JPS6237083U - - Google Patents

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JPS6237083U
JPS6237083U JP12811885U JP12811885U JPS6237083U JP S6237083 U JPS6237083 U JP S6237083U JP 12811885 U JP12811885 U JP 12811885U JP 12811885 U JP12811885 U JP 12811885U JP S6237083 U JPS6237083 U JP S6237083U
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JP
Japan
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discharge electrode
electrode plate
divided
electrode plates
frequency power
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JP12811885U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の１実施例であるプラズマＣ
ＶＤ装置の電極部の構成を示す模式説明図、第２
図、第３図および第４図はこの装置の放電電極板
の分割配置パターンの３種を示した正面図、第５
図は分割各電極板が別々のマツチング回路を介し
て別々の高周波電源にそれぞれ接続されている状
態を示した回路図、第６図は従来の装置の模式説
明図、第７―Ａ図、第７―Ｂ図は従来の装置にお
ける放電電極板の形状パターンの２種を示した正
面図である。 １……真空チヤンバ、２……放電電極板、２′
……アース電極板、３……高周波電源、４，４′
……マツチング回路、５……基板、１１……電気
絶縁帯状部材、１２……バリコン、Ｐ，Ｑ，Ｒ…
…分割放電電極板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空チヤンバの内方空間に、高周波電源にマツ
    チング回路を介して接続される放電電極板とアー
    ス電極板とを互いに対向させて配設してなるプラ
    ズマＣＶＤ装置の電極部において、前記放電電極
    板を複数の放電電極板に分割して形成し、それら
    分割された各放電電極板をこれら放電電極板全体
    の中心において互いに直交する２軸のそれぞれに
    対して対称位置に配置し、かつ分割された各放電
    電極板間を電気絶縁帯条部材で電気的に遮断する
    とともに、分割された各放電電極板をそれぞれ別
    々のマツチング回路を介して同一の、もしくは別
    々の高周波電源に接続したことを特徴とするプラ
    ズマＣＶＤ装置の電極部。
JP12811885U 1985-08-21 1985-08-21 Expired JPS641958Y2 (ja)

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JP12811885U JPS641958Y2 (ja) 1985-08-21 1985-08-21

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JPS6237083U true JPS6237083U (ja) 1987-03-05
JPS641958Y2 JPS641958Y2 (ja) 1989-01-18

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ID=31023499

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JP (1) JPS641958Y2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001168044A (ja) * 1999-12-14 2001-06-22 Sharp Corp プラズマｃｖｄ装置およびそれを用いた薄膜製造方法並びに薄膜太陽電池の製造方法
JP2009231247A (ja) * 2008-03-25 2009-10-08 Tokyo Electron Ltd プラズマ処理装置及び高周波電力の供給方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001168044A (ja) * 1999-12-14 2001-06-22 Sharp Corp プラズマｃｖｄ装置およびそれを用いた薄膜製造方法並びに薄膜太陽電池の製造方法
JP2009231247A (ja) * 2008-03-25 2009-10-08 Tokyo Electron Ltd プラズマ処理装置及び高周波電力の供給方法

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JPS641958Y2 (ja) 1989-01-18

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