JPS6237012A - 搬送車給電装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、天井に沿い可回転に取付くガイドアームの内
部を通る電気コードを搬送車に接続し、搬送車の走行を
円滑としうる搬送車給電装置に関する。

〔背景技術〕

近年、ワークの集配、取扱い等の作業に、バッテリーを
積載し自走する無人搬送車、知能ロボ・ノドなど（以下
バッテリ一式搬送車という）が多用されている。

他方、半導体産業、バイオ産業、光学機器産業などにお
いては、例えばＩＣ，ＬＳＩの製造工程である、シリコ
ンウェハの加工、回路パターンの転写などに代表される
ごとく、極度に埃を嫌う作業が伴う。又このような作業
は、例えばクリーン度がクラス０などの超高クリーンル
ームで行われる。又該クリーンルームは、天井から吹き
下ろす清浄空気をすのこ状又網状などに形成した床板を
通して床下に排出する構造を有するとともに、効率よく
クリーン度を高めるために、その室内は、狭小に形成さ
れる。

従ってこのような超高クリーンルーム内で、前記バッテ
リ一式搬送車を使用するときには、バッテリーの充電設
備をルーム内に設けるか、又は充電のために該バッテリ
一式搬送車自体をルーム外に取出す必要がある。しかし
充電設備をルーム内に設けるときには、該ルームの稼働
率が低下し、生産性に劣るとともに、ルームが大となり
、クリーン度を高めるための設備が不経済となる。又バ
ッテリ一式走行車を取出すときには、交替用の搬送車又
はバッテリーの交換作業を要し、経済性又は作業能率に
劣るとともに、該クリーンルームを開放することにより
クリーン度が低下するという大きな問題点がある。

従って、このような比較的狭く移動範囲が限定された条
件下では、電源を外部に求める有線式の搬送車が好適で
あり、該搬送車の移動、作業を妨げることなくかつ確実
に電源を供給しうる給電装置が要請されていた。

〔発明の目的） 本発明は、電気コードが内部を通るガイドアームを天井
に可回転に取付けることを基本とし、前記要請に適合し
うる搬送車給電装置の提供の目的としている。

〔発明の開示〕

以下本発明の一実施例を図面に基づき説明する。

図において搬送車給電装２２は、天井４に取付く軸受６
を介して垂直に可回転に枢支される基部１０下端に突出
部１２を設けた管状のガイドアーム１４を具え、かつ酸
ガイドアーム１４の内部を通る電気コード１６を搬送車
１に接続するとともに、前記ガイドアーム１４に、その
先端から延びる前記電気コード１６に外挿する可撓管２
０を設けている。なお本例では、前記搬送車１は、車体
３に駆動具９と該車体３を持上げる持上げ具１１とマニ
ピュレータ１３とを具え、作業川口ボットを形成してい
る。

又搬送車１は、超高クリーンルームＲ内に配置され、本
例では集積回路形成用のシリコンウェハのカセフトから
なるワークを、該ルームＲ内に設けた加工装ＨＡに集配
するのに使用される。又ワークは、通路Ｂに面して設け
た受は渡し口Ｃにより、該通路Ｂを走行する搬送ロポッ
Ｉ−Ｄに受は渡しされる。なお該搬送ロポソｌ−Ｄは、
通路Ｂに描いたバーコードＥ−をカメラで識別し、該搬
送ロボットＤに登載したバッテリーにより自走する。

前記車体３は、本例では上４Ｐｉ２１、中板２２、下ｆ
！２３を支柱２４−で連結した枠体２５の外面。

をカバー２６で覆うとともに、下坂２３の外周にスカー
Ｉ・２７を下段している。又車体３には、本例では前記
下板２３を延長してなる荷台２９が設けられる。又車体
３にはマニピュレータ１３が取付けられる。

マニピュレータ１３は、本例では６軸垂直多聞節型マニ
ピュレータからなり、アームの先端には、ワーク把持用
のハンドと小型のＣＯＤカメラからなる視覚装置３１と
が設けられている。又マニピュレータ１３は、台座３２
を前記中板２２に固定し、前記アームを上板２１の中央
部に設けた透孔から突出している。

又前記車体３には駆動具９が取付けられる。

駆動具９は、基枠１５両側からのびる駆動軸１７．１７
に夫々取付けた前記駆動車輪５．５と、基枠１５から前
後に延びる支腕１９Δ、１９Ｂを介して夫々可回転に支
持される補助車輪７．７を有する。

基枠１５は、本例では円筒体からなる、水平部３４の中
央に垂直部３５を立上げた逆Ｔ字状をなす。又水平部３
４内には、両端部に駆動軸１７．１７を突出したギヤー
ボックス３６が、前記駆動軸１７．１７を該水平部３４
の両側端から突出させて内装される。

駆動車輪５は、本例では、リム５Ａにベルト状のゴムか
らなるタイヤ３７をｆｉｌし、前記駆動軸１７．１７に
固定される。

又前記垂直部３５内には、前記駆動車輪５駆動用の電動
機３９が取付けられるとともに、その出力軸は前記ギヤ
ーボックス３６に接続される。又電動機３９は、正逆転
でき、前記駆動車輪５を正逆両方向に回転できる。

又前記支腕１９Ａ、１９１３は、本例では前記水平部３
４から該水平部３４と直角に夫々前後に延びるとともに
、各先端部には、該先端部に取付けた下向き口字状の軸
受片５６により前記補助車輪７．７が回転自在に取付け
られる。

又駆動具９は、車体３に１１　（寸けた受金具４１によ
り基枠１５を枢支される。

受金具４１は、下金具４２と下金具４３とを具える。下
金具４２は、前記垂直部３５の上端部を遊挿しうる筒状
の基体上端に上板４５と、基体下端に外向きのフランジ
４６とを具える。父上板４５には、下向きの段差を有す
る段付孔が穿設され、該段付孔には前記基枠１５上端に
突設した回転軸４７が挿通する。又下金具４３は、前記
下金具４２よりやや大径の基部下端に、垂直部３５を挿
通する大径孔を有する下坂５０と基部上端に前記フラン
ジ４６下面に固定されるフランジ５１とを具える。又前
記回転軸４７を支持する軸受５２が、前記段付孔４９の
段差と該回転軸４７下端部に膨設した膨出部の段差との
間に配される。又垂直部３５には、その全周に亘り水平
に張出す張出し片５３が設けられ、該張出し片５３の上
下面を支持する軸受５４．５４が、前記フランジ４６と
該張出し片５３との間及び該張出し片５３と下板５０と
の間に配される。なお受金具４１は、下板２３に設けた
透孔に下金具４２を挿通し、そのフランジ４６を咳下板
２３下面にボルト止めすることによって車体３に固定さ
れる。

従って受金具４１は、基枠１５を水平面内で回転可能に
枢支することにより、駆動具９を車体３に取付ける。又
駆動具９は、前記スカート２７にｊ−り覆われ、駆動車
輪５、補助車輪７の下端部のみが該スカート２７下端か
らやや突出する。

又駆動具９は、基枠１５を回転する回転具６１が付設さ
れる。

回転具６１は、前記基枠１５の回転軸４７に固定した大
歯車６２と、該大歯車６２に噛合しかつ枠体２５に取付
けた減速電動機６３の出力軸に固定された小山車６４と
からなる。従って回転具６１は、減速電動機６３の正逆
転により、基枠１５を車体３に対して相対的に左右両方
向に回転できる。

又前記車体３には、該車体３を持上げ、前記駆動具９を
走行面Ｆから浮かす持上げ具１１が設けられる。

持上げ具１１は、本例では、複数の伸縮具６６−・−と
該伸縮具６６−・−を斉一して作動する作動具６７とを
具える。

伸縮具６６は、第４〜５図に示すごとく、例えば前記下
坂２３の下面にフランジ止めされることにより、該下板
２３から垂下する基筒７１の下端にロッド７２を具えか
つ該ロッド７２の下端に走行面Ｆと当接しうる当片７３
を設けている。基筒７１は、円筒状をなしその上端には
上板とフランジとを具え、該フランジを前記のごとく下
板２３下面にボルト止めする。又ロッド７２は、筒状を
なし、前記基筒７１下端にａ！着したリング金具７５を
遊挿し咳基筒７１に挿入される。又ロンドア２は、その
上端にナツト具７６が固着され、前記リング金具７５、
ロッド７２及びナツト具７６、基筒７１が摺接すること
によって、該ロッド７２は該基筒７１と同心に上下動自
在に支持される。

又ロッド７２の外面には、廻り止め用の係止片７７を係
止する溝部７９が設けられる。又ロッド７２下端には円
板状の当て片７３を固着し又当て片７３の下面には滑り
止め材を貼着する。

又前記ナツト具７６には、基筒７１の上端部に取付けた
軸受により垂直に可回転に枢支されたネジ軸９０が螺合
し、該ネジ軸９０の正逆転によりロッド７２は上下動で
きる。又ネジ軸９０は、上端部が下板２３に設けた透孔
を挿通して該下板２３の上面から突出する。

なお伸縮具６６−・は、本例では、下板２３の各コーナ
邪に４ケ所、駆動具９を避けた位置に配される。

前記作動具６７は、前記伸縮具６６−の各ネジ軸９０の
上端に取付けたスプロケットホイル９１・−と、減速電
動機９２の出力軸に取付けたスプロケットホイル９３と
、本例ではタイミングベルトからなる前記ホイル９１・
−１９３を連結する無端連紐９４とからなる。

従って減速電動機９２の正逆転により、各伸縮具６６の
ネジ軸９０を斉一して回転でき、従って各伸縮具６６−
・を斉一して伸縮できる。又減速電動機９２を正回転し
伸長することにより当て片７３が走行面Ｆに当接し、車
体３を水平に持上げ、駆動具９を走行面Ｆから浮かすこ
とができる。

又搬送車ｌは、本例では、前記のごとく超高クリーンル
ームＲに配置される。超高クリーンルームＲは、周囲を
側壁Ｗで取り囲むとともに、通気自在な網状の床板Ｅに
より床が形成されている。

従って前記走行面Ｆは、本例では床板Ｅの上面で・ある
。

前記天井４も床板Ｅと同様の、通気自在な網状をなす天
井板Ｇによって形成される。又天井４の天井裏空間には
、空気清浄機から送出される清浄空気を吐出する吐出口
Ｈ・−を具えるダク）Ｉが配管される。又床板Ｅ下方の
床下空間には、前記吐出口Ｈから吐出される清浄空気を
空気清浄機に戻すダクｌ−Ｊが開口する。従って超高ク
リーンルームＲ内では、天井Ｅから清浄空気が吹き下ろ
す。

又超高クリーンルームＲ内には、その長手方向両側に前
記のごとく、ワークを加工する加工装置Ａ・−が並置さ
れる。又通路Ｂに面する側壁ＷにはＲＫにより開閉可能
な出入口が設けられる。又前記ＦｆｉＫにはワーク受は
渡し用の小開口面積の受は渡し口Ｃを投げている。なお
受は渡し口Ｃには、開閉自在な１体が設けられる。

又前記天井４には、軸受６が取付けられる。

軸受６は、本例では、角フランジ型深溝玉軸受ユニット
が用いられ、咳軸受６．６は、前記天井板Ｇに透設した
透孔１０１を挟んで、該天井板Ｇの上下に向き合わせて
配される。又上下の軸受６．６はその各フランジ１０３
．１０３を前記天井板Ｇを挿通ずるポル）　１０４−・
を用いて共線めすることにより天井４に取付ける。

ガイドアーム１４は、本例では金属管の折曲げ体であり
、前記軸受６．６に枢支される基部１０下端に該基部１
０と直角に折曲がる突出部１２を設けた略し字状をなす
。

基部ｌＯは、前記軸受６．６の各内輪１０６．１０６の
突出部に設けた固定ネジ１０７−・により該内輪１０６
に固定される。又基部１０の上端には、外ネジ部１０９
が設けられ、核外ネジ部１０９に螺着したナラ）ＩＩＱ
により上の軸受６の内輪１０６上端を係止する。又外ネ
ジ部１０９は、ナツト１１０から突出する。

前記突出部１２は、基部１０下端から緩やかな円弧部１
１３を介して天井４に沿い折曲がり、本例では水平に比
較的長く延びる。従って突出部１２は、本例では天井４
に平行に沿い延びる。

又ガイドアーム１４には突出部１２先端部に可撓管２０
が設けられる。

可撓管２０は、本例ではコイルバネからなり、その内端
部に前記突出部１２を挿入し該突出部１２に固定される
。又基部１０の上端には、合成樹脂性のカラー１１１が
外ネジ部１０９に螺着されている。

又ガイドアーム１４の内部には、電気コード１６を挿通
し、一端が前記カラー１１１を通って引き出されるとと
もに、他端はガイドアーム１４の先端から可撓管２０内
を通って引き出され、搬送車１に接続される。従って前
記可撓管２０は該電気コード１６に刺挿する。又電気コ
ード１６の、可撓管２０と搬送車１との間には、コイル
状のカール部１１６が設けられており、搬送車１の移動
に伴い伸縮する。又電気コード１６の前記一端は、ねじ
れを吸収するターン部１１５を介して電源ラインに接続
される。

なお本例では搬送車１にも前記搬送車給電装置２と略同
構成の受電装置１２０が取付けられている。なお受電装
置１２０は、車体３に取付く軸受６Ａと該軸受６Ａによ
り垂直に枢支されるガイドアーム１４Ａとを具える。又
ガイドアーム１４は、マニピュレータ１３を超えて立上
がる基部１０Ａ上端に突出部１２Ａを設けており又該突
出部１２Ａの先端には可撓管２ＯＡを取付けている。又
前記電気コード１６の下端は、可撓管２０Ａ、ガイドア
ーム１４Ａ内を通り車体３０制御部Ｓに！Ｄ続される。

なお制御部Ｓには、前記電動機３９．６３．９２及びマ
ニピュレータ１３、視覚装置３１・等が接続される。

〔作用〕

従って搬送車１は、第８図に略示するごとく、補助車輪
７．７を前後に位置させた、駆動具９の基準状態で電動
機３９を正逆転することにより前進又は後退できる。

又搬送車１が方向転換するさいには、伸縮具６６を伸長
し第９図に示すごとく、車体３を持上げ、駆動車輪５及
び補助車輪７を走行面Ｆから浮かす。

次に駆動具９を減速電動ｖ！Ａ６３の正逆転により、第
１０〜１２図に略示するごとく希望する走行方、向に回
転する。

次に前記伸縮具６６を縮小することにより駆動具９を走
行面Ｆに接地し、電動機３９を回転することにより任意
の方向に走行できる。

又搬送車１は、駆動具９を走行面Ｆに接地したままの状
態で回転具６１を作動させることにより、車体３の向き
を変更することもできる。

又マニピュレータ１３は、視覚装置３１によりワークを
確認しワークの把持、移載などの作業を行うことができ
る。

又搬送車１は、超高クリーンルームＲ内では第１図、第
１３図に示すごとく、通り方向の中心を走行し目的の加
工装置Ａの前方に停止したのち横行により該加工装置Ａ
に接近し作業を行う。

このときガイドアーム１４は、搬送車１の走行に追随し
て回転でき、搬送車１とガイドアーム１４の先端との間
の実質的な電気コード１６の長さを短縮でき、該電気コ
ード１６の垂れ下がり、引きずりなどを防止°できる。

又ガイドアーム１４は、天井４に取付けたことにより、
搬送車１の移動範囲が制限されることを防ぐ。

又可撓管２１は、ガイドアーム１４先端での電気コード
１６の急角度での折曲がりを防止でき断線等を防止する
ことができる。

又受電装Ｒ１２０は、前記電気コード１６とマニピュレ
ータ１３のアームとの接触を防ぐ。

なお本発明の搬送車給電装置２において、軸受６は、天
井板Ｇの上又は下の一方にのみ配着することもできる。

又ガイドアーム１４は、金属管の偽例えば合成樹脂管な
どを用いることができる。

又可撓管２０は、その内端部を突出部１２の内孔に挿入
させて取付けることもできる。さらに可撓管２０は、コ
イルバネの他、ゴム管、又ビニール管等の合成樹脂等を
用いることもでき又ガイドアーム１４と一体に形成する
こともできる。又該給電装Ｒ２は、電気コード１６と電
源ラインとを、ガイドアーム１４が自由回転可能に接続
する、ブラシ装置等を付設することもできる。又ガイド
アーム１４の基部１０又突出部１２の長さ寸度は任意に
設定でき又突出部１２の角度も水平の他上下に適宜角度
で傾斜させることもでき本発明の搬送車給電装置２は種
々な態様のものに変形しうる。

〔発明の効果〕

鉄玉の如く本発明の搬送車給電装置は、天井に取付く軸
受を介して垂直に可回転に枢支される基部下端に前記天
井に沿い折曲がる突出部を設けたガイドアームを具える
とともに、前記ガイドアームに、その先端からのびる電
気コードに外挿する可撓管を設けたものであるため、搬
送車の移動に追随してガイドアームが回転し、該ガイド
アーム先端と搬送車との間の距離を短縮する結果、電気
コードの長さを短縮でき、該電気コードの引きずり等を
防止しうるとともに、搬送車の移動を円滑としうる。又
可撓管が、電気コードの断線を防ぎ搬送車の稼働率を高
める等多くの効果を奏しうる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を略示する平面図、第２図は
その搬送車を示す側面図、第３図はその断面図、第４図
はその要部を示す斜視図、第５図は搬送車の持上げ具を
その作用とともに示す断面図、第６図はクリーンルーム
と搬送車給電装置の取付状態とを略示する断面図、第７
図はその斜視図、第８〜１２図は夫々搬送車の作用を示
す線図、第１３図は搬送車給電装置の作用を示す線図で
ある。 １−搬送車、４−・−天井、６・−軸受、１０・・−基
部、１２−・−突出部、 １４−・ガイドアーム、１６−電気コード、２０・−・
可撓管。 特許出扉人　　ダンクエンジニアリング株式会社代理人
弁理士　苗　　　　　村　　　　　　　正第５図 第５Ｉｌ 第Ｂｓ　　　　　　　　第９ｍ ・、　　へ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 天井に取付く軸受を介して垂直に可回転に枢支される基
   部下端に天井に沿い折曲がる突出部を設けた管状のガイ
   ドアームを具えかつガイドアームの内部を通る電気コー
   ドを搬送車に接続するとともに、前記ガイドアームに、
   その先端からのびる前記電気コードに外挿する可撓管を
   設けてなる搬送車給電装置。