JPS6237253A - 搬送車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、本体を持上げる持上げ具を具え、走行方向の
転換を容易としかつ方向ｆ＋’ｊ度を向上しうる搬送車
に関する。

〔背景技術〕

近年、ワークの集配、取扱い等の作業に、無人搬送車、
知能ロポソ１−など（以下１殻送車という）が多用され
ている。

他方、半導体産業、バイオ産業、光学機′ａ産業などに
おいては、例えばＩＣ，ＬＳＩの製造工程である、シリ
コンウェハの加工、回路パターンの転写などに代表され
るごとく、極度に埃を嫌う作業が伴う、又このような作
業は、例えばクリーン度がクラスＯなどの超高クリーン
ルームで行われる。又該クリーンルームは、天井から吹
き下ろす清浄空気をすのこ状又網状などに形成した床板
を通して床下に排出する構造を有するとともに、効率よ
くクリーン度を高めるために、その室内は、狭小に形成
されるｉ従って、このような超高クリーンルーム内で、
前記搬送車を使用するときには、該搬送車は狭小なルー
ム内においても容易かつ精度よく方向転換でき又さらに
は縦横斜め等任意の方向に走行可能なことが望ましい。

しかし従来の搬送車は、いわゆる自動車のごとく、方向
転換に際して接地したままの状態で操舵輪を走行方向に
傾動するものであったため、搬送車の走行半径が比較的
大となり又位置車ｎ度にも劣る。又前記のごとく、床板
がすのこ状、網状をなすことにより操舵に際して抵抗が
増し、円滑な操舵が困難であるとともに方向精度が低下
する等の問題が生じていた。

〔発明の目的〕

本発明は、車体を持上げる持上げ具を具え、駆動具を走
行面から浮かした状態において走行方向に回転でき、前
記問題点を解決しろるとともに前記要請に適応しうる搬
送車の提（ハを目的としている。

〔発明の開示〕

以下本発明の一実施例を図面に基づき説明する。

図において搬送車１は、車体３に駆動車輪５と補助車輪
７とを有する駆動具９を水平面内で回転可能に取付ける
とともに、前記車体３に、該車体３を持上げ前記駆動具
９を走行面Ｆから浮かす持上げ具１１を設けており、又
本例では前記車体３にマニピュレータ１３を取付け、該
搬送車１は、作業用ロボッＩ−を形成する。又搬送車１
は、第１図に略示するごとく、超高クリーンルームＲ内
に配五され、本例では集積回路形成用のシリコンウェハ
のカセットからなるワークを、該ルームＲ内に設けた加
工装置Ａに集配するのに使用される。又ワークは、通路
Ｂに面して設けた受は渡し口Ｃにより、該通路Ｂを走行
する搬送口ボン）Ｄに受は渡しされる。なお該搬送口ボ
ッ）Ｄは、通路Ｂに描いたバーコードＥ・−をカメラで
識別し、該搬送ロボットＤに登載したバッテリーにより
自走する。

前記車体３は、本例では上板２１、中板２２、下板２３
を支柱２４・・・で連結した枠体２５の外面をカバー２
６で覆うとともに、下板２３の外周にスカーＩ・２７を
下役している。又車体３には、本例では前記下板２３を
延長してなる荷台２９が設・ けられる、又車体３にはマニピュレータ１３が取付けら
れる。

マニピュレータ１３は、本例では６軸垂直条間節型マニ
ピュレータからなり、アームの先端には、ワーク把持用
のハンドと小型のＣＯＤカメラからなる視覚装置３１と
が設けられている。又マニピュレータ１３は、台座３２
を前記中Ｍｉ２２に固定し、前記アームを上坂２１の中
央部に設けた透孔から突出している。

又前記車体３には駆動具９が取付けられる。

駆動具９は、基枠１５両側からのびる駆動軸１７．１７
に夫々取付けた前記駆動車輪５．５と、基枠１５から前
後に延びる支腕１９Ａ、１９Ｂを介して夫々可回転に支
持される補助車輪７．７を有する。

基枠１５は、本例では円筒体からなる、水平部３４の中
央に垂直部３５を立上げた逆Ｔ字状をなす。又水平部３
４内には、両端部に駆動軸１７．１７を突出したギヤー
ボックス３６が、前記駆動軸１７．１７を該水平部３４
の両側端から突出させて内装される。

駆動車輪５は、本例では、リム５Ａにベルト状のゴムな
どからなるタイヤ３７を嵌着し、前記駆動軸１７．１７
に固定される。

又前記垂直部３５内には、前記駆動車輪５駆動用の電動
機３９が取付けられるとともに、その出力軸は前記ギヤ
ーボックス３６に接続される。又電動機３９は、正逆転
でき、前記駆動車輪５を正逆両方向に回転できる。

又前記支腕１９Ａ、１９Ｂは、内端が水平部３４に固定
され該水平部３４と直角に夫々前後に延びるとともに、
各外端部には、該外端部に取付けた下向きコ字状の軸受
片５６により前記補助車輪７．７が回転自在に取付けら
れる。

又駆動具９は、車体３に取付けた受金具４１により基枠
１５を枢支される。

受金具４１は、主金具４２と下金具４３とを具える。主
金具４２は、前記垂直部３５の上端部を遊挿しうる筒状
の基体上端に上板４５と、基体下端に外向きのフランジ
４６とを具える。又上板４５には、下向きの段差を有す
る段付孔が穿設され、該段付孔には前記基枠１５上端に
突設した回転軸４７が挿通する。又下金具４３は、前記
主金具４２よりやや大径の基部下端に、前記垂直部３５
を挿通する孔を有する下板５０と基部上端に前記フラン
ジ４６下面に固定されるフランジ５１とを具える。又前
記回転軸４７を支持する軸受５２が、前記段付孔４９の
段差と該回転軸４７下端部に膨設した膨出部の段差との
間に配される。又垂直部３５には、その全周に亘り水平
に張出す張出し片５３が設けられ、該張出し片５３の上
下面を支持する軸受５４．５４が、前記フランジ４６と
該張出し片５３との間及び該張出し片５３と下板５０と
の間に配される。なお受金具４１は、下板２３に設けた
透孔に止金具４２を挿通し、そのフランジ４６を咳下板
２３下面にボルト止めすることによって車体３に固定さ
れる。

従って受金具４１は、基枠１５を水平面内で回転可能に
枢支することにより、駆動具９を車体３に取付ける。又
駆動具９は、前記スカー１−２７により覆われ、駆動車
輪５、補助車輪７の下端部のみが該スカート２７下端か
らやや突出する。

又駆動具９は、基枠１５を回転する回転具６１が付設さ
れる。

回転具６１は、前記基枠１５の回転軸４７に固定した大
歯車６２と、該大歯車６２に噛合しかつ枠体２５に取付
けた減速電動機６３の出力軸に固定された小歯車６４と
からなる。従って回転具６１は、減速電動機６３の正逆
転により、基枠１５を車体３に対して相対的に左右両方
向に回転できる。

又前記車体３には、該車体３を持上げ、前記駆動具９を
走行面Ｆから浮かす持上げ具１１が設けられる。

持上げ具１１は、本例では、複数の伸縮具６６−・と該
伸縮具６６−・−を斉一して作動する作動具６７とを具
える。

伸縮具６６は、第４〜５図に示すごと（、例えば前記下
坂２３の下面にフランジ止めされることにより、咳下仮
２３から垂下する基ｗＪ７１の下端にロフト７２を具え
かつ該ロッド７２の下端に走行面Ｆと当接しうる当片７
３を設けている。基筒７１は、円筒状をなしその上端に
は上板とフランジとを具え、該フランジを前記のごとく
下板２３下面にボルト止めする。又ロッド７２は、筒状
をなし、前記基１’ｉ？ｉ７１下端に蛯着したリング金
具７５を遊挿し該基筒７１に挿入される。又ロッド７２
は、その上端にナツト具７６が固着され、前記リング金
具７５、ロッド７２及びナツト具７６、基筒７１が摺接
することによって、該ロッド７２は該基筒７１と同心に
上下動自在に支持される。

又ロッド７２の外面には、廻り止め用の係止片７７を係
止する溝部７９が設けられる。又ロッド７２下端には円
板状の当て片７３を固着し、又当て片７３の下面には滑
り止め材を貼着する。

又前記ナツト具７６には、基筒７１の上端部に取付けた
軸受により垂直に可回転に枢支されたネジ軸９０が螺合
し、該ネジ軸９０の正逆転によりロフト７２は上下動で
きる。又ネジ軸９０は、上端部が下坂２３に設けた透孔
を挿ｊｍシて咳下板２３の上面から突出する。

なお伸縮具６６・−・は、本例では、下坂２３の各コー
ナ部に４ケ所、駆動具９を避けた位置に配される。

前記作動具６７は、前記伸縮具６６・・・の各ネジ軸９
０の上端に取付けたスプロケ・ノドホイル９１・・−と
、減速電動機９２の出力軸に取付けたスプロケットホイ
ル９３と、本例ではタイミングベルトからなる前記ホイ
ル９１・−１９３を連結する無端連紐９４とからなる。

従って減速電動機９２の正逆転により、各伸縮具６６の
ネジ軸９０を斉一して回転でき、従って各伸縮具６６・
−を斉一して伸縮できる。又減速電動機９２を正回転し
伸長することにより当て片７３が走行面Ｆに当接し、車
体３を水平に持上げ、駆動具９を走行面Ｆから浮かすこ
とができる。

又搬送車１は、本例では、前記のごとく超高クリーンル
ームＲに配置される。超高クリーンルームＲは、局囲を
側壁Ｗで取り囲むとともに、通気自在な網状の床ＦｉＥ
により床が形成されている。

従って前記走行面Ｆは、本例では床Ｅの上面である。

又天井４も床板Ｅと同様に、通気自在な網状をなす天井
板Ｇによって形成される。

又天井４の天井裏空間には、空気清浄機から送出される
清浄空気を吐出する吐出口Ｈ−を具えるダク）Ｉが配管
される。又床板Ｅ下方の床下空間には、前記吐出口Ｈか
ら吐出される清浄空気を空気清浄機に戻すダクＩ−Ｊが
開口する。従って超高クリーンルームＲ内では、天井４
から清浄空気が吹き下ろす。

又超高クリーンルームＲ内には、その長手方向両側に前
記のごとく、ワークを加工する加工装置Ａ・−・が並置
される。又通路Ｂに面する側壁Ｗには５ｉ１Ｋにより開
閉可能な出入口が設けられる。又前記ｉＫにはワーク受
は渡し用の小開口面積の受は渡し口Ｃを設けている。な
お受は渡し口Ｃには、開閉自在な覆体が設けられる。

又前記天井４には、搬送車１に電源を供給する搬送車給
電装置２が取付けられる。

搬送車給電装置２は、天井４に取付く軸受６を介して垂
直に可回転に枢支される基部１０下端に突出部１２を設
けた管状のガイドアーム１４を具えかつ該ガイドアーム
１４の内部を通る電気コード１６を搬送車１に接続する
。

軸受６は、本例では、角フランジ型深溝玉軸受ユニット
が用いられ、該軸受６．６は、前記天井板Ｇに退役した
透孔１０１を挟んで、該天井板Ｇの上下に向き合わせて
配される。父上下の軸受６．６はその各フランジ１０３
．１０３を前記天井板Ｇを挿通するボルト１０４・−・
を用いて共線めすることにより天井４に取付ける。

ガイドアーム１４は、本例では金属管の折曲げ体であり
、前記軸受６．６に枢支される基部１０下端に該基部１
０と直角に折曲がる突出部１２を設けた略り字状をなす
。

基部１０は、前記軸受６．６の各内輪１０６．１０６の
突出部に設けた固定ネジ１０７−により該内輪１０６社
固定される。又基部１０の上端には、外ネジｍ目０９が
設けられ、核外ネジ部１０９に螺着したナツト１１０に
より上の軸受６の内輪１０６上端を係止する。又外ネジ
部１０９は、ナツト１１０から突出する。

前記突出部１２は、基部１０下端から緩やかな円弧部１
１３を介して天井４に沿い折曲がり、本例では水平に比
較的長く延びる。

又ガイドアーム１４には突出部１２先端部に可撓管２０
が設けられる。

可撓管２０は、本例ではコイルバネからなり、その内端
部に前記突出部１２を挿入し該突出部１２に固定される
。又可撓管２０は、その内情部を突出部１２の内孔に挿
入させて取付けることもできる。なお可撓管２０は、コ
イルバネの他、ゴム管、又ビニール管等の合成樹脂管等
を用いることもできる。

なお前記基部１０の上端には、合成樹脂性のカラー１１
１が外ネジ部１０９に螺着されている。

又ガイドアーム１４の内部には、電気コード１６を挿通
し、一端が前記カラー１１１を通って引き出されるとと
もに、他端はガイドアーム１４の先端から可撓管２０内
を通って引き出され、搬送車１に接続される。又電気コ
」ド１６の、可撓管２０と搬送車１との間には、コイル
状のカール部１１６が設けられており、搬送車１の移動
に伴い伸縮する。

なお本例では搬送車１にも前記搬送車給電装置２と略同
構成の受電装置１２０が取付けられている。なお受電装
置１２０は、車体３に取付く軸受６Ａと該軸受６Ａによ
り垂直に枢支されるガイドアーム１４Ａとを具える。又
ガイドアーム１４は、マニピュレータ１３を超えて立上
がる基部１０Ａ上端に突出部１２Ａ−ｔ−設けており又
該突出部１２Ａの先端には可撓管２０Ａを取付けている
。又前記電気コード１６の下端は、可撓管２０Ａ１ガイ
ドアーム１４Ａ内を通り車体３の制御部Ｓに接続される
。なお制御部Ｓには、前記電動機３９．６３．９２及び
マニピユレータ１３、視覚装置３１等が接続される。

〔作用〕

従って搬送車１は、第８図に略示するごとく、補助車輪
７．７を前後に位置させた、駆動具９の基準状態で電動
機３９を正逆転することにより前進又は後退できる。

又搬送車１が方向転換するさいには、伸縮具６６を伸長
し第９図に示すごとく、車体３を持上げ、駆動車輪５及
び補助車輪７を走行面Ｆから浮かす。

次に駆動具９を減速電動機６３の正逆転により、第１０
〜１２図に略示するごとく希望する走行方向に回転する
。

又このとき回転具６１は、駆動具９を低トルクで容易に
回転でき、回転精度を向上できる。

次に前記伸縮具６６を縮小することにより駆動具９を走
行面Ｆに接地し、電動機３９を回転することにより任意
の方向に走行できる。

なお前記方向転換に際し、車体３の向きは一定方向に保
持できる。

又搬送車１は、駆動具９を走行面Ｆに接地したままの状
態で回転具６１を作動させることにより、車体３の向き
を変更することもできる。

又マニピュレータ１３は、視覚装置３１によりワークを
ｓ認しつつワークの把持、移載などの作業を行うことが
できる。

又搬送車１は、超高クリーンルームＲ内では第１図、第
１３図に示すごと（、通り方向の中心を走行し目的の加
工装置Ａの前方に停止したのち横行により該加工装置Ａ
に接近し作業を行う。

このとき搬送車給電装置２は、ガイドアーム１４が搬送
車１の走行に追随して回転でき、搬送車１とガイドアー
ム１４の先端との間の実質的な電気コード１６の長さを
短線でき、該電気コード１６の垂れ下がり、引きずりな
どを防止できる。

又ガイドアーム１４は、天井４に取付けたことにより、
搬送車１の移動範囲が制限されることを防ぐ。

又可撓管２１は、ガイドアームエイ先端での電気コード
１６の急角度での折曲がりを防止でき断線等を防止でき
る。

又受電装置１２０は、前記電気コード１６とマニピュレ
ータ１３のアームとの接触を防ぐ。

なお本発明の搬送車１において、駆動具９の回転角度は
、電動機３９への電源供給を配線を用いて行うときには
、一定角度に制限するのがよく又電源供給をブラシ等を
用いて行う場合には、全角度を回転可能とすることもで
きる。又持上げ具１１は、伸縮具６６として、油圧シリ
ンダ等の各種シリンダを用いることもでき、又交叉リン
ク等の各種伸縮機構等を用いることもできる。又作動具
６７の減速電動機９２は、ネジ軸９２に直結するごとく
、各伸縮具６６・−に夫々取付けることもできる。

〔発明の効果〕

叙上の如く本発明の搬送車は、駆動車輪と補助車輪とを
有する駆動具を車体に回転可能に取付けるとともに、前
記車体に、該車体を持上げ駆動具を走行面から浮かす持
上げ具を設けたものであるため、車体を持上げることに
より走行面の状態にかかわらず、駆動具を容易かつ円滑
に回動でき、例えばクリーンルームなど狭小な室内にお
いても方向転換を容易とでき、又方向精度を高めるとと
もに、前進、後退の他真横又斜めにも走行でき、作業能
率を向上する等の多くの効果を奏しうる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例をその使用状態とともに略示
する平面図、第２図はその側面図、第３図はその断面図
、第４図はその要部を示す斜視図、第５図は搬送車の持
上げ具をその作用とともに示す断面図、第６図はクリー
ンルームを屹示する断面図、第７図は搬送車給電装置を
拡大して示す斜視図、第８〜１２図は夫々搬送車の作用
を示す線図、第１３図は搬送車給電装置の作用を示す線
図である。 ３・−・車体、５−駆動車輪、７・−補助車輪、９−駆
動具、１１−・−持上げ具、１５−基枠、１７−駆動軸
、１９Ａ、１９Ｂ−支腕、Ｆ−ｍ−走行面。 特許出廓人　　ダックエンジニアリング株式会社代理人
弁理士　苗　　　　　村　　　　　　　正第３図 第５− 第６図 第ＢＷＡ　　　　　　　第９図 ｊ　　〜 第７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）基枠両側からのびる駆動軸に夫々取付けた駆動車
   輪と前記基枠から前後にのびる支腕を介して夫々可回転
   に支持される補助車輪とを有する駆動具を、前記基枠を
   車体に水平面内で回転可能に枢支することにより該車体
   に取付けるとともに、前記車体に、該車体を持上げ駆動
   具を走行面から浮かす持上げ具を設けてなる搬送車。