JPS6238641B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、被測定物の所定断面における表面形
状を測定する形状測定器に関する。

従来の形状測定器（コントレーサ）は、一本の
アームの途中を支点とし、一端にスタイラスとい
われる触針を取付けるとともに、他端にバランサ
ウエイトを取付け、スタイラス側をわずかに重く
形成してスタイラスを被測定物の表面に接触さ
せ、このアームを軸方向に移動させてスタイラス
の被測定物の表面形状に倣つた動きをアームに取
付けた差動トランス等で計測し、この差動トラン
スからの信号を記録計などに接続して図形を画か
せ、これにより被測定物の形状測定を行なつてい
る。しかし、このような従来の形状測定器にあつ
ては、図形はいわゆるアナログ量で記録されてい
る為、形状の読取りにあたつては再度何らかの測
定器を用いてデジタル量として読取る必要があ
る。このため、測定が煩雑であるばかりでなく、
デジタル量への変換時に誤差が加わり、形状測定
の精度を低下させるという不都合があり、デジタ
ル量を直読できる形状測定器の開発が望まれてい
る。

このような要望に応えたものとして前記アーム
式の形状測定器において、Ａ／Ｄ変換器を付加
し、これによりデジタル量を直読できるようにし
たのもあるが、本質はアナログ量の測定であり、
必ずしも前記不都合は解消されていない。また、
アーム式の形状測定器のアームに、ガラスに目盛
を刻んだリンアスケールを取付け、このリニアス
ケールと対向してインデツクススケースを設け、
これらの両スケールの動きを測定する形式のもの
も考えられているが、アームの円弧運動に伴なう
誤差はまぬがれず、いずれにしても満足のいく形
状測定器は得られていないというのが現状であ
る。

本発明の目的は、デジタル量を直読でき、かつ
測定精度も高い形状測定器を提供するにある。

本発明は、ベツドに移動可能に設けられたテー
ブル上に載物台をテーブルの移動方向と直交する
方向に移動可能に設けるとともに、ベツドに立設
されたコラムに取付けられた検出ヘツドに摺動軸
を摺動自在に設け、この摺動軸は下端に載物台に
対向する測定針を備えるとともに途中をプーリを
介して掛け回わされた吊糸を介してバランサウエ
イトを連結させ、前記テーブルおよび摺動軸の動
きをデジタル信号を取出せる検出機構で検出する
ようにして前記目的を達成しようとするものであ
る。

以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。

第１図および第２図により全体の概略構成を説
明する。ベツド１上には、ローラ２を介してテー
ブル３が第１図中左右方向すなわち矢印Ａ方向に
移動自在に設けられている。このテーブル３の下
面にはばね４により縮小方向に付勢される割ナツ
ト５が設けられ、この割ナツト５はヘツド１上に
回転自在に設けられた送りねじ軸６に螺合され、
この送りねじ軸６はベツド１の側方に設けられた
後に詳述する駆動機構７に連結されている。この
駆動機構７を駆動することにより送りねじ軸６を
回転させて割ナツト５を進退させ、これによりテ
ーブル３を第１図中矢印Ａ方向に移動できるよう
にされている。また、割ナツト５にはカム機構８
を介してハンドル９が取付けられ、このハンドル
９を操作することにより割ナツト５はカム機構８
により拡開され、送りねじ軸６との螺合がはずれ
るようにされ、これによりテーブル３は手動によ
り自由に矢印Ａ方向に移動させることができるよ
うにされている。

前記テーブル３の下面には縦縞状の目盛を有す
るガラススケール１０が固着され、このガラスス
ケール１０にはベツド１上に設けられた計測機構
１１が対向されて第１の検出機構が構成され、ガ
ラススケール１０すなわちテーブル３の移動量を
デジタル量で読取れるようにされている。また、
ベツド１の第１図中両端部にはテーブル３の矢印
Ａ方向の移動量を規制するためのリミツトスイツ
チなどからなる検知機構１２がそれぞれ設けられ
ている。

前記テーブル３の上面には、ローラ１３を介し
て被測定物を取付けるための載物台１４が設けら
れ、この載物台１４はテーブル３の移動方向と直
交する方向すなわち第２図中矢印Ｂ方向に移動自
在にされている。この載物台１４とテーブル３と
の間には引張ばね１５が設けられ、これにより載
物台１４は第２図中常時左方向に付勢されるとと
もに、この付勢力に抗する方向にマイクロヘツド
１６のスピンドル１７の先端が当接され、このス
ピンドル１７はブラケツト１８を介してテーブル
３に固定されている。これにより、マイクロヘツ
ド１６を回転させることにより、引張ばね１５の
作用と相俟つて載物台１４を所定量づつ計測しつ
つ矢印Ｂ方向に移動できるようにされている。

前記ベツド１の後部にはコラム１９が立設さ
れ、このコラム１９の前面に設けられたガイド２
０には検出ヘツド２１が上下動可能に取付けられ
ている。この検出ヘツド２１はハンドル２２を回
転させることにより上下動されるとともに、クラ
ンプねじ２３により固定されるようになつてい
る。

第３図は、前記コラム１９の内部構造を示す図
で、コラム１９の内部中心には上下方向に剛性の
大きなコラム調整棒２４が設けられている。この
コラム調整棒２４の外周面所定位置には四面の平
落し加工が施されて角柱部が形成され、これらの
各平面にはコラム１９に進退可能に取付けられた
調整ねじ２５が当接され、これらの調整ねじ２５
を調整することによりコラム１９の曲り等を修正
できるようになつている。

第４図ないし第７図は検出ヘツド２１の内部構
造を示す図で、検出ヘツド２１は前記コラム１９
のガイド２０に係合する蟻溝２６を有するフレー
ム２７を備え、このフレーム２７には前記ハンド
ル２２およびクランプねじ２３が取付けられ、こ
のハンドル２２の中心に設けられた軸２８にはピ
ニオン２９が固着され、このピニオン２９には中
間歯車３０を介して前記ガイド２０に設けられた
ラツク３１に噛合されている。これにより、ハン
ドル２２を回転させるとフレーム２７がラツク３
１に沿つて上下動し、検出ヘツド２１のコラム１
９に対する上下位置を任意に選択できるようにな
つている。

前記フレーム２７の前面はカバー３２により覆
われ、このカバー３２内においてフレーム２７に
は支持フレーム３３を介してガイドブロツク３４
が取付けられている。このガイドブロツク３４は
厚肉角筒状に形成され、このガイドブロツク３４
の内部に貫通形成された角孔３５内には摺動軸と
しての中空の角軸３６が摺動自在に嵌挿されてい
る。この角軸３６の外周四面の中央部には、その
長手方向に溝３７が全長に亘つて形成されてい
る。また、前記ガイドブロツク３４の各面の上下
部には、それぞれ２列３段の空気供給孔３８が設
けられ、これらの空気供給孔３８の外端には図示
しない空気配管が接続されるとともに、内端のノ
ズルは前記角軸３６の各面に設けられた溝３７の
両側の面に対向して開口されている。これによ
り、各空気供給孔３８に圧縮空気が供給される
と、空気供給孔３８の内端のノズルから噴出した
空気が角軸３６と角孔３５との間に入り込み、角
軸３６を角孔３５から浮かした状態にし、いわゆ
る空気軸受が形成されるようになつている。

前記角軸３６の相対向した一対の側面すなわち
第７図中左右の側面の中央には、それぞれ長孔３
９，４０が角軸３６の上下方向の移動距離より長
くなるように設けられている。この左方の長孔３
９内には、ガイドブロツク３４に固定された発光
素子取付台４１の突出部４２が挿入され、この突
出部４２の先端には上下４個の発光素子４３が取
付けられている。一方、右方の長孔４０内には、
縦縞状の目盛を有する長尺のガラスからなるリニ
アスケール４４がはめ込まれている。また、前記
発光素子４３に対向した位置において、リニアス
ケール４４に近接して同じく縦縞状の目盛を有す
るインデツクススケール４５が配置され、このイ
ンデツクススケール４５はガイドブロツク３４に
取付けられた発光素子取付台４６の突出部４７の
先端に固着され、このインデツクススケール４５
の内側において発光素子取付台４６に前記発光素
子４３に対応して上下４個の受光素子４８が取付
けられている。これにより角軸３６のガイドブロ
ツク３４内での上下方向の移動に伴なうリニアス
ケール４４とインデツクススケール４５との相対
移動を発光素子４３と受光素子４８とによりデジ
タル量として読取れるようにされている。また、
これらの発光素子４３、リニアスケール４４、イ
ンデツクススケール４５および受光素子４８によ
り第２の検出機構が構成されている。

前記角軸３６の下端には被測定物の表面に当接
する測定針（スタイラス）４９が取付けられると
ともに、上端には取付板５０を介して吊糸５１の
一端が取付けられている。この吊糸５１は二つの
プーリ５２，５３を掛け回されて他端がバランサ
ウエイト５４の上端に固着され、このバランサウ
エイト５４の重さは角軸３６側よりわずかに軽く
なるようにされ、自然状態で角軸３６がゆつくり
と下がるようにされている。

前記プーリ５２，５３は、それぞれ上部支持フ
レーム５５にスラスト空気筒５６を介して取付け
られた中空軸５７に回転自在に支持されている。
この中空軸５７の一端は閉塞されるとともに、他
端は空気配管５８に接続され、さらに前記プーリ
５２，５３が取付けられる中間部には多数の空気
噴出口５９が設けられ、この空気噴出口５９から
の空気がプーリ５２，５３と中空軸５７との間の
隙間に入つていわゆる空気軸受が形成されるよう
になつている。また、前記スラスト空気筒５６の
内には軸方向に複数本の孔６０が設けられ、この
孔６０の一端は前記プーリ５２，５３の端面に向
つて開口されるとともに、他端は貫孔６１および
周溝６２を介して上部支持フレーム５５に設けら
れた空気孔６３に連通され、この空気孔６３には
空気配管６４が連結されている。これにより、空
気配管６４から供給された空気が空気孔６３、周
溝６２および貫孔６１を通つて孔６０内に入り、
スラスト空気筒５６の端面とプーリ５２，５３の
端面との間に噴出してプーリ５２，５３のスラス
ト面の摩擦が少なくなるようにされている。

前記上部支持フレーム５５にはギヤ付モータ６
５が取付けられ、このモータ６５の出力軸に固定
された巻上プーリ６６にはワイヤ６７の一端が固
着されている。このワイヤ６７の途中は中間プー
リ６８に巻回されたのち、その他端は、案内筒６
９に固着されている。この案内筒６９は、前記上
部支持フレーム５５とガイドブロツク３４に固定
されたブラケツト７０との間に設けられたスプラ
インを有する案内軸７１に上下動自在に設けられ
ている。また、この案内筒６９の上端面には、前
記角軸３６の上端に固定された取付板５０の先端
下面が対向され、この下面に設けられた半球状の
突部７２で案内筒６９の上端面に接触可能にされ
ている。さらに、案内筒６９の側面には鉄板から
なる作動部材７３が固着され、この作動部材７３
が案内筒６９の上下の移動に伴なつて移動可能な
ストロークの上端および下端位置においてそれぞ
れリードスイツチからなる検知機構７４，７５が
設けられている。この検知機構７４，７５は、前
記作動部材７３が侵入可能な溝を有するとともに
（第４図参照）、上部の検知機構７４は上部支持フ
レーム５５に、下部の検知機構７５はブラケツト
７０に取付けられている。これにより、モータ６
５の駆動により案内筒６９が上下動され、この上
下動の上限および下限は作動部材７３と検知機構
７４，７５により検知され、さらに案内筒６９の
上下動に伴ない通常状態では角軸３６が上下動す
るようになつている。なお、第４図中符号７６
は、上部支持フレーム５５に固着された角軸３６
のストツパを示す。

第８図ないし第１２図は駆動機構７の内部構造
を示す図で、駆動機構７はベツド１に固着される
ベースブラケツト７７を備え、このベースブラケ
ツト７７には駆動モータ７８が取付けられてい
る。このモータ７８の出力軸にはカツプリング７
９を介して第１のギヤボツクス８０が連結され、
このギヤボツクス８０は内部にウオーム８１およ
びウオームホイール８２を備えている。この第１
のギヤボツクス８０には中間ギヤ８３，８４を介
して第２のギヤボツクス８５が連結され、この第
２のギヤボツクス８５の入力軸８６には途中には
すば歯車８７およびウオーム８８が固定され、こ
れらのはすば歯車８７およびウオーム８８にはそ
れぞれ第１出力軸８９に固定されたはすば歯車９
０および第２出力軸９１に固定されたウオームホ
イール９２が噛合されている。これにより、第２
のギヤボツクス８５の第１出力軸８９から高速
の、第２出力軸９１から低速の回転数が取出せる
ようになつている。また、これらの第１出力軸８
９および第２出力軸９１の出力側にはそれぞれギ
ヤ９３，９４が固着されている。

前記第２のギヤボツクス８５の出力側ギヤ９
３，９４には、ギヤ・クラツチボツクス９５の第
１、第２ギヤ９６，９７がそれぞれ噛合されてい
る。このギヤ・クラツチボツクス９５は第１〜第
４クラツチ９８，９９，１００，１０１を備え、
これらのクラツチ９８〜１０１の一側すなわち第
２のギヤボツクス８５に面した側には、第１２図
に示されるように、それぞれ第１、第２、第３、
第４ギヤ９６，９７，１０２，１０３が固着さ
れ、この第３、第４ギヤ１０２，１０３は中間ギ
ヤ１０４により連動するようにされている。ま
た、第３ギヤ１０２は出力段ギヤとされている。

前記第１〜第４クラツチ９８〜１０１の他側す
なわち第２ギヤボツクス８５と反対側には、第１
１図に示されるように、それぞれ第５、第６、第
７、第８ギヤ１０５，１０６，１０７，１０８が
固着されている。これらの第５、第６ギヤ１０
５，１０６の間、第５、第７ギヤ１０５，１０７
の間および第６、第８ギヤ１０６，１０８の間は
それぞれ中間ギヤ１０９，１１０，１１１により
連動するようにされている。これにより、各クラ
ツチ９８〜１０１を適宜オン、オフすることによ
つて出力段の第３ギヤ１０２に４種の異なる回転
数を伝達できるようになつている。

すなわち、第１クラツチ９８と第３クラツチ１
００とをオンとし、第２クラツチ９９と第４クラ
ツチ１０１とをオフとすると、第２のギヤボツク
ス８５の高速で回転している側のギヤ９３の回転
が第１ギヤ９６、第１クラツチ９８、第５ギヤ１
０５、中間ギヤ１１０、第７ギヤ１０７および第
３クラツチ１００を経て第３ギヤ１０２に伝達さ
れ（実線の矢印Ａ参照）、一番高速の回転が得ら
れる。次に、第１、第４クラツチ９８，１０１を
オンし、第２、第３クラツチをオフすると、前記
高速のギヤ９３の回転が第１ギヤ９６、第１クラ
ツチ９８、第５ギヤ１０５、中間ギヤ１０９、第
６ギヤ１０６、中間ギヤ１１１、第８ギヤ１０８
および第４クラツチ１０１、第４ギヤ１０３およ
び中間ギヤ１０４を経て第３ギヤ１０２に伝達さ
れ（破線の矢印Ｂ参照）、二番目に高速の回転が
得られる。次に、第２、第３クラツチ９９，１０
０をオンし、第１、第４クラツチ９８，１０１を
オフすると、第２のギヤボツクス８５の低速で回
転している側のギヤ９４の回転が第２ギヤ９７、
第２クラツチ９９、第６ギヤ１０６、中間ギヤ１
０９、第５ギヤ１０５、中間ギヤ１１０、第７ギ
ヤ１０７および第３クラツチ１００を経て第３ギ
ヤ１０２に伝達され（一点鎖線の矢印Ｃ参照）、
三番目に高速の回転数が得られる。次に、第２、
第４クラツチ９９，１０１をオンし、第１、第３
クラツチ９８，１００をオフすると、前記低速の
ギヤ９４の回転が第２ギヤ９７、第２クラツチ９
９、第６ギヤ１０６、中間ギヤ１１１、第８ギヤ
１０８、第４クラツチ１０１、第４ギヤ１０３お
よび中間ギヤ１０４を経て第３ギヤ１０２に伝達
され（二点鎖線の矢印Ｄ参照）、一番低速の回転
が得られる。

前記第３ギヤ１０２には連結板１１２およびク
ラツチ１１３を介して出力回転軸１１４が連結さ
れている。この回転軸１１４は軸受１１５を介し
て前記第２のギヤボツクス８５に支持され、かつ
回転軸１１４の軸受１１５からの突出部には出力
ギヤ１１６および手動回転用プーリ１１７が固定
されている。この出力ギヤ１１６は前記第１図に
おける送りねじ軸６の右端に固定されたギヤ１１
８に噛合され、駆動機構７の駆動力が送りねじ軸
６に伝達されるようになつている。一方、手動回
転用プーリ１１７の周面には、第１０図に示され
るように、手動回転軸１１９の一端に固定された
ゴムバツド１２０が当接可能にされている。この
手動回転軸１１９は、第２のギヤボツクス８５の
上面に設けられた軸受１２１に回転自在かつ摺動
自在に支持され、かつ手動回転軸１１９の他端に
は手動つまみ１２２が軸方向移動可能かつ回転不
可能に設けられ、さらに手動回転軸１１９の端面
には回転軸移動ねじ１２３が螺合されている。こ
のねじ１２３は手動つまみ１２２に軸受メタル１
２４を介して当接され、このねじ１２３を回転さ
せることによりねじ１２３と手動回転軸１１９と
の螺合状態が変化し、これにより回転軸１１９が
軸受１２１内で第１０図中左右方向に移動できる
ようにされている。この回転軸１１９の一端部す
なわち、ゴムバツド１２０が設けられた端部と軸
受１２１との間には圧縮ばね１２５が介装され、
回転軸１１９は常時手動回転用プーリ１１７側に
付勢されている。このため、クラツチ１１３がオ
フされている状態で、かつ、ねじ１２３がゆるめ
られてゴムバツド１２０が手動回転用プーリ１１
７に当接され、手動つまみ１２２が回動される
と、つまみ１２２と回転軸１１９との間に設けら
れた止めねじ１２６と溝１２７との作用により回
転軸１１９が回転され、ゴムバツド１２０に偏心
位置で当接されたプーリ１１７が回転され、出力
回転軸１１４に固定された出力ギヤ１１６が回転
されるようになつている。

なお、第８〜１１図において符号１２８は駆動
機構７のカバーを示し、また第１図において符号
１３０は各駆動部の操作盤を示し、この操作盤１
３０により電源の入切、テーブル３の送り方向お
よび送り速度、ならびに測定針４９の上下動等の
操作を行なえるようになつている。

このような構成において、ギヤ付モータ６５を
駆動し、ワイヤ６７、案内筒６９および取付板５
０を介して角軸３６を上昇させ、測定針４９を載
物台１４から離す。ついで、被測定物を載物台１
４上に固定し、マイクロヘツド１６を操作して被
測定物の被測定断面を設定する。この状態で駆動
機構７を駆動して測定針４９を被測定物の被測定
断面の一端に位置させ、かつ検出ヘツド２１内の
ギヤ付モータ６５を駆動して案内筒６９を最下位
位置すなわち作動部材７３が下方の検知機構７５
により検出される位置に降下させる。これに伴な
い角軸３６も順次降下し、この角軸３６の降下は
測定針４９が被測定物に当接することにより停止
する。ここで測定筒所の微調整を手動などにより
行なう。

ついで、駆動機構７の所定の速度を選択して操
作盤１３０のスイツチを操作すると、駆動機構７
の駆動モータ７８および各クラツチ９８〜１０１
が指令に従つて駆動され、所定方向、所定速度で
送りねじ軸６が駆動される。これにより、送りね
じ軸６に割ナツト５を介して連結されているテー
ブル３が所定方向に送られることとなる。このテ
ーブル３の移動により載物台１４上の被測定物も
移動し、測定針４９は被測定物の表面の凹凸に沿
つて上下動しながら被測定物の所定断面における
表面形状の測定が行なわれることとなる。この
際、角軸３６はガイドブロツク３４に空気軸受に
より支持されるとともに、吊糸５１が掛回わされ
るプーリ５２，５３も空気軸受により支持され、
さらに角軸３６の重量の大部分はバランサウエイ
ト５４とバランスされてわずかな重量のみが測定
針４９を介して被測定物に加わるのみであるから
測定針４９は被測定物の表面形状に十分倣つた測
定ができる。

また、テーブル３の移動量は、ガラススケール
１０と計測機構１１とによりデジタル量として計
測され、一方摺動軸としての角軸３６の移動量は
リニアスケール４４とインデツクススケール４５
との動きを発光素子４３と受光素子４８とにより
デジタル量として計測され、これらの計測値は図
示しない表示装置に表示されるとともに、記録計
に記録されるとともに、プリンタで印字される。
さらに、測定にあたり検出ヘツド２１の上下の位
置決めは、クランプねじ２３を緩めるとともにハ
ンドル２２を動かして行ない、この後クランプね
じ２３で固定する。

上述のように本実施例によれば、被測定物の表
面形状を測定するにあたり、上下方向に直線的に
移動する測定針４９を用いて行なうため、従来の
アーム式では避け得なかつた円弧誤差を全くなく
すことができる。また、測定針４９を有する角軸
３６は空気軸受で支持されるとともに、角軸３６
はバランサウエイト５４によりバランスされ、か
つ吊糸５１も空気軸受で支持されたプーリ５２，
５３で受けられているから、測定針４９の移動は
極めて円滑にでき、従来のように急傾斜のところ
で引掛けたり、折損したりすることがなく、かつ
測定誤差を発生させることが少ない。例えば、従
来の形状測定器においては支点が板ばねとなつて
おり被測定物にたいして測定針が追従する角度は
75度〜78度程度であつたが、空気軸受にしたこと
により83度の傾斜でも容易に上昇することが解つ
た。さらに、測定針４９の移動量およびテーブル
３の移動量は、共にデジタル量で測定できるので
精密な測定を行なうことができる。

なお、実施にあたり、デジタル量を検出する検
出機構は、ガラスなどのスケールと光学素子との
組合によるものに限らず、電磁気的なもの例えば
インダクトシン、マグネスケールなどでもよい。
また、角軸３６やプーリ５２，５３の摺動部は必
ずしも空気軸受としなくともよいが、空気軸受と
した方が摺動抵抗が極めて少なくなり、測定精度
を向上できる。

〔発明の効果〕

本発明は上述の構成を有するものであるから、
次のとおりの効果を奏する。

(1) ベツドに移動可能に設けられたテーブルと、
このテーブルを移動させる駆動機構と、前記テ
ーブルのベツドに対する移動量をデジタル信号
として検出する第１の検出機構を備えているか
ら、被測定物の表面形状の測定に際して一次方
向の移動を直接デジタル信号として直読みで
き、正確に読み取ることができる。

(2) テーブルに設けられた該テーブルの移動方向
に対し直交する方向に移動可能にされた載物台
と、前記ベツドに立設されたコラムに取付けら
れた検出ヘツドと、この検出ヘツドに空気軸受
を介して摺動自在に設けられるとともに下端に
前記載物台に対向される測定針を有する摺動軸
とを備えているから、従来のアーム式では避け
得なかつた円弧誤差を全くなくすことができ
る。また、測定針を有する摺動軸は空気軸受で
支持されるとともに、摺動軸はバランサウエイ
トによりバランスされ摺動軸は非常にスムーズ
に行なえ、誤差を生ずることがない。

(3) この摺動軸に吊糸を介して連結されるととも
に該摺動軸側の重量よりわずかに軽くされたバ
ランサウエイトと、前記吊糸の途中を支持する
空気軸受を有するプーリと、前記摺動軸の移動
量をデジタル信号として検出する第２の検出機
構とを備えているから測定針の移動は極めて円
滑にでき、従来のように急傾斜のところで引掛
けたり、折損したりすることがなく、かつ測定
誤差を発生させることが少ない。例えば、従来
の形状測定器においては支点が板ばねとなつて
おり被測定物にたいして測定針が追従する角度
は75度〜78度程度であつたが、空気軸受にした
ことにより83度の傾斜でも容易に上昇すること
ができる。さらに、測定針の移動量およびテー
ブルの移動量は、共にデジタル量で測定できる
ので精密な測定を行なうことがきる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る形状測定器の一実施例を
示す要部を断面した正面図、第２図は要部を断面
した第１図の拡大右側面図、第３図は第２図の
−線断面図、第４図は第１図の実施例に用いら
れる検出ヘツドの要部を断面した側面図、第５図
は第４図の−線断面図、第６図は第４図の
−線断面図、第７図は第５図の−線断面
図、第８図は第１図の実施例に用いられる駆動機
構の横断面図、第９図は第８図の−線に沿い
かつ要部を切欠いた断面図、第１０図は第８図の
−線断面図、第１１図は第８図のXI−XI線断
面図、第１２図は第１１図のXII−XII線矢視図であ
る。 １……ベツド、３……テーブル、６……送りね
じ軸、７……駆動機構、１０，１１……第１の検
出機構を構成するガラススケールおよび計測機
構、１４……載物台、１６……マイクロヘツド、
１９……コラム、２１……検出ヘツド、３４……
ガイドブロツク、３６……摺動軸としての角軸、
３８……空気供給孔、４３，４４，４５，４８…
…第２の検出機構を構成する発光素子、リニアス
ケール、インデツクススケール、受光素子、４９
……測定針、５１……吊糸、５２，５３……プー
リ、５４……バランサウエイト、５６……スラス
ト空気筒、５７……中空軸、５９……空気噴出
口、６０……孔、６５……ギヤ付モータ、６６…
…巻上プーリ、６７……ワイヤ、６９……案内
筒、７８……駆動モータ、８０……第１のギヤボ
ツクス、８５……第２のギヤボツクス、９５……
ギヤ・クラツチボツクス、１１４……出力回転
軸、１１６……出力軸、１３０……操作盤。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ベツドに移動可能に設けられたテーブルと、
   このテーブルを移動させる駆動機構と、前記テー
   ブルのベツドに対する移動量をデジタル信号とし
   て検出する第１の検出機構と、前記テーブルに設
   けられ該テーブルの移動方向に対し直交する方向
   に移動可能にされた載物台と、前記ベツドに立設
   されたコラムに取付けられた検出ヘツドと、この
   検出ヘツドに空気軸受を介して上下方向摺動自在
   に設けられるとともに下端に前記載物台に対向さ
   れる測定針を有する角形摺動軸と、この摺動軸に
   吊糸を介して連結されるとともに該摺動軸側の重
   量よりわずかに軽くされたバランサウエイトと、
   前記吊糸の途中で該摺動軸とバランサウエイトと
   を均衡支持するとともに空気軸受を介し回動自在
   とされた少なくとも２以上のプーリーと、前記摺
   動軸の上下方向の移動量をデジタル信号として検
   出する第２の検出機構とを備えてなり、前記測定
   子が前記載物台上の被測定物の水平方向の動きに
   伴つて変化するその表面形状に連続追従できるよ
   う構成したことを特徴とする形状測定器。