JPS6239181A - 硬質物切断用内周刃 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、シリコン等の各種半導体材料、セラミック
ス、タングステン、カーバイト、宝石等の硬質物を切断
するための硬質物切断用内周刃に関するものである。

（従来の技術） 第４図及び第５図に示すように、従来の硬質物切断用内
周刃は、ダイヤモンド又は立方晶窒化ほう素の粉末αυ
を、外周まで一体となった幅の広い環状の薄い鋼板＠の
内周部（２）に結着し、このような環状の薄い鋼板（２
）の外周部を太鼓の皮を張るように張り上げ治具によっ
て均等な強い張力で張り上げることにより形成されるも
のである。

（発明が解決しようとする問題点） このような従来技術によれば、例えば、半導体材料とし
て最近大量に生産されているシリコン単結晶の外径が８
インチ（２０３，２φ）以下であれば、これを何とか精
度良く高能率にしかも歩留り良く切断することができる
のであるが、上記シリコン単結晶の外径が８〜１２イン
チにもなると、内周刃の外径が６５０〜９５０１■にも
大きくなり、薄い鋼板の材料の入手が非常に困難になる
。

６００ｆｌφまでは０．１ｆｌ位の薄い鋼板としてはス
テンレス鋼が豊富にあるが、６５０龍φを取れる素材の
入手は非常に困難で、あったとしても厚みが０．１５　
ｆｉ以上と厚くなる。しかも材質が焼入れできないステ
ンレスの５ＵＳ３０４Ｌかないので引張強度も７５ｋｓ
ｒ／−と小さく、張り上げ時の強度も弱く又伸びも大き
いため、楕円になり、回転中に真円度が必要な高精密切
断では、偏摩耗が発生して耐久性は勿論のこと、切断精
度が著しく悪くなる。

このため、シリコンの材料歩留りを犠牲にして、ステン
レス鋼板の厚さを０．１５鶴以上にして強度を持たせる
ので、ダイヤ等の結着部の厚さも０．３２ｕ＋以上とな
るのが現状である。６インチ（１５２，４φ）までのシ
リコン単結晶は、刃厚が０．２２關の内周刃で切断して
いるので、材料歩留りは５０％も悪くなる。

（問題点を解決するための手段） この発明は、このような従来技術の問題点を解決するた
めになされたものであり、この発明によればダイヤモン
ド又は立方晶窒化ほう素の粉末を、外周まで一体となっ
た幅の広い環状の薄い鋼板の内周部に結着し、このよう
な環状の薄い鋼板の外周部を太鼓の皮を張るように均等
な強い張力で張り上げることにより形成していた硬質物
切断用内周刃において、上記環状の薄い鋼板を幅の狭い
環状の薄い鋼板即ちリングとし、該リングの内周部に上
記粉末を結着し、このようなリングを中心として焼入れ
又は熱処理された鋼帯を放射状に多数配列して上記リン
グを均等な強い張力で張り上げることにより形成した硬
質物切断用内周刃が提供される。

上記構成において、ダイヤモンド又は立方晶窒化ほう素
の粉末は、電気メッキ又は無電解メッキにより電着され
ることにより、又は金属粉末の焼結により、リングの内
周部に結着することができるものであるが、これらに限
定されるものではない。

（作用） 上記の技術的手段は次の様に作用する。

従来の外周まで一体となった幅の広い環状の薄い鋼板の
代りに、幅の狭い薄い鋼板即ちリングを使用することに
よって、薄い素材の入手が容易となり、これによって材
料の歩留りは向上し、被切断物を精度良く高能率に切断
することができるように作用する。

次に、上記リングを放射状に多数配列した鋼帯によって
張り上げることによって、リングの内径の真円度をよく
して切断精度を向上することができると共に、内周刃の
耐久性を向上することができるように作用する。

（実施例） この発明の一実施例を図面について説明すれば、（１１
は幅の狭い薄い鋼板即ちリングであり、高速度鋼（ＳＫ
Ｈ−９）’ｔ’熱処理し、厚さ０．１０鶴、内径１８４
醋、外径２０４　ｍに仕上げられ、その外周側１９４鶴
φに幅１ｆｉ、長さ８ｆｌのスリット（２）が１２鰭ピ
フチでリング（１）と同心に４８本穿設されている。

上記リング（１）の内周部即ち内周端より２ａｍの幅の
表裏両面に、４０〜６０ミクロンのダイヤモンド粉末（
３）を電気メッキによって電着する。

上記リング（１１に設けられた各スリット（２）には、
厚さ０．０５ｍ、幅７．９．ｔｍ、長さ３６０ｗ（ｒ）
熱処理されたマルエージング鋼（引張強度３００　ｋｇ
　／　ｒｍＡ）による鋼帯（４）が通され、上記スリッ
ト（２）のところで中折れ状にして重ねられ、リング（
１）に対して放射状に配列される。

上記鋼帯（４）には、上記リング（１）の中心より２６
６．７ｍの位置にそれぞれ７龍φの孔が設けられ、これ
にピン（５）が挿嵌されてそれぞれ環状枠（６）に固定
され、図示しない張り上げ治具によって均等で強力な張
力（従来の２倍で約１２０ｋｇ／−）で張り上げる。

このようにして形成された硬質物切断用内周刃は、伸び
の測定でも内径の真円度は±５ミクロン以下で、従来品
に比較して１／４以下である。

（発明の効果） 以上に説明したように、本発明は、幅の狭い環状の薄い
鋼板即ちリングとこのリングの外側に放射状に多数配列
された鋼帯との組合せによって、上記リングを均等な強
い張力で張り上げることにより形成した硬質物切断用内
周刃であるから、被切断物が相当大きなものであっても
、薄い鋼板の素材の入手が容易であり張り上げた場合の
強度が大きく真円度がよく精度が悪くならないので、製
作が容易であり精度良く耐久性よく使用することができ
、歩留り良く切断することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図はこの発明による硬質物切断用内周
刃の一実施例を示すものであり、第１図はその平面図、
第２図は第１図のＡ−Ａ線拡大断面図、第３図は第１図
の要部拡大図、第４図ないし第５図は従来の硬質物切断
用内周刃を示すものであり、第４図はその平面図、第５
図は第４図のＡ−Ａ線断面図である。 図面において、（１）は幅の狭い薄い鋼板即ちリング、
（２）はスリット、（３）はダイヤモンド粉末、（４）
は鋼帯、（５）はビン、（６）は環状枠を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　ダイヤモンド又は立方晶窒化ほう素の粉末を、外周
   まで一体となった幅の広い環状の薄い鋼板の内周部に結
   着し、このような環状の薄い鋼板の外周部を太鼓の皮を
   張るように均等な強い張力で張り上げることにより形成
   していた硬質物切断用内周刃において、上記環状の薄い
   鋼板を幅の狭い環状の薄く鋼板即ちリングとし、該リン
   グの内周部に上記粉末を結着し、このようなリングを中
   心として焼入れ又は熱処理された鋼帯を放射状に多数配
   列して上記リングを均等な強い張力で張り上げることに
   より形成した硬質物切断用内周刃。 ２　ダイヤモンド又は立方晶窒化ほう素の粉末が、電気
   メッキ又は無電解メッキによって電着されることにより
   リングの内周部に結着されるものであることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の硬質物切断用内周刃。 ３　ダイヤモンド又は立方晶窒化ほう素の粉末が、金属
   粉末の焼結によりリングの内周部に結着されるものであ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の硬質物
   切断用内周刃。