JPS6237629Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6237629Y2 JPS6237629Y2 JP1982191431U JP19143182U JPS6237629Y2 JP S6237629 Y2 JPS6237629 Y2 JP S6237629Y2 JP 1982191431 U JP1982191431 U JP 1982191431U JP 19143182 U JP19143182 U JP 19143182U JP S6237629 Y2 JPS6237629 Y2 JP S6237629Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work holder
- main shaft
- work
- protrusion
- long groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本考案は、ラツプ定盤とワークとを独自に回転
させ、ラツプ定盤とワーク間のラツプ剤によつて
ワークの平面をラツプ加工するラツプ装置に関す
るものである。
させ、ラツプ定盤とワーク間のラツプ剤によつて
ワークの平面をラツプ加工するラツプ装置に関す
るものである。
〈従来技術〉
従来のラツプ装置は、固定ベースに垂直な軸線
回りに回転可能に支持されるラツプ定盤の上方
で、固定ベースの延長上に支持される主軸頭に垂
直方向に進退可能に進退軸が軸承され、下面にワ
ークを固着したワークホルダ本体の上面に、前記
進退軸を挿入できる挿入穴を形成した突出部が設
けられており、挿入穴に進退軸を挿入させること
によつてラツプ定盤の回転によるワークの飛び出
しが防止されていた。
回りに回転可能に支持されるラツプ定盤の上方
で、固定ベースの延長上に支持される主軸頭に垂
直方向に進退可能に進退軸が軸承され、下面にワ
ークを固着したワークホルダ本体の上面に、前記
進退軸を挿入できる挿入穴を形成した突出部が設
けられており、挿入穴に進退軸を挿入させること
によつてラツプ定盤の回転によるワークの飛び出
しが防止されていた。
しかしながら、従来のものはワークホルダ本体
がラツプ定盤の回転につれて進退軸の軸線回りに
回転されるものであるため、ワークの回転が不規
則となつてワークの加工面に一様な加工がなされ
ず、しかもワークホルダ本体を進退軸とともに上
昇,下降できないため、ラツプ定盤の回転始動時
および停止時にラツプ剤によつて加工面が傷付け
られる虞れがあり、加工精度向上の障害となつて
いた。
がラツプ定盤の回転につれて進退軸の軸線回りに
回転されるものであるため、ワークの回転が不規
則となつてワークの加工面に一様な加工がなされ
ず、しかもワークホルダ本体を進退軸とともに上
昇,下降できないため、ラツプ定盤の回転始動時
および停止時にラツプ剤によつて加工面が傷付け
られる虞れがあり、加工精度向上の障害となつて
いた。
〈考案の目的〉
本考案の目的とするところは、回転かつ進退可
能な主軸と共にワークを回転および上昇,下降で
き、しかも主軸との結合および切離しが容易にで
きるラツプ装置を提供することである。
能な主軸と共にワークを回転および上昇,下降で
き、しかも主軸との結合および切離しが容易にで
きるラツプ装置を提供することである。
〈考案の構成〉
本考案によるラツプ装置は、回転および上下動
する主軸に半径方向に突出させてピンを固着し、
下面にワークを固着するワークホルダ本体の上面
に前記主軸とピンを挿入できる挿入穴および長溝
を形成した突出部を設け、この突出部の上部に前
記挿入穴と長溝に対応する貫通穴と長溝を形成し
たキヤツプを回転のみ可能に装着させて構成した
ものである。
する主軸に半径方向に突出させてピンを固着し、
下面にワークを固着するワークホルダ本体の上面
に前記主軸とピンを挿入できる挿入穴および長溝
を形成した突出部を設け、この突出部の上部に前
記挿入穴と長溝に対応する貫通穴と長溝を形成し
たキヤツプを回転のみ可能に装着させて構成した
ものである。
〈実施例〉
以下本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。第1図において、10は固定ベースであり、
この固定ベース10にはターンテーブル11が垂
直軸線回りに回転可能に支承され、図略の駆動装
置により回転駆動されるようになつている。ター
ンテーブル11上には上面にラツプ面を形成した
リング状のラツプ定盤12が固着されており、こ
のラツプ定盤12はターンテーブル11上にラツ
プ定盤12を取り囲むように取付けた図略の液槽
内に収容されるラツプ液中に浸される。固定ベー
ス10上には支持台13が設置され、この支持台
13上に前記ラツプ定盤12のラツプ面と平行な
案内面14を形成した支持レール15が固設さ
れ、支持レール15にはスライドベース16が案
内面14に沿つて移動可能に装架されている。ス
ライドベース16の前面には主軸頭17が固定さ
れ、この主軸頭17に垂直な軸線方向に進退可能
に進退部材18が嵌挿されている。進退部材18
には垂直な軸線回りに回転のみ可能に主軸19が
軸承されている。主軸頭17には進退駆動モータ
20が、スライドベース16には回転駆動モータ
21が固定されており、進退部材18は進退駆動
モータ20によつて進退され、主軸19は回転駆
動モータ21によつて回転されるようになつてい
る。
る。第1図において、10は固定ベースであり、
この固定ベース10にはターンテーブル11が垂
直軸線回りに回転可能に支承され、図略の駆動装
置により回転駆動されるようになつている。ター
ンテーブル11上には上面にラツプ面を形成した
リング状のラツプ定盤12が固着されており、こ
のラツプ定盤12はターンテーブル11上にラツ
プ定盤12を取り囲むように取付けた図略の液槽
内に収容されるラツプ液中に浸される。固定ベー
ス10上には支持台13が設置され、この支持台
13上に前記ラツプ定盤12のラツプ面と平行な
案内面14を形成した支持レール15が固設さ
れ、支持レール15にはスライドベース16が案
内面14に沿つて移動可能に装架されている。ス
ライドベース16の前面には主軸頭17が固定さ
れ、この主軸頭17に垂直な軸線方向に進退可能
に進退部材18が嵌挿されている。進退部材18
には垂直な軸線回りに回転のみ可能に主軸19が
軸承されている。主軸頭17には進退駆動モータ
20が、スライドベース16には回転駆動モータ
21が固定されており、進退部材18は進退駆動
モータ20によつて進退され、主軸19は回転駆
動モータ21によつて回転されるようになつてい
る。
第2,第3図において主軸19の下端には、半
径方向に両側へ突出してピン22が固着されてい
る。ワークホルダ本体40は円板状のワークホル
ダ本体であり、このワークホルダ本体40の上面
の中心に円筒状の突出部41が突設されている。
前記突出部41には上方より主軸19を挿入でき
る挿入穴42とピン22を挿入できる半径方向長
溝43が形成されている。ピン22と長溝43と
の係合により、主軸19の回転動力がワークホル
ダ本体40へ伝達されるようになつている。主軸
19の下端には突出部41の挿入穴42に摺動可
能に嵌合する振動吸収用のゴム23が、固着され
ている。突出部41の外周に摺動可能に円筒状の
段付部材44が嵌挿され、この段付部材44の内
周上部には、突出部41の上端外周に螺合される
リング状の引つ掛け部材46を挿通可能に大径部
47が形成されている。段付部材44の大径部4
7には鍔付部材48が引つ掛け部材46を挾さん
で螺合されている。段付部材44と鍔付部材48
とからなるキヤツプ49は、突出部41,引つ掛
け部材46に対して回転可能で、引つ掛け部材4
6によつて抜け止めされている。鍔付部材48に
は、鍔付部材48の上方から突出部41の挿入穴
42へ主軸19を挿入可能に貫通穴54が形成さ
れ、また突出部41の長溝43へピン22を挿入
できる半径方向長溝50が形成されている。キヤ
ツプ49に干渉しないように中心部を切欠いた複
数のおもり51がワークホルダ本体40に載置さ
れ、ワークホルダ本体40に螺合する複数のボル
ト52によつておもり51はワークホルダ本体4
0に固着されている。ワークホルダ本体40の下
面にはワークWが接着剤等によつて固着されてい
る。ワークホルダ53はワークホルダ本体40,
突出部41,キヤツプ49から構成されている。
径方向に両側へ突出してピン22が固着されてい
る。ワークホルダ本体40は円板状のワークホル
ダ本体であり、このワークホルダ本体40の上面
の中心に円筒状の突出部41が突設されている。
前記突出部41には上方より主軸19を挿入でき
る挿入穴42とピン22を挿入できる半径方向長
溝43が形成されている。ピン22と長溝43と
の係合により、主軸19の回転動力がワークホル
ダ本体40へ伝達されるようになつている。主軸
19の下端には突出部41の挿入穴42に摺動可
能に嵌合する振動吸収用のゴム23が、固着され
ている。突出部41の外周に摺動可能に円筒状の
段付部材44が嵌挿され、この段付部材44の内
周上部には、突出部41の上端外周に螺合される
リング状の引つ掛け部材46を挿通可能に大径部
47が形成されている。段付部材44の大径部4
7には鍔付部材48が引つ掛け部材46を挾さん
で螺合されている。段付部材44と鍔付部材48
とからなるキヤツプ49は、突出部41,引つ掛
け部材46に対して回転可能で、引つ掛け部材4
6によつて抜け止めされている。鍔付部材48に
は、鍔付部材48の上方から突出部41の挿入穴
42へ主軸19を挿入可能に貫通穴54が形成さ
れ、また突出部41の長溝43へピン22を挿入
できる半径方向長溝50が形成されている。キヤ
ツプ49に干渉しないように中心部を切欠いた複
数のおもり51がワークホルダ本体40に載置さ
れ、ワークホルダ本体40に螺合する複数のボル
ト52によつておもり51はワークホルダ本体4
0に固着されている。ワークホルダ本体40の下
面にはワークWが接着剤等によつて固着されてい
る。ワークホルダ53はワークホルダ本体40,
突出部41,キヤツプ49から構成されている。
上述した構成に基づいて加工順序について説明
する。ラツプ定盤12上以外の作業しやすい所
で、複数のワークホルダ53にそれぞれワークW
を固着し、その内の1つのワークホルダ53をラ
ツプ定盤12上方へ移動させる。キヤツプ49を
回して長溝43と長溝50とを一致させる。進退
部材18が上端位置にある主軸19へワークホル
ダ53を持ち上げて挿入穴42,貫通穴54へ主
軸19を、長溝43,50へピン22を挿入させ
る。挿入後、キヤツプ49を回して第3図に示す
ように長溝43と長溝50との位置をずらす。ワ
ークホルダ53を下げることによつて鍔付部材4
8の下面とピン22とが当接し、ワークホルダ5
3は主軸19にぶら下つた状態となる。しかる状
態でラツプ定盤12を回転させるとともに、回転
駆動モータ21によつて主軸19を回転させなが
ら進退駆動モータ20によつて主軸19を下げ
る。ラツプ定盤12の回転によるラツプ定盤12
とワークWとの間にできるラツプ液の膜によつて
ワークWが浮いた状態でかつ、ピン22がワーク
ホルダ本体40と鍔付部材48との間にあるとき
進退駆動モータ20を停止させる。ワークホルダ
53とおもり51の重力作用のみによるワークW
のラツプ定盤12への押圧力と、ラツプ定盤12
とワークWとの相対運動によつてラツプ液中のラ
ツプ剤によりラツプ加工がなされる。加工後、進
退駆動モータ20を作動させて主軸19を上昇さ
せる。鍔付部材48の下面とピン22とが当接
し、ワークホルダ53は主軸19にぶら下がつた
状態で回転しながら上昇される。進退部材18が
上端位置に移動されてきたとき、進退駆動モータ
20,回転駆動モータ21を停止させる。キヤツ
プ49を回して長溝43と長溝50を一致させ、
主軸19からワークホルダ53を取りはずす。以
下、未加工のワークWに対しても、上述した順序
を繰返すことによつて同様な加工がなされる。
する。ラツプ定盤12上以外の作業しやすい所
で、複数のワークホルダ53にそれぞれワークW
を固着し、その内の1つのワークホルダ53をラ
ツプ定盤12上方へ移動させる。キヤツプ49を
回して長溝43と長溝50とを一致させる。進退
部材18が上端位置にある主軸19へワークホル
ダ53を持ち上げて挿入穴42,貫通穴54へ主
軸19を、長溝43,50へピン22を挿入させ
る。挿入後、キヤツプ49を回して第3図に示す
ように長溝43と長溝50との位置をずらす。ワ
ークホルダ53を下げることによつて鍔付部材4
8の下面とピン22とが当接し、ワークホルダ5
3は主軸19にぶら下つた状態となる。しかる状
態でラツプ定盤12を回転させるとともに、回転
駆動モータ21によつて主軸19を回転させなが
ら進退駆動モータ20によつて主軸19を下げ
る。ラツプ定盤12の回転によるラツプ定盤12
とワークWとの間にできるラツプ液の膜によつて
ワークWが浮いた状態でかつ、ピン22がワーク
ホルダ本体40と鍔付部材48との間にあるとき
進退駆動モータ20を停止させる。ワークホルダ
53とおもり51の重力作用のみによるワークW
のラツプ定盤12への押圧力と、ラツプ定盤12
とワークWとの相対運動によつてラツプ液中のラ
ツプ剤によりラツプ加工がなされる。加工後、進
退駆動モータ20を作動させて主軸19を上昇さ
せる。鍔付部材48の下面とピン22とが当接
し、ワークホルダ53は主軸19にぶら下がつた
状態で回転しながら上昇される。進退部材18が
上端位置に移動されてきたとき、進退駆動モータ
20,回転駆動モータ21を停止させる。キヤツ
プ49を回して長溝43と長溝50を一致させ、
主軸19からワークホルダ53を取りはずす。以
下、未加工のワークWに対しても、上述した順序
を繰返すことによつて同様な加工がなされる。
〈考案の効果〉
以上述べたように本考案は、回転するラツプ定
盤と、このラツプ定盤上方で回転および上下動す
る主軸に半径方向に突出させてピンを固着し、下
面にワークを固着するワークホルダ本体の上面に
前記主軸とピンを挿入できる挿入穴および長溝を
形成した突出部を設け、この突出部の上部に前記
挿入穴と長溝に対応する貫通穴と長溝を形成した
キヤツプを回転のみ可能に装着させる構成によつ
て、ワークホルダを回転させながら下降あるいは
上昇させることができるため、ラツプ定盤の回転
始動時および停止時にラツプ剤による加工面が傷
付けらるのが避けられ、加工精度が向上する。ま
た主軸の回転をワークホルダに伝えることができ
るため、ワークに均一な加工を施すことができ
る。さらにワークホルダに長溝を形成して主軸に
対するワークホルダの上下動を許容できる構成に
したので、主軸からの上下方向の力がワークホル
ダに作用せず、ワークホルダの自重による一定の
力でもつてワークをラツプ定盤に押付けることが
でき、より一層、ワークに均一な加工を施すこと
ができる。又主軸に対するワークホルダの上下を
許容できるため、ワークの厚みの変化に対し、主
軸の下降位置を厳密にコントロールする必要がな
いメリツトある。しかもキヤツプを回すだけで主
軸にワークホルダを結合あるいは切離しできるよ
うになり、作業能率が向上するメリツトがある。
盤と、このラツプ定盤上方で回転および上下動す
る主軸に半径方向に突出させてピンを固着し、下
面にワークを固着するワークホルダ本体の上面に
前記主軸とピンを挿入できる挿入穴および長溝を
形成した突出部を設け、この突出部の上部に前記
挿入穴と長溝に対応する貫通穴と長溝を形成した
キヤツプを回転のみ可能に装着させる構成によつ
て、ワークホルダを回転させながら下降あるいは
上昇させることができるため、ラツプ定盤の回転
始動時および停止時にラツプ剤による加工面が傷
付けらるのが避けられ、加工精度が向上する。ま
た主軸の回転をワークホルダに伝えることができ
るため、ワークに均一な加工を施すことができ
る。さらにワークホルダに長溝を形成して主軸に
対するワークホルダの上下動を許容できる構成に
したので、主軸からの上下方向の力がワークホル
ダに作用せず、ワークホルダの自重による一定の
力でもつてワークをラツプ定盤に押付けることが
でき、より一層、ワークに均一な加工を施すこと
ができる。又主軸に対するワークホルダの上下を
許容できるため、ワークの厚みの変化に対し、主
軸の下降位置を厳密にコントロールする必要がな
いメリツトある。しかもキヤツプを回すだけで主
軸にワークホルダを結合あるいは切離しできるよ
うになり、作業能率が向上するメリツトがある。
図面は本考案の実施例を示すもので、第1図は
ラツプ装置の主要部を示した図、第2図は第1図
におけるワークホルダを断面し拡大した図、第3
図は第2図における方向から見た図。 10……固定ベース、11……ターンテーブ
ル、12……ラツプ定盤、13……支持台、15
……支持レール、16……スライドベース、17
……主軸頭、18……進退部材、19……主軸、
20……進退駆動モータ、21……回転駆動モー
タ、22……ピン、40……ワークホルダ本体、
41……突出部、42……挿入穴、43……長
溝、49……キヤツプ、50……長溝、54……
貫通穴。
ラツプ装置の主要部を示した図、第2図は第1図
におけるワークホルダを断面し拡大した図、第3
図は第2図における方向から見た図。 10……固定ベース、11……ターンテーブ
ル、12……ラツプ定盤、13……支持台、15
……支持レール、16……スライドベース、17
……主軸頭、18……進退部材、19……主軸、
20……進退駆動モータ、21……回転駆動モー
タ、22……ピン、40……ワークホルダ本体、
41……突出部、42……挿入穴、43……長
溝、49……キヤツプ、50……長溝、54……
貫通穴。
Claims (1)
- 固定ベースに垂直な軸線回りに回転可能に支持
されるラツプ定盤の上方で、回転かつ垂直方向に
進退可能に主軸を設け、この主軸の下端に半径方
向に突出させてピンを固着し、下面にワークを固
着するワークホルダ本体の上面に、前記主軸とピ
ンを挿入できる挿入穴および長溝を形成した突出
部を設け、突出部の上部に回転のみ可能にキヤツ
プを装着し、このキヤツプに前記突出部の挿入穴
と長溝に対応する貫通穴と長溝を形成したことを
特徴とするラツプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982191431U JPS5997856U (ja) | 1982-12-18 | 1982-12-18 | ラツプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982191431U JPS5997856U (ja) | 1982-12-18 | 1982-12-18 | ラツプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5997856U JPS5997856U (ja) | 1984-07-03 |
| JPS6237629Y2 true JPS6237629Y2 (ja) | 1987-09-25 |
Family
ID=30412229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982191431U Granted JPS5997856U (ja) | 1982-12-18 | 1982-12-18 | ラツプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5997856U (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5287790A (en) * | 1976-01-19 | 1977-07-22 | Hitachi Ltd | Grinder for wafer-like material |
| FR2505713A1 (fr) * | 1981-05-18 | 1982-11-19 | Procedes Equip Sciences Ind Sa | Porte-plaquette pour machines a polir des plaquettes minces, fragiles et deformables |
-
1982
- 1982-12-18 JP JP1982191431U patent/JPS5997856U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5997856U (ja) | 1984-07-03 |
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