JPS6237145Y2 - - Google Patents
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- JPS6237145Y2 JPS6237145Y2 JP218279U JP218279U JPS6237145Y2 JP S6237145 Y2 JPS6237145 Y2 JP S6237145Y2 JP 218279 U JP218279 U JP 218279U JP 218279 U JP218279 U JP 218279U JP S6237145 Y2 JPS6237145 Y2 JP S6237145Y2
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- cryogenic
- thermometer
- temperature sensor
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Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は極低温領域の計測に適した温度計の構
造に関する。
造に関する。
LNG・液化水素・液体ヘリウムの利用など極
低温領域に関する研究段階から工業化段階に進ん
できており、工業的な使用に耐える極低温用温度
計の開発が望まれている。
低温領域に関する研究段階から工業化段階に進ん
できており、工業的な使用に耐える極低温用温度
計の開発が望まれている。
高精度で信頼性も高く取扱い容易な極低温用温
度センサが開発されつつあるが、本考案はこのよ
うな極低温用温度センサを保護管内に収納した、
工業用の用途に適した温度計の構造を提供するこ
とを目的とする。
度センサが開発されつつあるが、本考案はこのよ
うな極低温用温度センサを保護管内に収納した、
工業用の用途に適した温度計の構造を提供するこ
とを目的とする。
第１図は極低温測定に適した温度センサの一例
を示す構造図であり、センサTHは、コバルトの
混合率が0.5mol％近傍の白金・コバルト合金の抵
抗線材料１を、この抵抗線材料と極低温領域から
常温の範囲にわたり線膨脹係数が等しい特殊なガ
ラス例えば硼硅酸ガラスの巻枠２に巻回した後、
同じ材質のガラス３で表面を絶縁コーテイング
し、白金線よりなる４線式の引出線４，４′に接
続した構成のものである。
を示す構造図であり、センサTHは、コバルトの
混合率が0.5mol％近傍の白金・コバルト合金の抵
抗線材料１を、この抵抗線材料と極低温領域から
常温の範囲にわたり線膨脹係数が等しい特殊なガ
ラス例えば硼硅酸ガラスの巻枠２に巻回した後、
同じ材質のガラス３で表面を絶縁コーテイング
し、白金線よりなる４線式の引出線４，４′に接
続した構成のものである。
第２図は、このような温度センサTHを保護管
５内に収納した本考案温度計の構造を示す。
５内に収納した本考案温度計の構造を示す。
筒状の保護管５は先端部近傍に温度センサTH
が配置される。保護管の後端部はカツプ状の本体
６の底部に形成された孔６ａに嵌合され、７で示
すように溶接で両者が気密に接合されている。
が配置される。保護管の後端部はカツプ状の本体
６の底部に形成された孔６ａに嵌合され、７で示
すように溶接で両者が気密に接合されている。
８は本体６上記の開放部に嵌合されたハーメチ
ツク端子であり、その外周部を巻回する金属部８
ａと本体６とは溶接部９により気密に接合されて
いる。８ｂはハーメチツク端子の絶縁部を気密に
貫通する複数のリード線ガイド用の金属棒であ
る。
ツク端子であり、その外周部を巻回する金属部８
ａと本体６とは溶接部９により気密に接合されて
いる。８ｂはハーメチツク端子の絶縁部を気密に
貫通する複数のリード線ガイド用の金属棒であ
る。
１０は保護管５内及び本体６内に充填された熱
伝導特性の良い無気粉末、例えばアルミナ
（Al2O3）である。
伝導特性の良い無気粉末、例えばアルミナ
（Al2O3）である。
さらに本考案温度計の特徴は、これら内部にヘ
リウムガス１１が封入されており、極低温領域で
の熱伝等特性を一層向上させている点にある。
リウムガス１１が封入されており、極低温領域で
の熱伝等特性を一層向上させている点にある。
このような構成を実現するための組立工程は、
まず本体６と保護管５とが溶接されたボテイ内に
リード線４，４′の接続された温度センサTHを
挿入した後無機粉末１０を充填する。
まず本体６と保護管５とが溶接されたボテイ内に
リード線４，４′の接続された温度センサTHを
挿入した後無機粉末１０を充填する。
ハーメチツク端子の金属棒８ｂにリード線４，
４′を接続した後ハーメチツク端子を本体上部に
嵌合させて溶接により本体を接合する。
４′を接続した後ハーメチツク端子を本体上部に
嵌合させて溶接により本体を接合する。
この時ハーメチツクの端子の金属棒を通す端子
穴を一個遊ばせておき、この穴を利用して真空ポ
ンプを用いて保護管及び本体内の空気を抜いて真
空状態とした後ヘリウムガスをその穴から封入し
て無機粉末のすきまに存在していた空気と置換さ
せ、しかる後に端子穴を溶着してヘリウムガスを
完全に密封させる。
穴を一個遊ばせておき、この穴を利用して真空ポ
ンプを用いて保護管及び本体内の空気を抜いて真
空状態とした後ヘリウムガスをその穴から封入し
て無機粉末のすきまに存在していた空気と置換さ
せ、しかる後に端子穴を溶着してヘリウムガスを
完全に密封させる。
従来の温度計では無機粉末を充填したものが知
られているが、極低温で使用した場合粉末のすき
間に存在している空気が液化し、体積収縮によつ
て保護管内に負圧が生じ、温度センサに圧力歪が
生じ測定精度が低下する。
られているが、極低温で使用した場合粉末のすき
間に存在している空気が液化し、体積収縮によつ
て保護管内に負圧が生じ、温度センサに圧力歪が
生じ測定精度が低下する。
本考案のごとくすき間の空気をヘリウムで置換
した構成によれば液化点4.23Kまではヘリウムは
気体の状体を保持し高成度、高精度で安定な測定
ができる。実用上は4.23Kまでの測定ができれば
極低温用温度計として充分である。
した構成によれば液化点4.23Kまではヘリウムは
気体の状体を保持し高成度、高精度で安定な測定
ができる。実用上は4.23Kまでの測定ができれば
極低温用温度計として充分である。
4.23K以下となつてヘリウムが液化した場合で
あつても、空気に比較して収縮率は極めて小さい
ので、発生する負圧は小さく、センサに与える影
響は小さい。
あつても、空気に比較して収縮率は極めて小さい
ので、発生する負圧は小さく、センサに与える影
響は小さい。
尚、従来温度計でヘリウムのみが封入されたも
のも知られているが、振動や衝撃に対して弱く、
センサとしてガラスの巻枠やコーテイングを用い
る極低温用の温度計としては実用出来ない。
のも知られているが、振動や衝撃に対して弱く、
センサとしてガラスの巻枠やコーテイングを用い
る極低温用の温度計としては実用出来ない。
以上説明したように、本考案によれば保護管内
に無機粉末を充填すると共にヘリウムを封入する
簡単な構成により、極低温領域において、応答特
性が良く、高精度で振動衝撃にも強い、優れた温
度計を容易に実現することができる。
に無機粉末を充填すると共にヘリウムを封入する
簡単な構成により、極低温領域において、応答特
性が良く、高精度で振動衝撃にも強い、優れた温
度計を容易に実現することができる。
第１図は極低温用温度センサの一例を示す構成
図、第２図は本考案温度計の一実施例を示す構成
図である。 TH：温度センサ、５：保護管、６：本体、
８：ハーメチツク端子、１０：無機粉末、１１：
ヘリウム。
図、第２図は本考案温度計の一実施例を示す構成
図である。 TH：温度センサ、５：保護管、６：本体、
８：ハーメチツク端子、１０：無機粉末、１１：
ヘリウム。
Claims (1)
- コバルト含有率が0.5mol％近傍の白金・コバル
ト合金よりなる抵抗線を硼硅酸ガラスの巻枠に巻
回し上記硼硅酸ガラスと同質ガラスでコーテイン
グした温度センサを収納した保護管内に、無機粉
末を充填すると共にヘリウムガスを封入したこと
を特徴とする極低温用温度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP218279U JPS6237145Y2 (ja) | 1979-01-12 | 1979-01-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP218279U JPS6237145Y2 (ja) | 1979-01-12 | 1979-01-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55103531U JPS55103531U (ja) | 1980-07-19 |
| JPS6237145Y2 true JPS6237145Y2 (ja) | 1987-09-22 |
Family
ID=28805019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP218279U Expired JPS6237145Y2 (ja) | 1979-01-12 | 1979-01-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237145Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996018871A1 (en) * | 1994-12-15 | 1996-06-20 | Anritsu Corporation | Temperature sensor system using thin film of microcrystalline semiconductor |
| JP5216947B1 (ja) * | 2012-10-19 | 2013-06-19 | 株式会社岡崎製作所 | 極低温用測温抵抗体素子 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60128319A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-09 | Netsushin:Kk | 測温抵抗体表面センサ |
| JP6150971B1 (ja) * | 2017-02-10 | 2017-06-21 | 株式会社岡崎製作所 | 測温抵抗体センサ及びその製作方法 |
-
1979
- 1979-01-12 JP JP218279U patent/JPS6237145Y2/ja not_active Expired
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996018871A1 (en) * | 1994-12-15 | 1996-06-20 | Anritsu Corporation | Temperature sensor system using thin film of microcrystalline semiconductor |
| JP5216947B1 (ja) * | 2012-10-19 | 2013-06-19 | 株式会社岡崎製作所 | 極低温用測温抵抗体素子 |
| WO2014061069A1 (ja) * | 2012-10-19 | 2014-04-24 | 株式会社岡崎製作所 | 極低温用測温抵抗体素子 |
| US9464947B2 (en) | 2012-10-19 | 2016-10-11 | Okazaki Manufacturing Company | Cryogenic temperature measuring resistor element |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55103531U (ja) | 1980-07-19 |
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