JPS6361144B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6361144B2 JPS6361144B2 JP17632885A JP17632885A JPS6361144B2 JP S6361144 B2 JPS6361144 B2 JP S6361144B2 JP 17632885 A JP17632885 A JP 17632885A JP 17632885 A JP17632885 A JP 17632885A JP S6361144 B2 JPS6361144 B2 JP S6361144B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- steel plate
- thin steel
- annular thin
- blade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 9
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 6
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 3
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 102100027340 Slit homolog 2 protein Human genes 0.000 description 3
- 101710133576 Slit homolog 2 protein Proteins 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910000997 High-speed steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001240 Maraging steel Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 carbide Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000010437 gem Substances 0.000 description 1
- 229910001751 gemstone Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D5/00—Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting only by their periphery; Bushings or mountings therefor
- B24D5/12—Cut-off wheels
- B24D5/126—Cut-off wheels having an internal cutting edge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、シリコン等の各種半導体材料、セ
ラミツクス、タングステン、カーバイト、宝石等
の硬質物を切断するための硬質物切断用内周刃に
関するものである。
ラミツクス、タングステン、カーバイト、宝石等
の硬質物を切断するための硬質物切断用内周刃に
関するものである。
（従来の技術）
第４図及び第５図に示すように、従来の硬質物
切断用内周刃は、ダイヤモンド又は立方晶窒化ほ
う素の粉末１１を、外周まで一体となつた幅の広
い環状の薄い鋼板１２の内周部１３に結着し、こ
のような環状の薄い鋼板１２の外周部を太鼓の皮
を張るように張り上げ治具によつて均等な強い張
力で張り上げることにより形成されるものであ
る。
切断用内周刃は、ダイヤモンド又は立方晶窒化ほ
う素の粉末１１を、外周まで一体となつた幅の広
い環状の薄い鋼板１２の内周部１３に結着し、こ
のような環状の薄い鋼板１２の外周部を太鼓の皮
を張るように張り上げ治具によつて均等な強い張
力で張り上げることにより形成されるものであ
る。
（発明が解決しようとする問題点）
このような従来技術によれば、例えば、半導体
材料として最近大量に生産されているシリコン単
結晶の外径が８インチ（203.2φ）以下であれば、
これを何とか精度良く高能率にしかも歩留り良く
切断することができるのであるが、上記シリコン
単結晶の外径が８〜12インチにもなると、内周刃
の外径が650〜950mmにも大きくなり、薄い鋼板の
材料の入手が非常に困難になる。
材料として最近大量に生産されているシリコン単
結晶の外径が８インチ（203.2φ）以下であれば、
これを何とか精度良く高能率にしかも歩留り良く
切断することができるのであるが、上記シリコン
単結晶の外径が８〜12インチにもなると、内周刃
の外径が650〜950mmにも大きくなり、薄い鋼板の
材料の入手が非常に困難になる。
600mmφまでは0.1mm位の薄い鋼板としてはステ
ンレス剛が豊富にあるが、650mmφを取れる素材
の入手は非常に困難で、あつたとしても厚みが
0.15mm以上と厚くなる。しかも材質が焼入れでき
ないステンレスのSUS304しかないので引張強度
も75Kg／mm2と小さく、張り上げ時の強度も弱く又
伸びも大きいため、楕円になり、回転中に真円度
が必要な高精密切断では、偏摩耗が発生して耐久
性は勿論のこと、切断精度が著しく悪くなる。
ンレス剛が豊富にあるが、650mmφを取れる素材
の入手は非常に困難で、あつたとしても厚みが
0.15mm以上と厚くなる。しかも材質が焼入れでき
ないステンレスのSUS304しかないので引張強度
も75Kg／mm2と小さく、張り上げ時の強度も弱く又
伸びも大きいため、楕円になり、回転中に真円度
が必要な高精密切断では、偏摩耗が発生して耐久
性は勿論のこと、切断精度が著しく悪くなる。
このため、シリコンの材料歩留りを犠牲にし
て、ステンレス鋼板の厚さを0.15mm以上にして強
度を持たせるので、ダイヤ等の結着部の厚さも
0.32mm以上となるのが現状である。６インチ
（152.4φ）までのシリコン単結晶は、刃厚が0.22
mmの内周刃で切断しているので、材料歩留りは50
％も悪くなる。
て、ステンレス鋼板の厚さを0.15mm以上にして強
度を持たせるので、ダイヤ等の結着部の厚さも
0.32mm以上となるのが現状である。６インチ
（152.4φ）までのシリコン単結晶は、刃厚が0.22
mmの内周刃で切断しているので、材料歩留りは50
％も悪くなる。
（問題点を解決するための手段）
この発明は、このような従来技術の問題点を解
決するためになされたものであり、この発明によ
ればダイヤモンド又は立方晶窒化ほう素の粉末
を、外周まで一体となつた幅の広い環状の薄い鋼
板の内周部に結着し、このような環状の薄い鋼板
の外周部を太鼓の皮を張るように均等な強い張力
で張り上げることにより形成していた硬質物切断
用内周刃において、上記環状の薄い鋼板を幅の狭
い環状の薄い鋼板即ちリングとし、該リングの内
周部に上記粉末を結着し、このようなシリコン等
を中心として焼入れ又は熱処理された鋼帯を放射
状に多数配列して上記リングを均等な強い張力で
張り上げることにより形成した硬質物切断用内周
刃が提供される。
決するためになされたものであり、この発明によ
ればダイヤモンド又は立方晶窒化ほう素の粉末
を、外周まで一体となつた幅の広い環状の薄い鋼
板の内周部に結着し、このような環状の薄い鋼板
の外周部を太鼓の皮を張るように均等な強い張力
で張り上げることにより形成していた硬質物切断
用内周刃において、上記環状の薄い鋼板を幅の狭
い環状の薄い鋼板即ちリングとし、該リングの内
周部に上記粉末を結着し、このようなシリコン等
を中心として焼入れ又は熱処理された鋼帯を放射
状に多数配列して上記リングを均等な強い張力で
張り上げることにより形成した硬質物切断用内周
刃が提供される。
上記構成において、ダイヤモンド又は立方晶窒
化ほう素の粉末は、電気メツキ又は無電解メツキ
により電着されることにより、又は金属粉末の結
焼により、リングの内周部に結着することができ
るものである。これらに限定されるものではな
い。
化ほう素の粉末は、電気メツキ又は無電解メツキ
により電着されることにより、又は金属粉末の結
焼により、リングの内周部に結着することができ
るものである。これらに限定されるものではな
い。
（作 用）
上記の技術的手段は次の様に作用する。
従来の外周まで一体となつた幅の広い環状の薄
い鋼板の代りに、幅の狭い薄い鋼板即ちリングを
使用することによつて、薄い素材の入手が容易と
なり、これによつて材料の歩留りは向上し、被切
断物を精度良く高能率に切断することができるよ
うに作用する。
い鋼板の代りに、幅の狭い薄い鋼板即ちリングを
使用することによつて、薄い素材の入手が容易と
なり、これによつて材料の歩留りは向上し、被切
断物を精度良く高能率に切断することができるよ
うに作用する。
次に、上記リングを放射状に多数配列した鋼帯
によつて張り上げることによつて、リングの内径
の真円度をよくして切断精度を向上することがで
きると共に、内周刃の耐久性を向上することがで
きるように作用する。
によつて張り上げることによつて、リングの内径
の真円度をよくして切断精度を向上することがで
きると共に、内周刃の耐久性を向上することがで
きるように作用する。
（実施例）
この発明の一実施例を図面について説明すれ
ば、１は幅の狭い薄い鋼板即ちリングであり、高
速度鋼（SKH−９）で熱処理し、厚さ0.10mm、
内径184mm、外径204mmに仕上げられ、その外周側
194mmφに幅１mm、長さ８mmのスリツト２が12mm
ピツチでリング１と同心に48本穿設されている。
ば、１は幅の狭い薄い鋼板即ちリングであり、高
速度鋼（SKH−９）で熱処理し、厚さ0.10mm、
内径184mm、外径204mmに仕上げられ、その外周側
194mmφに幅１mm、長さ８mmのスリツト２が12mm
ピツチでリング１と同心に48本穿設されている。
上記リング１の内周部即ち内周端より２mmの幅
の表裏両面に、40〜60ミクロンのダイヤモンド粉
末３を電気メツキによつて電着する。
の表裏両面に、40〜60ミクロンのダイヤモンド粉
末３を電気メツキによつて電着する。
上記リング１に設けられた各スリツト２には、
厚さ0.05mm、幅7.9mm、長さ360mmの熱処理された
マルエージング鋼（引張強度300Kg／mm2）による
鋼帯４が通され、上記スリツト２のところで中折
れ状にして重ねられ、リング１に対して放射状に
配列される。
厚さ0.05mm、幅7.9mm、長さ360mmの熱処理された
マルエージング鋼（引張強度300Kg／mm2）による
鋼帯４が通され、上記スリツト２のところで中折
れ状にして重ねられ、リング１に対して放射状に
配列される。
上記鋼帯４には、上記リング１の中心より
266.7mmの位置にそれぞれ７mmφの孔が設けられ、
これにピン５が挿嵌されてそれぞれ環状枠６に固
定され、図示しない張り上げ治具によつて均等で
強力な張力（従来の２倍で約120Kg／mm2）で張り
上げる。
266.7mmの位置にそれぞれ７mmφの孔が設けられ、
これにピン５が挿嵌されてそれぞれ環状枠６に固
定され、図示しない張り上げ治具によつて均等で
強力な張力（従来の２倍で約120Kg／mm2）で張り
上げる。
このようにして形成された硬質物切断用内周刃
は、伸びの測定でも内径の真円度は±５ミクロン
以下で、従来品に比較して1/4以下である。
は、伸びの測定でも内径の真円度は±５ミクロン
以下で、従来品に比較して1/4以下である。
（発明の効果）
以上に説明したように、本発明は、幅の狭い環
状の薄い鋼板即ちリングとこのリングの外側に放
射状に多数配列された鋼帯との組合せによつて、
上記リングを均等な強い張力で張り上げることに
より形成した硬質物切断用内周刃であるから、被
切断物が相当大きなものであつても、薄い鋼板の
素材の入手が容易であり張り上げた場合の強度が
大きく真円度がよく精度が悪くならないので、製
作が容易であり精度良く耐久性よく使用すること
ができ、歩留り良く切断することができる。
状の薄い鋼板即ちリングとこのリングの外側に放
射状に多数配列された鋼帯との組合せによつて、
上記リングを均等な強い張力で張り上げることに
より形成した硬質物切断用内周刃であるから、被
切断物が相当大きなものであつても、薄い鋼板の
素材の入手が容易であり張り上げた場合の強度が
大きく真円度がよく精度が悪くならないので、製
作が容易であり精度良く耐久性よく使用すること
ができ、歩留り良く切断することができる。
第１図ないし第３図はこの発明による硬質物切
断用内周刃の一実施例を示すものであり、第１図
はその平面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線拡大断
面図、第３図は第１図の要部拡大図、第４図ない
し第５図は従来の硬質物切断用内周刃を示すもの
であり、第４図はその平面図、第５図は第４図の
Ａ−Ａ線断面図である。 図面において、１は幅の狭い薄い鋼板即ちリン
グ、２はスリツト、３はダイヤモンド粉末、４は
鋼帯、５はピン、６は環状枠を示す。
断用内周刃の一実施例を示すものであり、第１図
はその平面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線拡大断
面図、第３図は第１図の要部拡大図、第４図ない
し第５図は従来の硬質物切断用内周刃を示すもの
であり、第４図はその平面図、第５図は第４図の
Ａ−Ａ線断面図である。 図面において、１は幅の狭い薄い鋼板即ちリン
グ、２はスリツト、３はダイヤモンド粉末、４は
鋼帯、５はピン、６は環状枠を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ダイヤモンド又は立方晶窒化ほう素の粉未
を、外周まで一体となつた幅の広い環状の薄い鋼
板の内周部に結着し、このような環状の薄い鋼板
の外周部を太鼓の皮を張るように均等な強い張力
で張り上げることにより形成していた硬質物切断
用内周刃において、上記環状の薄い鋼板を幅の狭
い環状の薄い鋼板即ちリングとし、該リングの内
周部に上記粉末を結着し、このようなリングを中
心として焼入れ又は熱処理された鋼帯を放射状に
多数配列して上記リングを均等な強い張力で張り
上げることにより形成した硬質物切断用内周刃。 ２ ダイヤモンド又は立方晶窒化ほう素の粉末
が、電気メツキ又は無電解メツキによつて電着さ
れることによりリングの内周部に結着されるもの
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の硬質物切断用内周刃。 ３ ダイヤモンド又は立方晶窒化ほう素の粉末
が、金属粉末の焼結によりリングの内周部に結着
されるものであることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の硬質物切断用内周刃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17632885A JPS6239181A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 硬質物切断用内周刃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17632885A JPS6239181A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 硬質物切断用内周刃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6239181A JPS6239181A (ja) | 1987-02-20 |
| JPS6361144B2 true JPS6361144B2 (ja) | 1988-11-28 |
Family
ID=16011665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17632885A Granted JPS6239181A (ja) | 1985-08-09 | 1985-08-09 | 硬質物切断用内周刃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6239181A (ja) |
-
1985
- 1985-08-09 JP JP17632885A patent/JPS6239181A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6239181A (ja) | 1987-02-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5273379A (en) | Blank material for drill and drill therefrom | |
| JPS6228128A (ja) | 楕円ギヤの製造法 | |
| JPS6361145B2 (ja) | ||
| JPS6239181A (ja) | 硬質物切断用内周刃 | |
| EP0425789A2 (en) | Rotary cutting blade | |
| JPS61284317A (ja) | 硬質物切断用無端帯鋸 | |
| JPS6239183A (ja) | 硬質物切断用内周刃 | |
| JPH0376608A (ja) | 円筒型ホールソー | |
| DE3300796C2 (de) | Innenlochsäge | |
| WO2008119299A1 (fr) | Outil diamant produit par soudo-brasage à structure améliorée | |
| JP4397193B2 (ja) | 電着バンドソー | |
| JPH0673817B2 (ja) | カッター | |
| JPH0192073A (ja) | 鋳鉄鋳物切断用カッティングホイール | |
| JPS643646Y2 (ja) | ||
| JPS5856725A (ja) | 丸鋸 | |
| KR920005304Y1 (ko) | 절단톱 | |
| JP2002018639A (ja) | 電着バンドソー及びその製造方法 | |
| JPS62193776A (ja) | 硬質物切削用丸のこ | |
| JPH04224743A (ja) | 歯科用バーおよびその製造方法 | |
| JP3853466B2 (ja) | 合わせ基板型超硬砥粒カッター | |
| JP2977781B2 (ja) | スクラップチョッパー | |
| JP2893822B2 (ja) | ハブ付薄刃砥石の製造方法 | |
| JPS61111807A (ja) | 硬質物切削用帯のこ | |
| JPH03237971A (ja) | 歯科用バーおよびその製造方法 | |
| JPH0443734B2 (ja) |