JPS6237366A - 抵抗加熱真空蒸着装置 - Google Patents
抵抗加熱真空蒸着装置Info
- Publication number
- JPS6237366A JPS6237366A JP17580585A JP17580585A JPS6237366A JP S6237366 A JPS6237366 A JP S6237366A JP 17580585 A JP17580585 A JP 17580585A JP 17580585 A JP17580585 A JP 17580585A JP S6237366 A JPS6237366 A JP S6237366A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- cover
- holes
- evaporation
- heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は抵抗加熱真空蒸着装置に係り、特に均一な膜厚
の蒸着膜を形成するだめの構造に関する。
の蒸着膜を形成するだめの構造に関する。
蒸着膜厚を均一にする方法として、自公転治具あるいは
回転体に周速度に比例した窓をあける方法が知られてい
るが（特公昭５３−３１８２９号公報及び特公昭５５−
２７６２４号公報）、これらはいずれも被蒸着物側に制
御機能をもたせたものである。本発明は蒸発物側を対象
とする。
回転体に周速度に比例した窓をあける方法が知られてい
るが（特公昭５３−３１８２９号公報及び特公昭５５−
２７６２４号公報）、これらはいずれも被蒸着物側に制
御機能をもたせたものである。本発明は蒸発物側を対象
とする。
従来、抵抗加熱真空蒸着装置として、例えば第１図、第
２図に示すものが知られている。蒸発物１を入れたボー
ト２はボート加熱用電極３に取付けねじ４で固定されて
おり、ボート加熱用電極３に通電して抵抗加熱すること
により、蒸発物ｌはボート２の蒸発穴２ａから被蒸着物
に向って蒸発する。この際、ボート２の蒸発穴２ａと被
蒸着物の相対位置関係がずれていると、被蒸着物の蒸着
膜厚ばらつきに直接影響する。
２図に示すものが知られている。蒸発物１を入れたボー
ト２はボート加熱用電極３に取付けねじ４で固定されて
おり、ボート加熱用電極３に通電して抵抗加熱すること
により、蒸発物ｌはボート２の蒸発穴２ａから被蒸着物
に向って蒸発する。この際、ボート２の蒸発穴２ａと被
蒸着物の相対位置関係がずれていると、被蒸着物の蒸着
膜厚ばらつきに直接影響する。
そこで、蒸着膜厚のばらつきをなくするには、ボート２
に位置決め穴を形成し、この位置決め穴に位置ピンを挿
入してボート２の位置決めをし、ボート２をボート加熱
用電極３に固定すれば良い。
に位置決め穴を形成し、この位置決め穴に位置ピンを挿
入してボート２の位置決めをし、ボート２をボート加熱
用電極３に固定すれば良い。
しかし、＆−）２は抵抗加熱のための電気抵抗が必要で
あり、かつ蒸発物１の充填量で容積が決まるため、ｙＮ
−ト２の板厚は０．１ ｍｍ程度が普通であり、位置決
めピン等の使用は位置決め穴を変形させ得策でない。
あり、かつ蒸発物１の充填量で容積が決まるため、ｙＮ
−ト２の板厚は０．１ ｍｍ程度が普通であり、位置決
めピン等の使用は位置決め穴を変形させ得策でない。
本発明の目的は、ボートの蒸発穴の位１ｒｆｆｉずれに
関係なく均一な蒸着膜を得ることができる抵抗加熱真空
蒸着装置を提供することにある。
関係なく均一な蒸着膜を得ることができる抵抗加熱真空
蒸着装置を提供することにある。
本発明の一実施例によれば、ボートの蒸着穴に対向する
部分に蒸発穴を有するカバーをボートに近妥して位置決
めし、このカバーをカッマー加熱用電極で抵抗加熱する
。
部分に蒸発穴を有するカバーをボートに近妥して位置決
めし、このカバーをカッマー加熱用電極で抵抗加熱する
。
以下、本発明の一実施例を第３図乃至第５図により説明
する。なお、第１図、第２図と同じまたは相当部材には
同一符号を付し、その説明を省略する。ボート２の蒸発
穴２ａは所定寸法より太きく形成されている。このボー
ト２に近接して力／ζ−５が配設されておシ、カバー５
にはボート２の蒸発穴２ａに対向する部分に蒸発穴５ａ
が形成されている。この蒸発穴５ａはボート２の蒸発穴
２ａより小さい所定寸法に形成されている。カッ々−５
の一端はカッζ−加熱用電極６にピ／７で位置決めされ
、取付けねじ８で固定されている。カバー５の他端はス
ライドできるように長溝５ｂが形成され、との長溝５ｂ
にビン９が挿入されて位置決めされ、スライド用接続具
１０を介してカバー加熱用電極１１に取付けねじ１２で
固定されている。
する。なお、第１図、第２図と同じまたは相当部材には
同一符号を付し、その説明を省略する。ボート２の蒸発
穴２ａは所定寸法より太きく形成されている。このボー
ト２に近接して力／ζ−５が配設されておシ、カバー５
にはボート２の蒸発穴２ａに対向する部分に蒸発穴５ａ
が形成されている。この蒸発穴５ａはボート２の蒸発穴
２ａより小さい所定寸法に形成されている。カッ々−５
の一端はカッζ−加熱用電極６にピ／７で位置決めされ
、取付けねじ８で固定されている。カバー５の他端はス
ライドできるように長溝５ｂが形成され、との長溝５ｂ
にビン９が挿入されて位置決めされ、スライド用接続具
１０を介してカバー加熱用電極１１に取付けねじ１２で
固定されている。
このように、ｙｆ？−）２の蒸発穴２ａに近接して所定
寸法の蒸発穴５ａ′ｆ！ｒ：有するカバー５を配置して
なるので、ｙＲ−）２の取付の際に位１σずれがあって
も、蒸発物１の蒸発方向１３はカバー５の蒸発穴５ａで
決まり、被蒸着物の膜厚ばらつきを小さくできる。また
カバー５は形状を任意の形状にできるので、部分的に厚
肉にするなどで強度を増すことができ、板厚の制約をな
くすることができる。またカバー５をカバー加熱用電極
６．１１で抵抗加熱するので、カッ々−５の温度は一定
温度に高くすることができ、蒸発物１がカバー５の蒸発
穴５ａを通過する際に蒸発穴５ａ周辺に多量に蒸着する
のを防止することができる。更に実施例のようにカバー
５の一端をスライドできる構造とすることにより、加熱
時の熱膨張によるカバー５の変形は防止でき、カバー５
の蒸発穴５ａの位置再現性を精度良くできる。
寸法の蒸発穴５ａ′ｆ！ｒ：有するカバー５を配置して
なるので、ｙＲ−）２の取付の際に位１σずれがあって
も、蒸発物１の蒸発方向１３はカバー５の蒸発穴５ａで
決まり、被蒸着物の膜厚ばらつきを小さくできる。また
カバー５は形状を任意の形状にできるので、部分的に厚
肉にするなどで強度を増すことができ、板厚の制約をな
くすることができる。またカバー５をカバー加熱用電極
６．１１で抵抗加熱するので、カッ々−５の温度は一定
温度に高くすることができ、蒸発物１がカバー５の蒸発
穴５ａを通過する際に蒸発穴５ａ周辺に多量に蒸着する
のを防止することができる。更に実施例のようにカバー
５の一端をスライドできる構造とすることにより、加熱
時の熱膨張によるカバー５の変形は防止でき、カバー５
の蒸発穴５ａの位置再現性を精度良くできる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ボー
トの蒸着穴に対向する部分に蒸発穴を有するカバーをゲ
ートに近接して位置決めし、このカッ々−をカバー加熱
用ｉ！ｌｔ、ｆｆｌで抵抗加熱してなるので、ボートの
蒸発穴の位置ずれに関係なく均一な蒸着膜が得られる。
トの蒸着穴に対向する部分に蒸発穴を有するカバーをゲ
ートに近接して位置決めし、このカッ々−をカバー加熱
用ｉ！ｌｔ、ｆｆｌで抵抗加熱してなるので、ボートの
蒸発穴の位置ずれに関係なく均一な蒸着膜が得られる。
第１図は従来例の上面図、第２図はｖｒ、１図の断面図
、第３図は本発明の一実施例を示す上面図、第４図は第
３図の断面図、第５図はボートの蒸発穴とカバーの蒸発
穴との関係を示す拡大断面図である。 １・・・蒸発物、 ２・・・ボート、 ２ａ・
・・蒸発穴、３・・・ボート加熱用電極、 ４・・
・取付けねじ、５・・・カッ々−１５ａ・・・蒸発穴、
６・・・カバー加熱用電極、 ７・・・ビン
、 ８・・・取付けねじ、９・・・ビン、 １
０・・・スライド用接続具、１１・・・カバー加熱用電
極、 １２・・・取付けねじ。 ＼こ／ 第１図 第２図 第３図 第４図
、第３図は本発明の一実施例を示す上面図、第４図は第
３図の断面図、第５図はボートの蒸発穴とカバーの蒸発
穴との関係を示す拡大断面図である。 １・・・蒸発物、 ２・・・ボート、 ２ａ・
・・蒸発穴、３・・・ボート加熱用電極、 ４・・
・取付けねじ、５・・・カッ々−１５ａ・・・蒸発穴、
６・・・カバー加熱用電極、 ７・・・ビン
、 ８・・・取付けねじ、９・・・ビン、 １
０・・・スライド用接続具、１１・・・カバー加熱用電
極、 １２・・・取付けねじ。 ＼こ／ 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 蒸発物を入れるボートをボート加熱用電極に固定し、ボ
ート加熱用電極に通電し抵抗加熱することにより蒸発物
がボートの蒸発穴から被蒸着物に向って蒸発する抵抗加
熱真空蒸着装置において、前記ボートに近接して配設さ
れ該ボートの蒸発穴に対向する部分に蒸発穴を有し蒸発
位置を決めるカバーと、このカバーを抵抗加熱するカバ
ー加熱用電極とを備えたことを特徴とする抵抗加熱真空
蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17580585A JPS6237366A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 抵抗加熱真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17580585A JPS6237366A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 抵抗加熱真空蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237366A true JPS6237366A (ja) | 1987-02-18 |
Family
ID=16002546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17580585A Pending JPS6237366A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 抵抗加熱真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237366A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107400859A (zh) * | 2017-08-17 | 2017-11-28 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种蒸发源 |
| US10801101B2 (en) | 2017-08-17 | 2020-10-13 | Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Vapor evaporation source |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP17580585A patent/JPS6237366A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107400859A (zh) * | 2017-08-17 | 2017-11-28 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种蒸发源 |
| CN107400859B (zh) * | 2017-08-17 | 2019-08-13 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种蒸发源 |
| US10801101B2 (en) | 2017-08-17 | 2020-10-13 | Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Vapor evaporation source |
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