JPS6239372B2 - - Google Patents

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JPS6239372B2
JPS6239372B2 JP12529979A JP12529979A JPS6239372B2 JP S6239372 B2 JPS6239372 B2 JP S6239372B2 JP 12529979 A JP12529979 A JP 12529979A JP 12529979 A JP12529979 A JP 12529979A JP S6239372 B2 JPS6239372 B2 JP S6239372B2
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JP
Japan
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vibration
unbalanced
abnormal
rotor
unbalance
Prior art date
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Application number
JP12529979A
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English (en)
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JPS5649934A (en
Inventor
Hironori Shiohata
Kazuo Sato
Fumio Fujisawa
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP12529979A priority Critical patent/JPS5649934A/ja
Publication of JPS5649934A publication Critical patent/JPS5649934A/ja
Publication of JPS6239372B2 publication Critical patent/JPS6239372B2/ja
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  • Testing Of Balance (AREA)
  • Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
本発明は回転機の振動診断方法及びその装置に
関する。特に、回転機のロータ回転時における回
転数とロータ両端軸受の振動とを検出することに
より、回転軸に発生した不つりあいに起因する異
常振動を診断して、その不つりあい位置を求める
方法とその装置に関する。 この種の技術は、タービン等の回転器の保守の
ために用いることができるものである。 特に最近は、火力、原子発電プラントが大容量
化するのに伴ない、その主要機器であるタービン
発電機等の信頼性向上が一段と要求されており、
電力を円滑に供給するためにも機器の異常発生後
の保守を迅速に行なうことが必須となつている。
従つてこの種の回転機の振動診断がきわめて重要
なものとなつている。回転機の異常には各種の原
因があるとともに、異常現象にも各種があるわけ
であるが、とりわけ軸振動の異常のケースが多
く、かつこれは重大な故障につながることが懸念
されるものだからである。 また、タービン発電機等の発電プラントに用い
られる回転軸系は長大な大規模系をなすため、異
常が発生したことはわかつても、その異常発生箇
所を探し出すのに多大の時間を要するものであ
る。 このような背景から、回転機の信頼性向上の手
段として、回転軸に発生した振動から回転軸の異
常を早期に発見し、該異常の種別判定と発生位置
の推定とを短時間で診断できる振動診断方法及び
装置の開発が強く要求されている。特に、回転軸
に発生する異常振動には、回転数に同期した振動
即ち不つりあい振動が多く、従つてかかる不つり
あい振動源である不つりあい発生位置を診断する
技術の開発が急務となつている。即ち、タービン
等の保守システムにおいては、異常判別、現象判
別、位置評定の各機能が要求されるが、とりわけ
不つりあい振動の発生位置の評定が大事であり、
かつこれが解決困難な技術課題なのである。 しかしながら従来は、このような回転機の不つ
りあい振動への対処としては、不つりあい振動を
低減する振動低減技術を開発することが主眼とな
つている。つまり、回転軸に存在する不つりあい
を相殺するような等価的つりあわせウエイトを算
出し、このつりあわせウエイトを回転軸に付加す
る技術をもつて、回転軸の振動低減を行なつてき
たのである。 しかし、この手法はウエイト付加位置を軸方向
に限定しているため、軸方向任意位置に存在する
不つりあいの位置の診断を直接考慮しているわけ
ではない。また、つりあわせウエイトを算出でき
たとしても、回転軸に存在する不つりあい位置を
正しく診断することは困難である。 要するに、上記手法は不つりあい位置の診断に
は用い得ないものであり、類似性はあるとして
も、不つりあい位置診断技術とは異質の技術であ
る。 従つて、大規模回転軸系にも用い得る技術で、
ジヤーナル(軸受)振動から回転軸に発生した不
つりあい位置を知る診断技術の開発が、未だ課題
として残つているわけである。 かかる不つりあい位置の診断技術として、次の
ような2つが考えられる。 その第1は、ロータの振動モードの変化を考慮
して、不つりあい位置を診断するものである。そ
の第2は異常振動の発生した回転数にだけ着目し
て、不つりあい位置を診断するものである。この
内、前者第1の技術を適用するためには、その条
件として、運転速度域の振動監視が必要であり、
しかも定格回転数内、或いは異常振動発生回転数
以下に、複数個の振動モードを含むことが必要で
ある。よつてこの第1の技術では、定格回転数付
近で発生した異常振動に対しては、回転数を低速
まで降下しなければその不つりあい位置の診断は
できないことになる。かつ、診断できるのは、モ
ード変化の存在する場合にのみ限定される。この
ように、第1の技術では、不つりあいによつて発
生したすべての異常振動に対してその不つりあい
位置を診断できるとは限らないのである。 一方、後者第2の技術には上記の如き問題はな
く、異常の発生した回転数の振動で不つりあい位
置を診断できるので、回転数を変化させる必要な
く、異常の発生と同時にその診断を行なうことが
できる。よつてこの第2の技術は有効であり、本
発明者らはこの技術による診断方法及び装置の確
立に鋭意とりくんできたものである。 本発明の目的は、上述した如く、例えば大型タ
ービン等の回転機に発生する異常振動を判定し、
その内の不つりあい振動の発生源である不つりあ
い位置を診断して、もつて回転機の円滑なる運転
を可能ならしめる振動方法及びその装置を提供す
るにある。 この目的を達成するため、本発明においては、
回転機のロータ回転時における回転数とロータ両
端軸受の振動を検出することにより該ロータの振
動診断を行なうに際して、検出した振動信号から
回転数に同期した不つりあい振動を抽出し、抽出
した該不つりあい振動と許容振動を示す基準信号
とを比較して該不つりあい振動が異常であるか否
かを判定し、異常と判定された場合には該不つり
あい振動から、予め記憶しておいた正常回転時の
軸受の振動をベクトル減算して異常振動成分を算
出し、算出した異常振動成分を予め記憶しておい
た不つりあい時の振動成分と比較して不つりあい
の状態を診断するという方法をとる。 この場合、複数本の単体ロータを長手方向に接
続して結合した多スパンロータである場合は各単
体ロータの両端部を支持している1対の軸受につ
いて振動検出を行なう。従つて、多スパンロータ
については3個以上の軸受について振動検出を行
なうこととなる。 この方法を診断装置に具体化する場合には、ロ
ータの回転数を検出するのに回転数検出器を設け
るとともにこの回転数検出器には位相基準信号の
役割も果たさせ、軸受の振動を検出するのに振動
検出器を設け、この振動信号と前記位相基準信号
とから回転数に同期した不つりあい振動を抽出す
るために振動分析を設け、この不つりあい振動が
異常であるか否かを判定するのに判定器を設け、
かつ異常である時にはその異常不つりあい振動と
予め記憶装置に記憶させておいた正常時の軸受の
正常振動とから異常振動のみを抽出するためベク
トル演算器を設け、更にこの異常振動成分を正規
化する演算器をも設け、この演算器からの異常振
動パターンと予めパターン記憶器に記憶させてお
いた不つりあい振動パターンとを比較して不つり
あい位置を推定するための演算器を設け、この演
算結果を表示すべく表示器を設けて構成すること
ができる。 前記の振動パターンとは、例えば、後に詳述す
る第4図a,bにおいて、測定点B1〜B6の6個
所の如く、複数個所についての振幅の分布状態を
いう。 以下、本発明の実施の一例について、図面を参
照して説明する。この実施例は、タービンによる
発電プラントにおける振動診断に本発明を適用し
たものである。 第1図に本実施例をブロツク構成図にて示す。 本例は、タービンロータ1,2と、発電機ロー
タ3との計3本の単体ロータを結合した多スパン
ロータを例示したもので、計6個の軸受41〜4
6によつて各単体ロータの両端を支承している。 本発明は、図示例示のようなロータ1,2,3
の回転時の回転数と、ロータの軸受41〜46の
振動とを検出することにより、ロータの振動診断
を行なう技術であるが、ロータの回転数の検出の
ために回転数検出器5を設ける。この回転数検出
器5は、回転数を上昇或いは下降させた時にロー
タの回転数を検出し得るもので、図示例ではター
ビンロータの一方の軸受41の付近に配設してそ
の回転数を検出するようになつている。この回転
数検出器5からの信号は、振動信号を分析してこ
れから不つりあい振動を抽出するために用いる位
相基準信号aとしても使用するものである。各軸
受41〜46のジヤーナル振動を検出するために
は、振動検出器6を設ける。本例にあつては、各
軸受41〜46にその振動を検知するセンサー6
1を配設し、各センサー61からの検知信号bを
振動検出器6に入力させるようになつている。こ
の振動検出器6からの振動信号cは、振動分析器
7に送られて、ここで分析されて回転数に同期し
た不つりあい振動uが抽出される。即ち、振動の
状態は回転数の大小により異なるので、測定振動
信号cを回転数に基づいて分析することにより標
準化して、次の判定器8に送るのである。かかる
分析は、回転数検出器5から送られた位相基準信
号aと振動検出器6から送られた振動信号cとの
両者により行なう。このようにして振動分析器7
で分析された不つりあい振動uは、判定器8に送
られて、ここで該振動uが異常であるか否かが判
定される。この振動uはすでに許容振動を示す基
準信号aと比較され分析されているので、許容さ
れるのであればこの判定器8から出力せず、異常
な場合のみここを通過するように判定器8を構成
しておくのである。従つて判定器8で不つりあい
振動成分uが異常であると判定された場合には、
当該異常不つりあい振動u′は判定器8を通過して
ベクトル演算器10に入る。即ち、振動成分uが
異常である時はu′=uであり、異常でない時は
u′=0である。ベクトル演算器10は、この異常
不つりあい振動u′と正常振動とから異常振動成分
vのみを抽出するためのものである。即ち、異常
不つりあい振動u′の中には、正常振動も含まれて
いるので、正常振動との比較から異常のみによる
異常振動vを抽出するのである。このために正常
振動を表わす信号Uを要するのであるが、これは
記憶器9に予め正常時の各軸受41〜46の正常
振動を記憶させておいて、ここから正常振動の信
号Uをベクトル演算器10に送るようにする。こ
のようにして、ロータ1,2,3のいずれかに発
生した不つりあいによる異常振動vのみが抽出さ
れ、更にこの振動vは正規化用演算器11に送ら
れて、ここで該異常振動vが最大振幅で正規化さ
れる。 本発明において正規化とは、複数の振動の中で
最大振幅を1とし、その他の振動の振幅を小数
(若しくは%)で表わす演算処理をいう。 この正規化は、次に種々の不つりあい振動パタ
ーンとこの異常振幅成分とを比較するために要す
るもので、その原理的意味は後述する。演算器1
1で正規化された信号つまり異常振動パターンV
は、パターン認識器13に送られて、ここで予め
記憶しておいた種々の不つりあい振動パターンP
と比較される。この記憶はパターン記憶器12に
行なわせるが、具体的には本例ではロータ1,
2,3の軸方向任意の1点に単位不つりあいを付
加した時の各軸受ジヤーナルの振動を表わす影響
係数を記憶させておく。この場合、影響係数の振
幅は最大振幅で正規化された状態になつている。 本発明において「単位不つりあいを付加する」
とは、適宜大きさの不つりあい重錘を取り付け
て、これをベクトルmr(単位はグラムmm)で除
する操作をいう。 従つて、正規化された状態の異常信号パターン
Vと、同じく正規化された状態の種々の不つりあ
い振動パターンPとがパターン認識器13におい
て比較され、その結果、ロータに発生した不つり
あい位置を推定するのである。つまり、パターン
記憶器12には、種々の位置において不つりあい
が生じた時のパターンPが記憶されているので、
実際の異常振動を正規化した信号パターンVと該
種々の不つりあい振動パターンPとを順次比較し
て、最も近いパターンPを選ぶことにより、該パ
ターンPを記憶させる時に不つりあいを与えたロ
ータの該当位置が、実際に異常不つりあいを起こ
した位置と推定できるのである。このようにして
求めた認識結果dは、表示器14に表示される。
表示器14としては、CRTや、ラインプリンタ
等を用いることができる。 本実施例の構成は、フロー図に第2図に示す。
第2図中の各ブロツクには、第1図におけると対
応した符号を付しておく。 次に本実施例の診断技術における不つりあい位
置診断の原理について述べる。いま、以下に行な
う説明の簡単のため、下記のとおりの記号を定め
る。 k:回転数番号(k=1,2,……,K) i:軸受位置番号(i=1,2,……,I) j=不つりあい位置番号(j=1,2,……,
J) Ui (k):軸受i位置のk番目回転数の正常時にお
ける不つりあい振動 ui (k):軸受iのk番目回転数の異常時における
不つりあい振動 Vi (k):軸受i位置のk番目回転数の異常時にお
ける不つりあいのみによる不つりあい振動 Vi (k):正規化されたui (k)(異常振動パター
ン) Pij (k):不つりあい位置jに単位不つりあいを付
加した時のk番目回転数における軸受i位置
の正規化された振動 11:振動振幅 (なお上記Vi (k),Pij (k)の説明中「正規化」
の意味は、最大振幅を1とすることである)。 以下説明を行なう。まず、k番目回転数で軸受
i位置において異常振動が発生したとする。この
時、異常振動はセンサー61を介して振動検出器
6で検出されて、振動分析器7に入力する。この
振動分析器7において、既述のとおり振動検出器
6からの振動信号cは回転数検出器5からの位相
基準信号aと分析されて、不つりあい振動ui (k)
が抽出され、これは異常であるが故に判定器8を
通過してベルトル演算器10に入り、ここで vi (k)=ui (k)−Ui (k) ……(1) (i=1,2,……,I) の演算が行なわれ、異常振動成分vi (k)のみが抽
出される。要するに、不つりあいに基づく振動u
から正常振動Uをカツトすることにより、異常の
みのvを得るわけである。ここで得た異常振動v
i (k)は、位相と振幅の情報を含むベクトル量であ
る。次に正規化のための演算器11により、vi (
k)の最大値 |v|=|vi (k)|max ……(2) を求め、更に Vi (k)=vi (k)/|v| ……(3) (i=1,2,……,I) の演算を行なう。この結果、Vi (k)は位相と振幅
との情報を持つベクトル量で、|Vi (k)|max=
1(k:const、)となる振動振幅パーンを示す。
よつてここで正規化がなされているのである。 このようなパターンの一例を第3図のグラフに
示す。これは、回転数をk rpmとした時のデー
タであつて、図の横軸は測定位置iをとつてお
り、B1,B2,……,BIはそれぞれ第1図におけ
る各軸受41,42,……におけるデータに対応
する。図の縦軸は正規化された異常のみによる振
動の振動振幅であり、例えばB2が示すように最
大でも1をとるものである。 一方、パターン記憶器12には、既述のとお
り、各種不つりあい位置j(j=1,2,……,
J)に単位不つりあいを付加した時の影響係数P
ij (k)が記憶されている。この影響係数Pij (k)も正
規化されたものであつて、位相と振幅との情報を
有するベクトル量で、|Pij (k)|max=|(i,
k:const、)となる不つりあい位置と振動とのパ
ターンを示す。 このパターンの一例を第4図にグラフにて示
す。同図a,bともに回転数をk rpmとした時
のものであるが、aは不つりあいがj=1の位置
つまり第1図にj1で例示する如き位置に不つり
あいがあつた時に、各軸受41,42,………,
46にB1,B2,……,B6の不つりあい振動振幅
があつたことを示すグラフである。bの方は、j
=2の位置、つまり第1図のj2にて示す位置に
不つりあいがあつた時、軸受41,42,……,
46が示す不つりあい振動振幅を示したものであ
る。なお、図の横軸は第3図と同様測定位置を示
すもので、上述のとおりB1,B2,……,B6
各々第1図の軸受41,42,……,46に対応
する。縦軸は不つりあい振動振幅を示し、やはり
最大でも振幅が1になるよう、正規化されてい
る。 かかる予め記憶された不つりあい振動振幅パタ
ーン|Pij (k)|と、上記実測の後種々操作を加え
て得た異常振動パターンつまり異常振動振幅パタ
ーンとによつて、パターン認識器13でパターン
認識を行なうのである。既述のとおり、予め種々
の特定位置jに単位不つりあいを与えた時の信号
を正規化した各種パターン|Pij (k)|がパターン
記憶器12に記憶されているので、これと点検実
測に由来する異常振動パターン|Vi (k)|とを比
較し、最も近似するものを識別するわけである。
なお、この操作例では、パターン比較の際に振幅
のみを考慮し、位相情報は無視する(位相情報を
も考慮した例は後述する)。この例のパターン比
較操作は以下のようにして行なう。 まず、異常振動の振幅パターン|Vi (k)|に着
目し、その値の大きい順に、 |Vi1 (k)|,|Vi2 (k)|,……,|Vit (k)|のよ
うに配列する。次に、記憶された不つりあい振動
振幅パターン|Pij (k)|から、i=i1となるi
1,jの組合せを求める。更にまた、i=i1と
なるjに対して、i=i2となるi2,j′の組合
せを求める。この作業をくり返して、最終的にく
り返し回数の多いi,jの組合せを持つ不つりあ
い振動振幅パターンが、ロータに発生した異常振
動振幅パターンに近いと推定できる。 換言すると、記憶した種々の不つりあい振動振
幅パターン|Pij (k)|の中から、最大振幅を示す
軸受位置がi1となるパターンを選び、次に選択
したパターンから2番目に大きい振幅を示す軸受
位置がi2となるパターンを選び、このようにし
て3番目,4番目……と選択して、最終に残つた
パターンがロータに発生した異常振幅パターンに
最も近いと推定できるわけである。よつて、記憶
したパターンの内最も近似するものに係る不つり
あい位置が、ローダに実際に発生した不つりあい
位置を示すものということになる。 次に発生した異常振動振幅|Vi (k)|と、各不
つりあい位置に係る不つりあい振動振幅|Pij (k)
|との間で、下記の演算を行なう。 j=√i ……(5) (j=1,2,……,J) この(4)(5)式の演算は、ロータに発生した実際の
異常振動振幅|Vi (k)|に対して、記憶され与え
られた不つりあい振動振幅パターン|Pij (k)|が
どの程度偏差を有しているかを表わすものであ
る。従つて種々の記憶パターン|Pij (k)|に係る
各位置jの内、この値Sj,Rjが最も小さくなる
位置j、つまり偏差が最小の位置jがロータに実
際に発生した不つりあい位置を示すことになる。 よつて、上記2操作つまり上記i,jの組合せ
で求めた不つりあい位置と、式(4)(5)の最小値をと
る不つりあい位置とから、ロータに発生した不つ
りあい位置を診断することができる。 次表にこのパターン認識の一例を示す。
【表】 この表の判定の記載の内、〇は不つりあい位置
確定を示し、△は不つりあい位置である可能性が
あることを示し、×はその可能性がないことを示
す。つまり、この表のデータでは、各軸受41,
42,……からの検出異常振動振幅|Vi (k)|の
内、最大振幅をとるのはB2つまり軸受42から
のものであることが示されている。一方、不つり
あい位置j1,j2……に単位不つりあいを付加
した場合、各検出位置たる軸受41,42……か
ら得た不つりあい振動振幅パターン|Pij (k)|の
内最大の振幅のものは、各位置j1,j2……に
ついて各々B1,B2,B3,B4……(つまり各々軸
受41,42,43,44におけるもの)である
ことがわかる。よつて、両者が一致し、パターン
が近似するのは位置j1及びj2の2個所であ
り、このどちらかに実際にも不つりあいが生じて
いるだろうことが推定される。一方、偏差を示す
上記S或いはRの値を最小の順にとると、位置j
2におけるデータが最小であることがわかる。よ
つて、この操作の結果が一致した位置、つまり位
置j2に不つりあいが発生している蓋然性がきわ
めて高いということにななるのである。但し、位
置j3についても、偏差は2番目に小さいもので
あり、振幅ピークも一致するので、可能性ありの
判定がなされ得るのである。 この結果、上記操作による不つりあい位置の診
断によつて、運転中に発生したロータの不つりあ
い異常の発生源を迅速に知ることが可能となる。
かつ、上記によれば、不つりあい位置の診断を自
動化することも可能であり、異常発見の自動化に
寄与できる。しかも、回転機を用いた装置の保守
点検が容易になることは言うまでもない。 なお、上述の実施例では位相情報を無視して、
振動振幅パターンのみで診断したが、位相情報を
考慮しても有効な診断をなすことができる。但
し、このような診断技術を用いるためには、振幅
パターンの正規化のみならず、位相も最大振幅を
基準(=0)として、軸方向位置全体を基準化す
る必要がある。この基準化された位相θに対し
て、|θ|90゜を同相とし、90゜<θ<270゜
を逆相として考える。この結果、上記実施例では
第3図のように現れたパターンは、第5図の如く
になる。また、|Vi (k)|に対してVi (k)を用
い、|Pij (k)|に対しPij (k)を用い、振幅のパタ
ーンのみだけではなく、位相と振幅との両情報を
有するベクトル量で比較するようにする。 上記詳述したように、本発明の回転機の振動診
断技術は、回転機のロータ回転時における回転数
とロータ両端軸受の振動とを検出することにより
該ロータの振動診断を行なうものであつて、検出
した振動信号から回転数に同期した不つりあい振
動を抽出し、抽出した該不つりあい振動と許容振
動を示す基準信号とを比較して該不つりあい振動
が異常であるか否かを判定し、異常と判定された
場合には該不つりあい振動と予め記憶しておいた
正常回転時の軸受の振動とから異常のみによる振
動をベクトル減算により求めて異常の振動パター
ンを正規化して定め、該異常振動パターンと予め
記憶しておいた不つりあい振動パターンとの比較
から回転軸の不つりあい位置の診断を行なうこと
を特徴とするものであるので、回転機に発生する
異常振動を速かに判定し、かつ不つりあい振動の
発生源である不つりあい位置を迅速に診断でき、
従つて大型回転機にも有効に適用できるととも
に、各種回転機の円滑安定な運転を達成できると
いう効果を有するものである。 尚、上述の実施例は、その具体的構成によりそ
の他様々の効果を奏するものではあるが、当然の
ことながら本発明はかかる実施例にのみ限定され
るものではない。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至該4図は本発明の実施の一例を示
し、第1図はそのブロツク構成図、第2図はその
フローチヤート図、第3図は異常成分の正規化さ
れた振動パターンの一例を示すグラフ、第4図は
予め記憶しておいた不つりあい振動パターンの一
例を示すグラフである。第5図は上記例の変形例
を用いた場合の異常成分の正規化された振動パタ
ーンの一例を示すグラフである。 1,2,3……ロータ、41〜46……軸受、
5……回転数検出器、6……振動検出器、7……
振動分析器、8……判定器、9……記憶装置、1
0……ベクトル演算器、11……正規化用の演算
器、12……パターン記憶器、13……パターン
認識器、14……表示器、k……回転数(番
号)、a……位相基準信号、c……振動信号、u
……不つりあい振動、u′……(異常と判定され
た)不つりあい振動、U……正常(時不つりあ
い)振動、v……異常(のみによる)振動、V…
…正規化された異常振動パターン、P……(予め
記憶しておいた)不つりあい振動パターン、j,
j1,j2〜jJ……不つりあい位置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 回転機のロータ回転時における回転数と、ロ
    ータを支承する複数のロータ軸受の振動とを検出
    することにより該ロータの振動診断を行なう振動
    診断方法において、 a 該ロータが正常である場合、ロータを一定の
    回転数で回転させたときの各軸受の不つりあい
    振動を予め測定して記憶しておき、 b 上記ロータの両端軸受の間の、複数の特定個
    所のそれぞれに単位不つりあいを付加して前記
    一定の回転数で回転させたときの不つりあい振
    動を予め測定し、これを正規化して記憶してお
    き、 c 診断対象であるロータを前記一定の回転数で
    回転させて振動を検出し、 d 検出した振動信号から回転数に同期した不つ
    りあい振動を抽出し、抽出した不つりあい振動
    と許容振動を示す基準信号とを比較して該不つ
    りあい振動が異常であるか否かを判定し、 e 異常と判断された場合は、検出した振動信号
    から前記正常時の振動をベクトル減算して異常
    振動成分を算出して正規化し、 f 算出した異常振動成分を、各軸受ごとに、前
    記不つりあい時の振動と比較して、不つりあい
    の軸方向位置を診断することを特徴とする回転
    機の振動診断方法。 2 前記の算出異常振動成分と、記憶していた不
    つりあい時の振動との比較は、双方の振動の大小
    で比較することを特徴とする特許請求の範囲第1
    項に記載の回転機の振動診断方法。 3 前記の算出異常振動成分と、記憶していた不
    つりあい時の振動との比較は、双方の振動の異常
    振動成分と不つりあい振動振幅との差分の自乗和
    或いは自乗和平均値の平方根で比較することを特
    徴とする特許請求の範囲第1項に記載の回転機の
    振動診断方法。 4 回転機のロータ回転時における回転数と、ロ
    ータを支承する複数の軸受の振動とを検出するこ
    とにより該ロータの振動診断を行なう振動診断装
    置であつて、 a ロータの回転数を検出するとともに位相基準
    信号を発生する回転数検出器と、 b 前記各軸受の振動を検出する振動検出器と、 c 該振動検出器からの振動信号と前記回転数検
    出器からの位相基準信号から回転数に同期した
    不つりあい振動を抽出する振動分析器と、 d 上記振動分析器により抽出した該不つりあい
    振動の振幅を、許容振動を示す基準信号と比較
    して、その大小関係から、不つりあい振動が異
    常であるか否かを判定する判定器と、 e 上記判定器によつて異常と判断された不つり
    あい振動と予め記憶装置に記憶させておいた正
    常時の前記各軸受の正常振動とから異常振動成
    分のみを抽出するベクトル減算器と、 f 上記ベクトル減算器によつて抽出された異常
    振動成分を正規化する演算器と、 g 上記演算器によつて正規化された異常振動の
    パターンと、予めパターン記憶器に記憶させて
    おいた不つりあい振動とを比較して不つりあい
    位置を推定する機能を備えた演算器と、 h 上記演算器が推定した結果を表示する表示器
    と、を備えて成ることを特徴とする回転機の振
    動診断装置。
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