルチプレクサ１
２６に入力するマルチプレクサ１２６はマイクロコンピ
ュータ１１６からの指令により透過系の信号と反射系の
信号を選択する。マルチプレクサ１２６によって選択さ
れた画像信号は、ガルバノコントロール回路１１５に周
期したサンプルホールド・Ａ／Ｄ変換回路１２７により
フレームメモリ１２８に格納される。格納された画像信
号は表示用Ｄ／Ａ変換回路１２９を通じてモニター１３
０に表示される。１３１は試料上に走査された光によっ
て起こる物理現象を観測して画像を形成する場合に用い
るアンプであって、上記と同様にサンプルホールド・Δ
／Ｄｉ換回路１３２を通してフレームメモリ１３３に格
納され、モニター１３０に表示される。向、試料上に走
査された光によって起こる物理現象を観測して画像を形
成する例としては、半導体のＰ　Ｎ　ｉ１合に光が入射
した時に生じる光励起電流を観測するもの或は光音響波
を検出するものがあるが、この場合は通常の画像と重ね
合わせて擬似カラーで表示できる。

１３４は音響光変調素子の駆動回路であって、音響光変
調素子９６を駆動する。これは、マウス１３５を使用し
、モニター１３０上に表示されている画像の一点をモニ
ター１３０に表示されるマークによって任意に選び、ガ
ルバノメータ１１９゜１２０の位置をその座標に固定し
、そこに瞬間的にレーザー光を照射する場合に用いられ
る。又、これは細胞などの微細なものにレーザ光で穴を
あける時などに用いることができる。即ち、出力の弱い
観測用のレーザで画像を表示し、マウス１３５によって
穴をあけたい位置を指定し、そして強力なレーザを音響
光変調素子によって瞬間的に照射する。尚、＋３６はフ
レームメモリに接続された画像処理ユニット、１３７は
マイクロコンピュータ１１６のコンソールである。

第１１図（Ａ）及び（Ｂ３は、コントラストの低い画像
信号１３Ｂをオフセット、可変ゲイン（ｇａｉｎ）の調
整のついた増幅アンプ１２１．１２２によりコントラス
トの高い画像信号１３９に変化させた場合を示している
。

第１２図（Ａ）及び（Ｂ）は夫々第二実施例の光学系の
正面図及び側面図を示しており、これは光偏向器として
音響光偏向素子を用いた例である。

光源からのレーザビーム１４０は、瞳位置に置かれた音
響光偏向素子Ｌ４１に入射する。音響光偏向素子１４１
によって回折されたビーム１４２は調整用ミラー１４３
によって反射されビーム１４４となって瞳伝送レンズ１
４５に入射する。ミラー１４６によって反射されたビー
ム１４４は瞳伝送レンズ１４７を通ってビーム１４Ｂと
なる。レーザビーム１４８は瞳位置におかれた音響光偏
向素子１４９により回折されビーム１５０となる。

ビーム１５０は調整用ミラー１５１により反射されてビ
ーム１５２となり、瞳投影レンズ１５３に入射する。瞳
投影レンズ１５３を通過したビームは図示していない対
物レンズの瞳に入射し、試料上にスポットを生じる。こ
こで、図中のレーザビーム１４０，１４２．１４４，１
４８，１５０゜１５２は軸上光として偏向された光束の
中心を表しており、いわゆる光軸に相当するものである
。

音響光偏向素子１４１．１４９は第１３図に示した如く
音波を伝える媒体１５８と圧電素子１５９とから成って
おり、圧電素子１５９に高周波電圧（１００ＭＩ（ｚ前
後）を加えると媒介１５８内に音波による回折格子が生
じ、レーザビーム１６０を入射すると、０次回折光１６
１と一次回折光１６２が生じる。そして、圧電素子に加
える高周波の周波数を変えることにより一次回折光の向
きを方向１６３から方向１６４に連続的に変えることが
できる。これが音響光偏向素子における光偏向方法であ
る。よって、光軸に相当する方向を１６２とし軸外方向
を１６３成は１６４とする。従つて、第１２図において
軸外光は音響光、偏向器１４１によって光軸１４２の上
下に方向１５４，１５５のように偏向される。尚、瞳伝
送レンズ１４５．１４７．１５３は第５図の瞳伝送レン
ズ６７゜６８．７０に夫々相当する。又、瞳位置におか
れた二つの音響光偏向素子１４１，１４９は夫々第５図
中の光偏向器６２．６９に相当し、夫々Ｘ。

Ｙ方向にレーザビームを走査する。その結果試料上でレ
ーザビームがラスター状に走査される。

光学系の調整という観点から見ると、光学系が立体的に
配置される場合は、その光学系の光軸が各々垂直或は平
行であることが望ましい、しかし、音響光偏向素子１４
１による回折光は入射光１４０に対して９０’でない角
度θを有している０例えば角度θは４°程度である。そ
して、この前後±２°程度回折角を変化させてレーザビ
ームを走査する。よって、光学系の光軸を垂直に保つた
めに調整用ミラー１４３を設けて回折ビーム１４２を反
射させ、入射レーザビーム１４０に対して垂直なレーザ
ビーム１４４として瞳伝送レンズ１４５に入射させるの
が良い。これは音響光偏向素子１４９と調整ミラー１５
１の関係、レーザビーム１４８とレーザビーム１５２の
関係でも同じことである。尚、レンズ１５６はシリンド
リカルレンズで音響光偏向素子１４９のレンズ効果を補
正するものである。このように音響光偏向素子を瞳位置
を設けることにより瞳を考慮した光ビーム走査光学系を
設定するにとができる。

試料より反射された光は再び図示しない対物レンズ、瞳
投影レンズ１５３．音響光偏向素子１４９、瞳伝送レン
ズ１４７．１４５．音響光偏向素子１４１を通って図示
しない検出系に戻る。検出系は第５図に示すものと同様
に構成されており、ビームスプリッタ６１でレーザ入射
系から分れ、集光レンズ７８により焦点７９上に集光す
る。この位置にピンホールを設けることにより高解像な
像が、黒点板を設けることにより暗視野像が、また分割
検出器８１．８２により微分像が夫々得られる。

又、処理回路を第１０図の如く構成すれば、各種の処理
が可能となる。ただし１１５は音響光偏向素子コントロ
ール回路、１１７．１１８は高周波発生回路、１１９．
１２０は音響光偏向素子となる。

以上のように、音響光偏向素子を用いることによりＴＶ
の走査スピードと同等のレーザビーム走査が可能となり
、且つ瞳を考慮した音響光偏向素子の配置により、レー
ザビームを走査する走査型光学顕微鏡においても、二つ
の検出器を用いて微分像が簡単に得られ、高解像像、暗
視野像も簡単に得られる。又、音響光偏向素子をレーザ
ビーム投射に用いるだけでなく、その反射光をもう一度
音響光偏向素子に通すことにより上記の構成が可能とな
ったのである。

尚、光偏向部材としては、鏡や音響光学素子以外にもプ
リズム、ガラスロック等の各種偏向器が使用され得る。

又、上記説明ではレーザビームを走査する光ビーム走査
型の例を示したが、レーザビームは固定してステージを
走査する方式の走査型顕微鏡でも良いことは言うまでも
無い。

λ１立ｊｌ 上述の如く、本発明による走査型顕微鏡は、低コストで
暗視野顕微鏡を実現し得るという重要な利点を存してい
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による走査型光学顕微鏡における暗視野
検鏡の一方式を示す図、第２図及び第３図は夫々第二の
方式及び第三の方式を示す図、第４図は上記一方式を採
用して成る本発明顕微鏡の第一実施例の光学系を示す図
、第５図は瞳を考慮した光偏向部材の配置を示した図、
第６／ＵＡは上記第一実施例の検出系の変形例を示す図
、第６図はレーザ光源の光学系を示す図、第８図はカラ
ー画像を得る場合のレーザ光源の光学系を示す図、第９
図はカラー画像を得る場合の検出系を示す図、第１０図
は上記第一実施例の電気回路のブロック図、第１１図は
画像信号のコントラストの強化を示すグラフ、第１２図
は第二実施例の光学系を示す図、第１３図は音響光偏向
素子の断面図、第１４図は従来例の光学系を示す図、第
１５図と上記従来例における暗視野観察方法を示す図で
ある。 １６・・・・レーザビーム、１７・・・・ビームスプリ
ンタ、１Ｂ・・・・対物レンズ、１９・・・・試料、２
０・・・・集光レンズ、２１・・・・点状像、２２・・
・・遮光板、２３・・・・検出器、２４・・・・検出ビ
ーム。 オ１ＥＪ １日 第２８ 第４図 Ｉ！７図 １８図 １９図 １１０図 第１１図 （Ａ）（Ｂ） ト！ 第１４図 第１５図 手続補正書（自発）　　　　　　　　　６昭和６１年　
６月２７日 １、事件の表示　　特願昭６０−６２２６４号２、発　
明　の　名　称　　　　走査型光学顕微鏡４、代　　　
理　　　人　　　　〒１０５東京都港区新橋５の１９、
補正の内容 ＋１１　　明細書第３頁１５行目の「周期信号に周期し
た」を「周期信号に同期したｊと訂正する。 （２）　　明細書第６頁９行目の「必要でない、」を「
必要でない、又、第１図と第３図に示される方式、第２
図と第３図に示される方式を同時に実施してもよいのは
言うまでもない、ｊ （３）　　明細書第７頁１１行目の「瞳投影ンズ４０」
をｒ瞳投影レンズ４０」と訂正する。 ）　明細書第８頁１７行目の「得られる」をｒ得られる
。１と訂正する。 （５）　　明細書第９頁４行目の「瞳投影レンズ」をｒ
瞳投影レンズ４０」と訂正する。 （６）　　明細書第１Ｏ頁１行目の「視野検鏡が可能に
なる」を「視野検鏡の性能がより向上する」と、同頁１
４行目の「光偏向器８９」を「光偏向器６９Ｊと、夫々
訂正する。 ″）　　明細書°第１５頁１２行目の「像を得る留場所
」を「像を得る場所」と、同頁１４行目のｒＡ　ｒ’　
レーザ、波長４８８　ｎｍＪを’Ｈｅ−Ｃｄレーデ、波
長４４１．６ｎｍ」と、夫々訂正する。 （８）　　図面中、第４図、第１Ｏ図及び第１２図（Ａ
）を別紙添付の如く訂正する。 ；１′４因 Ｓ４９ 第１０図 第１２図 （Ａ） 中 手続補正書（方式） ％式％ ■、事件の表示　特願昭６０−６２２６４号２、発明の
名称　　走査型光学顕微鏡 ４、代　　　理　　　人　　　〒１０５東京都港区新橋
５の１９６、補正の対象 明細書の図面の簡単な説明の欄。 ７、補正の内容 （１１明細書第２４頁１６行目の「第６図」を「第７図
ｊと訂正する。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）光源と、前記光源から発した光を物体上に集光す
   る対物レンズと、物体からの光を受ける検出器とを有す
   る走査型光学顕微鏡において、検出光学系中に検出光の
   Ｏ次回折光を除く手段を設けたことを特徴とする走査型
   光学顕微鏡。