JPS623887B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はガスの圧力による計量膜の往復運動に
よりガス流量を計量するガス流量計に関する。

従来からの膜式ガス流量計は、計量膜の両側に
計量室を有する筐体２個、すなわち２枚の計量膜
と４個の計量室とで構成されており、各膜の往復
運動がクランク機構を介して２本の切換弁作動杆
の回転運動に変換され、それによつて切換弁を作
動して各計量室へのガスの流れを切換えていた。
クランク機構で円滑な回転運動を得るためには、
２本の作動杆をクランク角で約90度ずらして配置
する必要があり、そのため各筐体からは相互に約
90度ずれた位相でガスが吐出される。しかも切換
弁は徐々に作動されるので、両筐体からは、たと
えばサイン曲線を描いてガスが吐出される。その
ため両筐体から吐出されるガスは、全体として脈
動を生じており、流量が変動する。さらに各計量
室の容積に比べて吐出されるガス量が小さく、ガ
ス流量計が大形になる欠点があつた。また従来の
ガス流量計では、ガスの入口および出口が同一方
向に向けて配設されており、ガス流量計内の流通
経路が複雑で圧力損失が比較的大きいだけでな
く、複雑な配管経路で配管を取付ける必要があつ
た。

本発明は上述の技術的課題を解決して低圧力損
失でかつ脈動を防止したコンパクトなガス流量計
を提供することを目的とする。

以下、図面によつて本発明の実施例を説明す
る。第１図は本発明の一実施例の断面図である。
筐体１内には計量膜２によつて仕切られて２つの
計量室３，４が形成される。計量室３には、第１
図のごとく中立状態にある計量膜２に平行な直線
上に軸線を有する入口弁孔５ａと出口弁孔５ｂと
が形成される。同様にして計量室４には、計量膜
２に平行な直線上に軸線を有する入口弁孔６ａと
出口弁孔６ｂとが形成される。筐体１の入口弁孔
５ａ，６ａの外方には、入口ガス室７が共通に設
けられ、また出口弁孔５ｂ，６ｂの外方には出口
ガス室８が共通に設けられる。入口ガス室７に流
入したガスは、後述のごとく、瞬間的に切換動作
される切換弁１０によつて、両計量室３，４に交
互に流入されるとともに、両計量室３，４から出
口ガス室８に交互に流出される。それによつて、
計量膜２および計量膜２と一体的な第１作動杆１
１が第１図の左右に往復移動され、応じて第２作
動杆１２が第１作動杆１１の直角方向に往復移動
される。この第２作動杆１２の一端部には永久磁
石１３が固着されており、この永久磁石１３の往
復移動に連動するカウンタ１４によつてガスの流
量が計量される。

切換弁１０は、一対の駆動棒１５，１６と、各
駆動棒１５，１６の両端部にそれぞれ固着された
平板状の弁体１７と、駆動棒１５，１６の両端部
を連結する一対の連結杆１８，１９とを含む。駆
動棒１５は、計量室３の入口および出口弁孔５
ａ，５ｂを同一軸線で移動自在に貫通する。同様
にして駆動棒１６は、計量室４の入口および出口
弁孔６ａ，６ｂを同一軸線で移動自在に貫通す
る。弁体１７は、各駆動棒１５，１６の両端部
に、各駆動棒１５，１６の軸線に直角に固着され
る。連結杆１８，１９の両端部は、駆動棒１５，
１６の両端部にピン結合される。連結杆１８は、
駆動棒１５の一端部から両駆動棒１５，１６の中
央位置よりも駆動棒１６寄りにまで延びる板ばね
部分１８ａと、その板ばね部分１８ａから駆動棒
１６の一端部までの剛性部分１８ｂとから成る。
連結杆１９は、同様にして、駆動棒１５の他端部
から両駆動棒１５，１６の中央位置よりも駆動棒
１６寄りにまで延びる板ばね部分１９ａと、その
板ばね部分１９ａから駆動棒１６の他端部までの
剛性部分１９ｂとから成る。両連結杆１８，１９
は、板ばね部分１８ａ，１９ａと剛性部分１８
ｂ，１９ｂとの連結部で、駆動棒１５，１６の軸
線に直角なピン２０，２１によつて筐体１に揺動
枢支される。

第２図は第１作動杆１１および第２作動杆１２
付近の斜視図である。計量膜２の中央部には、膜
板２ａが装着されている。計量室４において膜板
２ａの中央部には、膜板２ａと直角に延びる第１
作動杆１１の一端部が固着される。第１作動杆１
１の途中において、第１作動杆１１と直角に交差
するようにして第２作動杆１２が設けられる。第
１作動杆１１および第２作動杆１２は、その長手
方向に移動自在であつて、第２図の仮想線で示す
ガイド２２によつて案内される。なお第１図にお
いて、このガイド２２は簡略化のために省略され
ている。第１作動杆１１の途中には、第１摺接片
２３が固着されており、第２作動杆１２の他端部
には第２摺接片２４が固着される。第１摺接片２
３には第２作動杆１２の移動方向両端部に摺接面
２３ａ，２３ｂが形成され、第２摺接片２４には
対応の摺接面２４ａ，２４ｂが形成される。

スナツプアクシヨン作動手段としてのねじりば
ね２５が、第１作動杆１１および第２作動杆１２
の移動方向に直角な軸２７を緩やかに外囲して設
けられる。ねじりばね２５の一端部は第１作動杆
１１の他端部にピン結合され、他端部は第２作動
杆１２の途中にピン結合される。駆動棒１６を作
動させるための駆動棒作動手段２６は、一端部が
第２作動杆１２の途中に直角に固着された板ばね
部分２６ａと、一端部が板ばね部分２６ａの他端
部に第１図の紙面に垂直なピン２６ｂを介して連
結されかつ他端部が駆動棒１６の途中にピン結合
された剛性部分２６ｃとを含む。このように板ば
ね部分２６ａを、ピン２６ｂおよび剛性部分２６
ｃを介して駆動棒１６に連結することによつて、
駆動棒１６と第２作動杆１２との長手方向の相対
的な移動が可能となる。

計量膜２および切換弁１０が第１図のごとき状
態にあるときに、入口ガス室７にガスが流入して
きた場合を想定する。このとき、計量室３の入口
弁孔５ａは弁体１７で塞がれており、計量室４の
入口弁孔６ａは開かれているので、ガスは入口ガ
ス室７から計量室４内に流入される。計量室４の
出口弁孔６ｂは弁体１７で塞がれているので、計
量室４内に流入されたガスの圧力によつて、計量
膜２は計量室３側に押圧変位される。この計量膜
２の変位によつて、計量室３内のガスは、開かれ
ている出口弁孔５ｂから出口ガス室８に流出され
る。

計量膜２の計量室３側への変位に応じて、第１
作動杆１１も一体的に矢符２８の方向に移動され
る。この第１作動杆１１の矢符２８の方向への移
動によつて、ねじりばね２５には、第２作動杆１
２を矢符２９の方向に付勢する力が蓄積される。
このとき第１摺接片２３の摺接面２３ａと第２摺
接片２４の摺接面２４ａとは相互に摺接されてお
り、第１摺接片２３が第２摺接片２４よりも計量
膜２側に変位されるまで第２作動杆１２の矢符２
９の方向への移動は抑えられている。そして第１
および第２摺接片２３，２４の摺接が外れたとき
に、第３図のごとく第２作動杆１２は、ねじりば
ね２５のばね力によつて矢符２９の方向に瞬間的
に移動される。

第２作動杆１２の矢符２９の方向への移動によ
つて、駆動棒作動手段２６の板ばね部分２６ａに
は駆動棒１６を矢符３０の方向に付勢する力が生
じる。それによつて駆動棒１６は矢符３０の方向
に瞬間的に移動され、応じて駆動棒１５は連結杆
１８，１９を介して矢符３１の方向に移動され
る。そのため計量室４の入口弁孔６ａが閉じられ
て出口弁孔６ｂが開かれるとともに、計量室３の
入口弁孔５ａが開かれて出口弁孔５ｂが閉じられ
る。連結杆１８，１９は両駆動棒１５，１６の中
央位置よりも駆動棒１６寄りでピン２０，２１に
よつて枢支されているので、連結杆１８，１９の
板ばね部分１８ａ，１９ａには駆動棒１５を矢符
３１方向に付勢する力が生じる。そのため計量室
３の出口弁孔５ｂにおいて弁体１７が弁座に密着
されて確実にシールされる。

切換弁１０の切換動作に応じて、入口ガス室７
のガスは入口弁孔５ａから計量室３内に流入され
る。計量室３の出口弁孔５ｂは閉じられているの
で、計量室３内に流入されたガスの圧力によつ
て、計量膜２は計量室４側に押圧変位される。こ
お計量膜２の計量室４側への変位によつて、計量
室４内のガスは開かれている出口弁孔６ｂから出
口ガス室８に流出される。

計量膜２の計量室４側への変位に応じて第１作
動杆１１も矢符２８と逆方向に一体的に移動され
る。この第１作動杆１１の矢符２８と逆方向の移
動によつて、ねじりばね２５には、第２作動杆１
２を第３図の状態から矢符２９と逆方向に付勢す
るばね力が蓄積される。このとき第１摺接片２３
の摺接面２３ｂと第２摺接片２４の摺接面２４ｂ
とは相互に摺接されており、第１摺接片２３が第
２摺接片２４に関して計量膜２と反対側の位置に
変位されるまで、第２作動杆１２の矢符２９と逆
方向への移動は抑えられる。そして第１および第
２摺接片２３，２４の摺接が外れたときに、第２
作動杆１２は第４図のごとく、ねじりばね２５の
ばね力によつて矢符２９の逆方向に瞬間的に移動
される。

第２作動杆１２の矢符２９と逆方向への移動に
よつて、駆動棒作動手段２６の板ばね部分２６ａ
には、駆動棒１６を矢符３０と逆方向に付勢する
力が生じる。それによつて駆動棒１６は矢符３０
と逆方向に瞬間的に移動され、応じて駆動棒１５
は、連結杆１８，１９を介して矢符３１の逆方向
に移動される。そのため計量室４の入口弁孔６ａ
が開かれて出口弁孔６ｂが閉じられるとともに、
計量室３の入口弁孔５ａが閉じられて出口弁孔５
ｂが開かれる。このときにも前述と同様に、計量
室３の入口弁孔５ａにおいて弁体１７が板ばね部
分１８ａ，１９ａのばね力によつて弁座に密着さ
れ、確実なシールが達成される。

このようにして、切換弁１０の切換動作によつ
て入口ガス室７のガスが計量室３，４に交互に流
入されるとともに計量室３，４から出口ガス室８
に交互に流出され、応じて第２作動杆１２がその
長手方向に往復動作される。それによつて、第２
作動杆１２の一端部に固着された永久磁石１３に
連動してカウンタ１４が動作して、ガスの流量が
計量される。

第５図は本発明の他の実施例のスナツプアクシ
ヨン作動手段の斜視図であり、第１図〜第４図の
実施例に対応する部分には同一の参照符を付す。
この実施例では、第１作動杆１１および第２作動
杆１２に直角な軸３５に歯車３６，３７が個別的
に回転自在に挿嵌される。この歯車３６，３７
は、軸３５を外囲するつる巻ばね３８によつて連
結される。第１作動杆１１には歯車３６に噛合す
る歯３９が移動方向に沿つて形成される。また第
２作動杆１２には歯車３７に噛合する歯４０が移
動方向に沿つて形成される。

第１作動杆１１が計量膜２（第１図参照）と一
体的に矢符２８の方向に移動する場合を想定す
る。この第１作動杆１１の矢符２８の方向への移
動に応じて、歯３９に噛合した歯車３６は軸３５
のまわりに矢符４１の方向に回転する。この歯車
３６の矢符４１方向への回転によつて、つる巻ば
ね３８には歯車３７を矢符４１方向に付勢するば
ね力が蓄積される。そして第１および第２摺接片
２３，２４の摺接が外れると、つる巻ばね３８の
ばね力によつて歯車３７が瞬間的に矢符４１の方
向に回転され、応じて第２作動杆１２が矢符２９
の方向に瞬間的に移動される。この第２作動杆１
２の矢符２９方向への移動に応じて切換弁１０
（第１図参照）が第１図〜第４図の実施例と同様
に切換動作される。

第１作動杆１１が矢符２８と逆方向に移動する
場合においても、前述と同様にして第２作動杆１
２は矢符２９の逆方向に瞬間的に移動される。

この実施例によれば、第１図〜第４図の実施例
において、ねじりばね２５が占めていた空間が不
要となり、筐体１を小形化することができる。

第１図〜第４図および第５図の各実施例におい
ては、ねじりばね２５およびつる巻ばね３８のば
ね力が第１作動杆１１を介して計量膜２に伝えら
れ、しかもそのばね力が第１作動杆１１の移動に
応じて変動する。そのため計量室３，４に流入さ
れたガスが、計量膜２を変位させるための力は計
量膜２の変位に応じて変化し、したがつて計量室
３，４内におけるガスの圧力損失が脈動する。こ
の圧力損失の脈動を防ぐための手段を次に述べ
る。

第６図は本発明の他の実施例の正面図であり、
第１図〜第４図の実施例に対応する部分には同一
の参照符を付す。腕４５とその腕４５の中央部に
直角に固着された腕４６とから成るＴ字状の揺動
杆４７が、腕４５，４６の連結部でピン４８によ
つて枢支される。ピン４８は第１および第２作動
杆１１，１２に直角である。腕４５の一端部は、
第１作動杆１１の途中の連結位置４９に補償ばね
５０を介して連結される。腕４５の他端部は補償
ばね５１を介して第１作動杆１１の連結位置４９
に連結される。腕４６の端部は、一端部が第２作
動杆１２にピン結合された連結部材５３の他端部
にピン５４を介して連結される。ピン５４はピン
４８に平行である。

第７図は第１作動杆１１が矢符２８の方向に移
動するにつれて動作する経過を示す正面図であ
り、第８図は補償ばね５０が第１作動杆１１に作
用する力Ｆ１を示すグラフであり、第９図は、補
償ばね５１が第１作動杆１１に作用する力Ｆ２を
示すグラフである。第８図および第９図において
縦軸は矢符２８方向に作用する力が正である。第
７図１は第１図〜第４図の実施例の第４図に対応
する状態であつて、第１作動杆１１が計量室４側
に最大限変位された状態を示す。このときの補償
ばね５０，５１の第１作動杆１１に作用する力
は、第８図および第９図の位置Ａで示される。補
償ばね５０は第１作動杆１１を矢符２８の方向に
付勢し、補償ばね５１は、補償ばね５０のばね力
よりも小さな力で第１作動杆１１を矢符２８の逆
方向に付勢する。

第１作動杆１１の矢符２８方向の移動につれて
揺動杆４７はピン４８のまわりに矢符５５の方向
に回動される。第１作動杆１１が第７図(2)の位置
に達したときの、補償ばね５０，５１の第１作動
杆１１に作用する力は第８図および第９図の位置
Ｂで示される。このとき、補償ばね５１のばね力
が作用する方向は、第１作動杆１１に直角な方向
であつて、矢符２８に沿う方向の力は第１作動杆
１１に作用しない。

第７図(3)の状態に達したとき、補償ばね５０，
５１が第１作動杆１１に作用する力は第８図およ
び第９図の位置ｃで示される。このときには、補
償ばね５０，５１ともに第１作動杆１１に矢符２
８方向の力が作用する。

第７図(4)の状態に達したときに、補償ばね５
０，５１が第１作動杆１１に作用する力は第８図
および第９図の位置Ｄで示される。このとき、補
償ばね５０のばね力が作用する方向は、第１作動
杆１１に直角な方向であつて、補償ばね５０の矢
符２８に沿う力は零である。

第７図(5)は第１作動杆１１が計量室３側に最大
限変位された状態を示す。このときの補償ばね５
０，５１の第１作動杆１１に作用する力は第８図
および第９図の位置Ｅで示される。この状態で第
１および第２摺接片２３，２４の摺接が外れ、補
償ばね５０，５１のばね力によつて、腕４６、ピ
ン５４および連結部材５３を介して、第２作動杆
１２は矢符２９方向に瞬間的に移動される。この
第２作動杆１２の移動に応じて前述の駆動棒作動
手段２６を介して駆動棒１６が移動され、切換弁
１０が瞬間的に切換動作される。

第１０図は補償ばね５０，５１の第１作動杆１
１に作用する力Ｆ１，Ｆ２を合成した力Ｆを示す
グラフである。第１０図からわかるように、第１
作動杆１１に作用する力は、第１作動杆１１の位
置に拘らず、ほぼ一定である。そのため計量膜２
に作用する力がほぼ一定となり、計量室３，４内
におけるガスの圧力損失は脈動を生じることなく
ほぼ一定とされる。

第１１図は本発明の他の実施例の断面図であ
り、第１図〜第４図の実施例に対応する部分には
同一の参照符を付す。この実施例は第１図〜第４
図の実施例に類似するが、注目すべきは、スナツ
プアクシヨン作動手段として、前述のつる巻ばね
２５に加えて圧縮ばね７５が設けられることであ
る。圧縮ばね７５の一端部は、つる巻ばね２５の
第１作動杆１１への連結位置に連結され、他端部
は筐体１に連結される。この圧縮ばね７５は、第
１１図のように計量膜２が中立状態にあるとき
に、第１作動杆１１に直角であり、その伸長方向
にばね力を有する。

第１作動杆１１が計量膜２と一体的に第１１図
の状態から矢符２８の方向に移動する場合を想定
する。第１作動杆１１が第１１図の状態から矢符
２８の方向に移動すると、圧縮ばね７５は仮想線
のごとく傾斜して、圧縮ばね７５のばね力の矢符
２８方向に沿う分力が生じる。その分力によつて
第１作動杆１１および計量膜２には、矢符２８方
向の押圧力が作用する。このとき、第２作動杆１
２の矢符２９方向への移動は抑えられているの
で、第１作動杆１１にはつる巻ばね２５の矢符２
８と逆方向のばね力が作用している。そのため、
第１作動杆１１および計量膜２には、圧縮ばね７
５の矢符２８方向のばね力と、つる巻ばね２５の
矢符２８と逆方向のばね力とが作用することにな
る。したがつて計量膜２には、第６図〜第１０図
の実施例と同様に、計量膜２の変位に拘らずほぼ
一定の力が作用する。

第１作動杆１１が矢符２８と逆方向に移動する
場合には、つる巻ばね２５の矢符２８方向のばね
力と、圧縮ばね７５の矢符２８と逆方向のばね力
とが作用する。したがつてこの場合にも、計量膜
２にはその変位に拘らずほぼ一定の力が作用す
る。

第１２図は本発明の他の実施例の断面図であ
り、第１３図は第１２図の切断面線−か
ら見た断面図であり、第１図〜第４図の実施例に
対応する部分には同一の参照符を付す。この実施
例ではガスの温度に対応して計量膜２の変位量を
変化させて、ガス流量の温度補正が行なわれる。
計量膜２の膜板２ａの端部には、膜板２ａとほぼ
平行に延びるバイメタル５５の一端部が固定され
る。バイメタル５５の他端部は膜板２の中央部付
近でピン５６を介して変位棒５７の一端部に連結
される。変位棒５７は第１作動杆１１と平行に延
びる。第１作動杆１１に固着された第１摺接片２
３には、第１作動杆１１の移動方向に延びる透孔
５８が形成される。変位棒５７の他端部には、透
孔５８を変位自在に挿通する摺接片５９が固着さ
れる。

計量膜２の面積をＳ、計量膜２の移動量をｌ、
本件ガス流量計を通過したガス量をＶとすれば、
ガスの計数値Ｎは、計量膜２の往復動の回数とし
てあらわされるので、 Ｎ＝Ｖ／Ｓ・ｌ ……(1) である。ここでＳ・ｌは計量膜２の１往復動で出
口ガス室８に吐出されるガス量である。ガスの温
度０℃におけるガス量をV₀とするとガス温度ｔ
℃のときのガス量は Ｖ＝V₀ｔ＋２７３／２７３ ……(2) である。(1)式および(2)式から Ｎ＝V₀ｔ＋２７３／２７３・Ｓ・ｌ ……(3) となる。ここで計量膜２の移動量ｌを絶対温度
（ｔ＋273）に比例させる。すなわち比例定数をα
として、 ｌ＝α（ｔ＋273） ……(4) とすると、(3)式から Ｎ＝V₀１／２７３・Ｓ・α ……(5) となり、計数値Ｎはガス温度の変動に無関係に温
度０℃のガス量を示す。

この実施例では、摺接片５９の移動量をバイメ
タル５５の作用によつて（ｔ＋273）に比例させ
る。そうすることによつて、計量膜２の変位距離
がガスの温度によつて制御される。したがつて(5)
式のごとく計数値Ｎを、ガス温度の変動に無関係
に温度０℃のガス量を基準として表わすことがで
きる。

第１４図は本発明の他の実施例の断面図であ
り、第１図〜第４図の実施例に対応する部分には
同一の参照符を付す。この実施例では、ガスの圧
力に対応して計量膜２の変位量を変化させてガス
流量の圧力補正が行なわれる。計量室４側の膜板
2aの中央部には、円筒状のベロー６０および端板
６１によつて、空間６２が気密に形成される。第
１作動杆１１は、支持腕６３によつて膜板２ａに
固定される。第１作動杆１１に固着された第１摺
接片２３には、第１作動杆１１の移動方向に延び
る透孔６４が形成される。空間６２の端板６１に
は、第１作動杆１１と平行に延びる第１変位棒６
５の一端が固着される。第１変位棒６５の他端部
には、その長手方向に沿つて歯６６が形成され
る。この歯６６に噛合う歯車６７の軸には半径方
向に延びる揺動杆６８が一体的に設けられる。第
１変位棒６５と平行に延びる第２変位棒６９の一
端部は揺動杆６８の端部にピン結合される。第２
変位棒６９の他端部には、摺接片７０が固着され
る。この摺接片７０は、第１摺接片２３の透孔６
４に変位自在に挿通される。

１気圧におけるガス量をV₀′とすると、ガス圧
力ｐのときのガス量Ｖ_pは、 Ｖ_p＝V₀′・１／ｐ ……(6) であらわされる。また計数値Ｎは、 Ｎ＝Ｖ_ｐ／Ｓ・ｌ ……(7) であらわされる。(6)式および(7)式から Ｎ＝Ｖ_０′／Ｓ・ｌ・１／ｐ ……(8) となる。ここで計量膜２の変位量ｌを（１／ｐ）
に比例させる。すなわち、比例定数をβとして、 ｌ＝β・１／ｐ ……(9) とすると、(8)式から Ｎ＝Ｖ_０′／Ｓ・β ……(10) となり、計数値Ｎはガス圧力の変動に無関係に１
気圧のときのガス量を基準とした値を示す。

この実施例では、空間６２を真空状態に保つ。
そうすると、ベロー６０および端板６１の伸縮量
は、ガスの圧力ｐに比例する。この端板６１の伸
縮量は、第１変位棒６５、歯車６７および揺動杆
６８を介して、第２変位棒６９の（１／ｐ）に比
例する移動量に変換される。それによつて、摺接
片７０の移動量を（１／ｐ）に比例させることが
でき、計量膜２の移動量がガスの圧力によつて制
御される。したがつて(10)式のごとく、ガス圧力の
変動に無関係に、計数値Ｎを１気圧のときのガス
量を基準として表わすことができる。

本発明の他の実施例として空間６２内にガスを
封入する。そうすればベロー６０および端板６１
の伸縮量は、ガスの絶対温度に比例し、ガスの圧
力に逆比例する。すなわち ｌ∝（２７３＋ｔ）／ｐ ……(11) となり、計数値Ｎの温度補正および圧力補正を同
時に行なうことができる。

上述のごとく本発明によれば、１枚の計量膜に
よつて２つの計量室を形成し、計量膜の動きに応
じてスナツプアクシヨン作動手段のばね力を蓄積
し、第１摺接片と第２摺接片との摺接が外れたと
きにスナツプアクシヨンによつて切換弁を切換え
るようにしたので、ガス流量が脈動を生じること
なく安定化され、しかも流量計を小形化すること
ができる。また両計量室の入口および出口弁孔を
一直線上に配設したので、ガスの流通経路が単純
であり、圧力損失を抑えることができるととも
に、配管経路を単純化することができて配管工事
が容易となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は
第１作動杆１１および第２作動杆１２付近の斜視
図、第３図および第４図は動作状態を示す第１図
に対応した断面図、第５図は本発明の他の実施例
の斜視図、第６図は本発明の他の実施例の正面
図、第７図は第６図の動作経過を示す正面図、第
８図は第７図の補償ばね５０が第１作動杆１１に
作用するばね力Ｆ１を示すグラフ、第９図は第７
図の補償ばね５１が第１作動杆１１に作用するば
ね力Ｆ２を示すグラフ、第１０図は補償ばね５
０，５１のばね力Ｆ１，Ｆ２の合成力Ｆを示すグ
ラフ、第１１図は本発明の他の実施例の断面図、
第１２図は本発明の他の実施例の断面図、第１３
図は第１２図の切断面線−から見た断面
図、第１４図は本発明の他の実施例の断面図であ
る。 １……筐体、２……計量膜、３，４……計量
室、５ａ，６ａ……入口弁孔、５ｂ，６ｂ……出
口弁孔、１０……切換弁、１１……第１作動杆、
１２……第２作動杆、１４……カウンタ、１５，
１６……駆動棒、１７……弁体、１８，１９……
連結杆、２３……第１摺接片、２４……第２摺接
片、２５……ねじりばね、２６……駆動棒作動手
段、５０，５１……補償ばね、７５……圧縮ば
ね。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 一枚の計量膜で仕切られた２つの計量室を有
   し、しかも計量膜は各計量室寄りに変位可能であ
   り、各計量室にガスの入口弁孔および出口弁孔を
   それぞれ備える筐体、 一方の計量室の入口弁孔が開状態のときその一
   方計量室の出口弁孔が閉状態となりかつ他方の計
   量室の入口弁孔が閉状態となりかつその他方計量
   室の出口弁孔が開状態となるようにする切換弁で
   あつて、 前記両計量室の入口弁孔および出口弁孔間にわ
   たつて移動自在に延びる一対の駆動棒、 駆動棒の両端部に固着され入口弁孔および出口
   弁孔を塞ぐための弁体、および 前記一対の駆動棒の両端部に両端部がピン結合
   されるとともに両駆動棒の中央位置よりも一方側
   にずれた位置で駆動棒の軸線に直角な軸線まわり
   に揺動自在に筐体に枢支された一対の連結杆を含
   む切換弁、 計量膜に一端部が固着されかつその計量膜の変
   位方向に移動自在である第１作動杆、 第１作動杆に交差する方向に移動自在の第２作
   動杆、 第１作動杆に固着されかつ第２作動杆の移動方
   向両端部に摺接面を有する第１摺接片、 第２作動杆に固着されかつ第１摺接片の両摺接
   面に摺接可能な第２摺接片、 第１作動杆がその移動方向の一方寄りにあると
   き第１摺接片の一方の摺接面に向けて第２摺接片
   をばね付勢し、第１作動杆がその移動方向の他方
   寄りにあるとき第１摺接片の他方の摺接面に向け
   て第２摺接片をばね付勢するスナツプアクシヨン
   作動手段、 第２作動杆の移動に応じて前記一方の駆動棒を
   第２作動杆の移動方向に移動させる駆動棒作動手
   段、ならびに 第２作動杆の変位を検出するカウンタを含むこ
   とを特徴とするガス流量計。 ２ 前記連結杆の少なくとも前記他方の駆動棒か
   ら前記枢支位置までの部分はばねから成ることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガス流量
   計。 ３ 前記スナツプアクシヨン作動手段は前記第１
   作動杆および第２作動杆の移動方向に直角な軸を
   緩やかに外囲しかつ両端部が第１作動杆および第
   ２作動杆にそれぞれピン結合されたねじばねであ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   ガス流量計。 ４ 前記スナツプアクシヨン作動手段は、前記第
   １作動杆および第２作動杆にそれらの移動方向に
   沿つて形成された歯、第１作動杆および第２作動
   杆の移動方向に直角な軸に個別的に回転自在にそ
   れぞれ枢支されかつ前記歯にそれぞれ噛合する一
   対の歯車ならびに前記軸を外囲して両歯車を連結
   するつる巻ばねを含むことを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載のガス流量計。 ５ 前記スナツプアクシヨン作動手段は、第１作
   動杆の移動方向に沿つて相互に逆向きの力を与え
   る一対の補償ばねを含み、各補償ばねのばね力は
   前記計量膜の変位に拘らずその計量膜に働く力が
   ほぼ一定となるように選ばれていることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載のガス流量計。 ６ 前記スナツプアクシヨン作動手段は、前記第
   １作動杆および第２作動杆の移動方向に直角な軸
   を緩やかに外囲しかつ両端部が第１作動杆および
   第２作動杆にそれぞれピン結合されたねじりばね
   と、ねじりばねの第１作動杆に作用するばね力と
   逆向きの力を第１作動杆に作用するばねとを含
   み、各ばねのばね力は前記計量膜の変位に拘らず
   その計量膜に働く力がほぼ一定となるように選ば
   れていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載のガス流量計。 ７ 前記駆動棒作動手段は、第２作動杆の移動に
   応じて前記一方の駆動棒をその移動方向にばね付
   勢することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載のガス流量計。 ８ 前記駆動棒作動手段は、一端部が第２作動杆
   にその移動方向と直角に固着された板ばね部分
   と、一端部が板ばね部分の他端部にピン結合され
   他端部が前記一方の駆動棒にピン結合された剛性
   部分とを含むことを特徴とする特許請求の範囲第
   ８項記載のガス流量計。 ９ 前記第１摺接片には前記第１作動杆の移動方
   向に延びる透孔が形成され、その透孔を変位自在
   に挿通する他の摺接片をバイメタルによつて第１
   作動杆の移動方向に変位させるようにしたことを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガス流量
   計。 １０ 前記第１摺接片には前記第１作動杆の移動
   方向に延びる透孔が形成され、前記計量膜には前
   記第１作動杆の移動方向に伸縮自在の気密な空間
   を設け、前記透孔を変位自在に挿通する他の摺接
   片を前記空間の伸縮に対応して変位させるように
   したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   のガス流量計。 １１ 前記空間を大気圧よりも低い減圧状態に保
   つことを特徴とする特許請求の範囲第１０項記載
   のガス流量計。 １２ 前記空間内にガスを封入したことを特徴と
   する特許請求の範囲第１０項記載のガス流量計。