JPS6238435B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6238435B2 JPS6238435B2 JP54161267A JP16126779A JPS6238435B2 JP S6238435 B2 JPS6238435 B2 JP S6238435B2 JP 54161267 A JP54161267 A JP 54161267A JP 16126779 A JP16126779 A JP 16126779A JP S6238435 B2 JPS6238435 B2 JP S6238435B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gold
- plating
- current density
- liquid
- pure gold
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は純金めつき液に関するものである。
純金めつき液は半導体関係の種々の製品、例え
ばICフレーム、セラミツクパツケージ、プリン
ト基板、リードフレーム等に広く使用され益々そ
の需要は拡大されつつあり、従来より幾つかの純
金めつき液がこれらの製品を純金めつきするため
に提供されて来ている。しかしながら、従来の純
金めつき液は、殆んどのものが、金量は多く、電
流密度がそれ程上がらず、そして液温が高くて蒸
発量が多いという問題点がある。例えば、特公昭
45―15846号公報に開示される電解浴は金量が1
〜75g/であり、陰極電流密度0.1〜10A/dm2
及び温度20〜90℃を操作条件としている。又、特
開昭47−1956号公報の「電解金メツキ溶液及びそ
れを使用する方法」によれば金量は1〜75g/
で、陰極電流密度が好ましくは2〜10A/ft2
(0.216〜1.08A/dm2)、温度は100〜180F(37.8
〜82.2℃)を操作条件としている。
ばICフレーム、セラミツクパツケージ、プリン
ト基板、リードフレーム等に広く使用され益々そ
の需要は拡大されつつあり、従来より幾つかの純
金めつき液がこれらの製品を純金めつきするため
に提供されて来ている。しかしながら、従来の純
金めつき液は、殆んどのものが、金量は多く、電
流密度がそれ程上がらず、そして液温が高くて蒸
発量が多いという問題点がある。例えば、特公昭
45―15846号公報に開示される電解浴は金量が1
〜75g/であり、陰極電流密度0.1〜10A/dm2
及び温度20〜90℃を操作条件としている。又、特
開昭47−1956号公報の「電解金メツキ溶液及びそ
れを使用する方法」によれば金量は1〜75g/
で、陰極電流密度が好ましくは2〜10A/ft2
(0.216〜1.08A/dm2)、温度は100〜180F(37.8
〜82.2℃)を操作条件としている。
本発明はこれら従来の問題点に着目して開発さ
れた純金めつき液で、金量が少なく、高い陰極電
流密度がとれ、低い液温で使用でき、加えて半導
体関係の製品にとつて最適な特性、即ち密着性、
耐熱性、ボンデイング性及び半田ぬれ性が共に良
好な純金めつき層を析出することのできる純金め
つき液を提供せんとするものである。そして、本
発明は具体的には上記意図の下で、金化合物とし
てシアン化金カリウムを2〜16g/、クエン酸
塩を5〜200g/、リン酸塩を5〜100g/、
硫酸アンモニウムを10〜150g/、タリウム、
セリウム、鉛、アンチモン、ヒ素、ビスマス又は
テルルの内一種の金属化合物を0.01〜40mg/含
有して成る純金めつき液を提供せんとするもので
ある。
れた純金めつき液で、金量が少なく、高い陰極電
流密度がとれ、低い液温で使用でき、加えて半導
体関係の製品にとつて最適な特性、即ち密着性、
耐熱性、ボンデイング性及び半田ぬれ性が共に良
好な純金めつき層を析出することのできる純金め
つき液を提供せんとするものである。そして、本
発明は具体的には上記意図の下で、金化合物とし
てシアン化金カリウムを2〜16g/、クエン酸
塩を5〜200g/、リン酸塩を5〜100g/、
硫酸アンモニウムを10〜150g/、タリウム、
セリウム、鉛、アンチモン、ヒ素、ビスマス又は
テルルの内一種の金属化合物を0.01〜40mg/含
有して成る純金めつき液を提供せんとするもので
ある。
金化合物はシアン化金カリウムの形で酸性めつ
き液に加えられ、その含有量としては2〜16g/
、好ましくは4〜8g/存在させることがで
きる。このように金化合物の(即ち、金の)含有
量が少ないことは本発明の特色の一つである。
き液に加えられ、その含有量としては2〜16g/
、好ましくは4〜8g/存在させることがで
きる。このように金化合物の(即ち、金の)含有
量が少ないことは本発明の特色の一つである。
この純金めつき液は液中に導電性で且つ緩衝作
用を有する化合物としてクエン酸塩及びリン酸塩
を含有する。クエン酸塩としてはクエン酸カリウ
ムを5〜200g/、好ましくは120〜150g/含
有させることができ、そしてリン酸塩としてはリ
ン酸カリウムを5〜100g/、好ましくは10〜
50g/含有させることができる。
用を有する化合物としてクエン酸塩及びリン酸塩
を含有する。クエン酸塩としてはクエン酸カリウ
ムを5〜200g/、好ましくは120〜150g/含
有させることができ、そしてリン酸塩としてはリ
ン酸カリウムを5〜100g/、好ましくは10〜
50g/含有させることができる。
更に本発明に係かる純金めつき液は硫酸アンモ
ニウムを液中に含有せしめ、又添加剤としてタリ
ウム、セリウム、鉛、アンチモン、ヒ素、ビスマ
ス、又はテルルの内1種の金属化合物を含めるも
のである。硫酸アンモニウムは10〜150g/、
好ましくは20〜150g/液中に含有させること
ができ、純金めつき液の安定性に寄与するもので
ある。上記添加剤は金属化合物であり、このよう
な「金属」を添加する純金めつき液にとつて、液
の安定性は陰極電流密度を高く採るために欠かせ
ぬ条件であるが硫酸アンモニウムはこの必要条件
を満足させることができる。このような硫酸アン
モニウムの含有に加えて液中に金属化合物を添加
するところに本発明の特色がある。金属化合物、
即ち添加剤の含有量は微量でよく、0.01〜40mg/
液中に添加するだけでよい。添加剤として液中
に、タリウム、セリウム、鉛、アンチモン、ヒ
素、ビスマス、又はテルルの内1種の金属化合物
を添加することにより析出する純金めつき層は密
着性、耐熱性、ボンデイング性、及び半田ぬれ性
を有することができる。
ニウムを液中に含有せしめ、又添加剤としてタリ
ウム、セリウム、鉛、アンチモン、ヒ素、ビスマ
ス、又はテルルの内1種の金属化合物を含めるも
のである。硫酸アンモニウムは10〜150g/、
好ましくは20〜150g/液中に含有させること
ができ、純金めつき液の安定性に寄与するもので
ある。上記添加剤は金属化合物であり、このよう
な「金属」を添加する純金めつき液にとつて、液
の安定性は陰極電流密度を高く採るために欠かせ
ぬ条件であるが硫酸アンモニウムはこの必要条件
を満足させることができる。このような硫酸アン
モニウムの含有に加えて液中に金属化合物を添加
するところに本発明の特色がある。金属化合物、
即ち添加剤の含有量は微量でよく、0.01〜40mg/
液中に添加するだけでよい。添加剤として液中
に、タリウム、セリウム、鉛、アンチモン、ヒ
素、ビスマス、又はテルルの内1種の金属化合物
を添加することにより析出する純金めつき層は密
着性、耐熱性、ボンデイング性、及び半田ぬれ性
を有することができる。
本発明の純金めつき液は水素イオン濃度(PH)
4〜7、温度50〜75℃そして陰極電流密度0.1〜
15A/dm2の操作条件で用いられる。従来の純金
めつき液では例えば80℃、90℃近辺の高い液温で
液を使用し、ために蒸発量が多いものであつた
が、本発明の純金めつき液は50〜75℃好ましくは
60℃の液温で十分に使用できるので蒸発量を低く
抑えることができる。しかも、従来の液では通常
金が5g/程度ならば陰極電流密度を上げても
1A/dm2程度であり、これ以上陰極電流密度を
上げるには金量を多くし、他の液組成にも手を加
え調整しなければならないが本発明の純金めつき
液では上述の如く少ない金量の液でありながら
0.1〜15A/dm2で使用できる。例えば浸漬めつ
きの場合には0.1〜1.5A/dm2、又高速めつきの
場合は0.1〜15A/dm2で液を操作できるもので
ある。
4〜7、温度50〜75℃そして陰極電流密度0.1〜
15A/dm2の操作条件で用いられる。従来の純金
めつき液では例えば80℃、90℃近辺の高い液温で
液を使用し、ために蒸発量が多いものであつた
が、本発明の純金めつき液は50〜75℃好ましくは
60℃の液温で十分に使用できるので蒸発量を低く
抑えることができる。しかも、従来の液では通常
金が5g/程度ならば陰極電流密度を上げても
1A/dm2程度であり、これ以上陰極電流密度を
上げるには金量を多くし、他の液組成にも手を加
え調整しなければならないが本発明の純金めつき
液では上述の如く少ない金量の液でありながら
0.1〜15A/dm2で使用できる。例えば浸漬めつ
きの場合には0.1〜1.5A/dm2、又高速めつきの
場合は0.1〜15A/dm2で液を操作できるもので
ある。
(実施例 1)
シアン化金カリウム(メタルとして) 5g/
クエン酸1カリウム 20g/
リン酸カリウム 15g/
硫酸アンモニウム 100g/
タリウム塩(硫酸タリウムとして) 20mg/
PH 6.0
比重 11゜B′e
液温 60℃
予め金ストライクめつきを施こした試験片に、
上記の条件で浸漬めつきを行なつたところ、陰極
電流密度を1.5A/dm2にでき、半光沢でしかも
レモンイエローの析出物が得られた。そしてこの
純金めつき片は密着性、耐熱性、ボンデイング
性、半田ぬれ性等、半導体部品用に要求される特
性を十分備えていることが判明した。
上記の条件で浸漬めつきを行なつたところ、陰極
電流密度を1.5A/dm2にでき、半光沢でしかも
レモンイエローの析出物が得られた。そしてこの
純金めつき片は密着性、耐熱性、ボンデイング
性、半田ぬれ性等、半導体部品用に要求される特
性を十分備えていることが判明した。
(実施例 2)
シアン化金カリウム(メタルとして) 5g/
クエン酸カリウム 80g/
リン酸1カリウム 20g/
硫酸アンモニウム 40g/
鉛塩(硫酸鉛として) 5mg/
PH 6.0
比重 11゜Be′
液温 60℃
予め金ストライクめつきを施こした試験片に、
上記の条件で噴射式高速部分めつき装置(特公昭
49−24775号公報に示されるような装置)を利用
して高速めつきをしたところ陰極電流密度を
4A/dm2にでき、半光沢でしかもレモンイエロ
ーの析出物が得られた。この純金めつき片は密着
性、耐熱性、ボンデイング性、半田ぬれ性等半導
体部品用として十分な特性を備えていることが確
認できた。
上記の条件で噴射式高速部分めつき装置(特公昭
49−24775号公報に示されるような装置)を利用
して高速めつきをしたところ陰極電流密度を
4A/dm2にでき、半光沢でしかもレモンイエロ
ーの析出物が得られた。この純金めつき片は密着
性、耐熱性、ボンデイング性、半田ぬれ性等半導
体部品用として十分な特性を備えていることが確
認できた。
(実施例 3)
シアン化金カリウム(メタルとして) 4g/
クエン酸カリウム 50g/
リン酸2カリウム 25g/
硫酸アンモニウム 130g/
セリウム塩(硫酸第一セリウムとして)
0.4mg/ PH 6.0 比重 11゜B′e 液温 60℃ 予め金ストライクめつきを施こした試験片に、
上記の条件で実施例2と同様の装置を利用し高速
めつきをしたところ、陰極電流密度を5A/dm2
にでき、半光沢で且つレモンイエローの析出物が
得られた。この純金めつき片は密着性、耐熱性、
ボンデイング性、半田ぬれ性等の半導体部品用と
して必要な特性を十分備えていることが判明し
た。
0.4mg/ PH 6.0 比重 11゜B′e 液温 60℃ 予め金ストライクめつきを施こした試験片に、
上記の条件で実施例2と同様の装置を利用し高速
めつきをしたところ、陰極電流密度を5A/dm2
にでき、半光沢で且つレモンイエローの析出物が
得られた。この純金めつき片は密着性、耐熱性、
ボンデイング性、半田ぬれ性等の半導体部品用と
して必要な特性を十分備えていることが判明し
た。
(実施例 4)
シアン化金カリウム(メタルとして) 3g/
クエン酸カリウム 100g/
リン酸1カリウム 40g/
硫酸アンモニウム 20g/
ビスマス塩(ビスマス酸ナトリウムとして)
0.5mg/ PH 6.0 比重 11゜B′e 液温 50℃ 予め金ストライクめつきを施こした試験片に、
上記の条件で実施例2と同様の装置を利用し高速
めつきをしたところ、陰極電流密度を3A/dm2
にでき半光沢で且つレモンイエローの析出物が得
られた。この純金めつき試験片は密着性、耐熱
性、ボンデイング性、半田ぬれ性等の半導体部品
用として要求される特性を十分満足させるもので
あつた。
0.5mg/ PH 6.0 比重 11゜B′e 液温 50℃ 予め金ストライクめつきを施こした試験片に、
上記の条件で実施例2と同様の装置を利用し高速
めつきをしたところ、陰極電流密度を3A/dm2
にでき半光沢で且つレモンイエローの析出物が得
られた。この純金めつき試験片は密着性、耐熱
性、ボンデイング性、半田ぬれ性等の半導体部品
用として要求される特性を十分満足させるもので
あつた。
(実施例 5)
シアン化金カリウム(メタルとして) 4g/
クエン酸カリウム 40g/
リン酸2カリウム 25g/
硫酸アンモニウム 60g/
タリウム塩(硫酸タリウムとして) 0.04mg/
PH 6.0
比重 11゜B′e
液温 60℃
予め金ストライクめつきを施こした試験片に、
上記の条件で、実施例2と同様の装置を用い高速
めつきしたところ、陰極電流密度を4A/dm2に
でき、半光沢でしかもレモンイエローの析出物が
得られた。この純金めつき試験片は密着性、耐熱
性、ボンデイング性、半田ぬれ性等半導体部品用
として条件を十分に満たすものであつた。
上記の条件で、実施例2と同様の装置を用い高速
めつきしたところ、陰極電流密度を4A/dm2に
でき、半光沢でしかもレモンイエローの析出物が
得られた。この純金めつき試験片は密着性、耐熱
性、ボンデイング性、半田ぬれ性等半導体部品用
として条件を十分に満たすものであつた。
(実施例 6)
シアン化金カリウム(メタルとして) 16g/
クエン酸カリウム 40g/
リン酸1カリウム 25g/
硫酸アンモニウム 80g/
タリウム塩(硫酸タリウムとして) 20mg/
PH 6.0
比重 13゜B′e
液温 75℃
予め金ストライクめつきを施こした試験片に、
上記条件で、実施例2と同様の装置を用い高速め
つきをしたところ、陰極電流密度を15A/dm2に
でき、半光沢でつきまわりの良いしかもレモンイ
エローの析出物が得られた。この純金めつき片は
密着性、耐熱性、ボンデイング性、半田ぬれ性等
半導体部品用としての条件を十分満たすものであ
つた。
上記条件で、実施例2と同様の装置を用い高速め
つきをしたところ、陰極電流密度を15A/dm2に
でき、半光沢でつきまわりの良いしかもレモンイ
エローの析出物が得られた。この純金めつき片は
密着性、耐熱性、ボンデイング性、半田ぬれ性等
半導体部品用としての条件を十分満たすものであ
つた。
以上、説明したように本発明に係かる純金めつ
き液は金化合物として2〜16g/のシアン化金
カリウムを含有させればよく、従来の1〜75g/
程度の多くの金量を必要とする純金めつき液に
比べ非常に金含有量が少ないのでめつき槽からの
「くみ出し量」が少量であり、又50〜70℃という
低い液温で操作可能なので液の蒸発量も極めて少
なく非常に経済的で且つ使用し易いものであつ
て、しかも陰極電流密度を0.1〜15A/dm2と高
くとることができ15A/dm2までめつき焼けも無
く外観が良好であり、その析出純金層は密着性、
耐熱性、ボンデイング性そして半田ぬれ性という
半導体部品にとり必要不可欠の特性を備えるか
ら、この種の製品に対する汎用性も高く、加えて
液が安定していて高い陰極電流密度をとることが
できるので高速噴射めつき用の液として最適であ
るという多くの秀れた効果がある。
き液は金化合物として2〜16g/のシアン化金
カリウムを含有させればよく、従来の1〜75g/
程度の多くの金量を必要とする純金めつき液に
比べ非常に金含有量が少ないのでめつき槽からの
「くみ出し量」が少量であり、又50〜70℃という
低い液温で操作可能なので液の蒸発量も極めて少
なく非常に経済的で且つ使用し易いものであつ
て、しかも陰極電流密度を0.1〜15A/dm2と高
くとることができ15A/dm2までめつき焼けも無
く外観が良好であり、その析出純金層は密着性、
耐熱性、ボンデイング性そして半田ぬれ性という
半導体部品にとり必要不可欠の特性を備えるか
ら、この種の製品に対する汎用性も高く、加えて
液が安定していて高い陰極電流密度をとることが
できるので高速噴射めつき用の液として最適であ
るという多くの秀れた効果がある。
Claims (1)
- 1 金化合物としてシアン化金カリウムを2〜
16g/、クエン酸塩を5〜200g/、リン酸塩
を5〜100g/、硫酸アンモニウムを10〜
150g/、タリウム、セリウム、鉛、アンチモ
ン、ヒ素、ビスマス又はテルルの内一種の金属化
合物を0.01〜40mg/含有して成る純金めつき
液。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16126779A JPS5684495A (en) | 1979-12-12 | 1979-12-12 | Pure gold plating liquid |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16126779A JPS5684495A (en) | 1979-12-12 | 1979-12-12 | Pure gold plating liquid |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5684495A JPS5684495A (en) | 1981-07-09 |
| JPS6238435B2 true JPS6238435B2 (ja) | 1987-08-18 |
Family
ID=15731849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16126779A Granted JPS5684495A (en) | 1979-12-12 | 1979-12-12 | Pure gold plating liquid |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5684495A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4435253A (en) * | 1983-01-28 | 1984-03-06 | Omi International Corporation | Gold sulphite electroplating solutions and methods |
| CN101906649B (zh) * | 2010-08-11 | 2011-09-21 | 哈尔滨工业大学 | 无氰电镀金的镀液及采用无氰电镀金的镀液电镀金的方法 |
| JP6393526B2 (ja) * | 2014-06-11 | 2018-09-19 | メタローテクノロジーズジャパン株式会社 | シアン系電解金めっき浴及びこれを用いるバンプ形成方法 |
| US20160145756A1 (en) * | 2014-11-21 | 2016-05-26 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Environmentally friendly gold electroplating compositions and methods |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5610754B2 (ja) * | 1972-07-03 | 1981-03-10 | ||
| JPS5816141B2 (ja) * | 1975-07-21 | 1983-03-29 | 川崎重工業株式会社 | エンジン用の摩耗試験装置 |
-
1979
- 1979-12-12 JP JP16126779A patent/JPS5684495A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5684495A (en) | 1981-07-09 |
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