JPS6237670U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6237670U JPS6237670U JP12883585U JP12883585U JPS6237670U JP S6237670 U JPS6237670 U JP S6237670U JP 12883585 U JP12883585 U JP 12883585U JP 12883585 U JP12883585 U JP 12883585U JP S6237670 U JPS6237670 U JP S6237670U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- partition plates
- vacuum
- valve housing
- vacuum ports
- cutouts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 4
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の一部截断平面図、第
２図及び第３図は夫々第１図の―線及び―
線截断面図である。 １……弁筐、２，２……真空ポート、３……回
転軸、９……駆動軸、３ａ，３ｂ……逆ねじ、１
１，１１……仕切板、１３，１３……切欠部。
２図及び第３図は夫々第１図の―線及び―
線截断面図である。 １……弁筐、２，２……真空ポート、３……回
転軸、９……駆動軸、３ａ，３ｂ……逆ねじ、１
１，１１……仕切板、１３，１３……切欠部。
Claims (1)
- 真空ポートを形成した弁筐内に、左右に逆ねじ
を形成した回転軸を設けてこれを弁筐外から導入
した駆動軸に連結し、該回転軸の各逆ねじ部分に
、互に重合して前記真空ポートを閉鎖する仕切板
を夫々螺着させ、該仕切板に該回転軸に沿つての
移動に伴い該真空ポートへの開口面積を変化させ
る切欠部を形成して成る超高真空用可変オリフイ
ス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12883585U JPS6237670U (ja) | 1985-08-26 | 1985-08-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12883585U JPS6237670U (ja) | 1985-08-26 | 1985-08-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237670U true JPS6237670U (ja) | 1987-03-05 |
Family
ID=31024859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12883585U Pending JPS6237670U (ja) | 1985-08-26 | 1985-08-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237670U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06238601A (ja) * | 1993-02-22 | 1994-08-30 | Romatec Kk | 帯鋸盤 |
| JP2011012730A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Industria:Kk | バルブ装置 |
-
1985
- 1985-08-26 JP JP12883585U patent/JPS6237670U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06238601A (ja) * | 1993-02-22 | 1994-08-30 | Romatec Kk | 帯鋸盤 |
| JP2011012730A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Industria:Kk | バルブ装置 |