JPS6239760A - Apparatus for inspecting surface - Google Patents
Apparatus for inspecting surfaceInfo
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- JPS6239760A JPS6239760A JP60179880A JP17988085A JPS6239760A JP S6239760 A JPS6239760 A JP S6239760A JP 60179880 A JP60179880 A JP 60179880A JP 17988085 A JP17988085 A JP 17988085A JP S6239760 A JPS6239760 A JP S6239760A
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- inspected
- cartridge
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、被検査物の導電性を有する表面の欠陥の検
出を行なう表面検査装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a surface inspection device for detecting defects on the conductive surface of an object to be inspected.
（発明の背景）
表面検査装置として、被検査物の導電性を有する表面の
傷や、凹凸等の欠陥を検査するものがある。この表面検
査装置として、例えば、光を被検査物の表面に照射させ
て、その反射光の変化から欠陥を検出するものがある。(Background of the Invention) Some surface inspection devices inspect defects such as scratches and irregularities on the conductive surface of an object to be inspected. As this surface inspection apparatus, for example, there is one that irradiates the surface of the object to be inspected with light and detects defects from changes in the reflected light.
（発明が解決しようとする問題点）
ところで、被検査物の表面に、模様や文字、記号等複数
の色を塗布する加工が施された場合には、光の照射によ
る反射光では正確に欠陥の検出を行なうことができない
ことがある。(Problem to be Solved by the Invention) By the way, if the surface of the object to be inspected is processed by applying patterns, letters, symbols, etc. in multiple colors, the reflected light from the light irradiation will not accurately detect defects. Detection may not be possible.
この発明は前記の実情に鑑みてなされたもので１例え１
表面に色等が塗布されている場合でも、表面の欠陥を簡
単かつ確実に検出することができる表面検査装置を提供
することを目的としている。This invention was made in view of the above-mentioned circumstances.
It is an object of the present invention to provide a surface inspection device that can easily and reliably detect surface defects even when the surface is coated with a color or the like.
（問題点を解決するための手段）
この発明は前記の問題点を解決するために、被検査物の
導電性を有する表面の欠陥の検出を行なう表面検査装置
において、前記被検査物の表面の近傍に磁界を発生させ
る磁界発生手段が被検査物と相対移動可能に配置され、
この相対移動により前記表面に流れるうず電流の変化を
検出手段で表面欠陥として検出することを特徴としてい
る。(Means for Solving the Problems) In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a surface inspection apparatus for detecting defects on the conductive surface of an object to be inspected. A magnetic field generating means that generates a magnetic field in the vicinity is arranged so as to be movable relative to the object to be inspected,
The present invention is characterized in that a change in the eddy current flowing on the surface due to this relative movement is detected by the detection means as a surface defect.
（作用）
この発明では、被検査物の表面の近傍に配置された磁界
発生手段で磁界を発生させ、この磁界発生手段と被検査
物の表面とを相対移動して、表面にうず電流を発生させ
る。このうず電流の変化を検出手段で検出し、これによ
り表面の欠陥を検出する。(Operation) In this invention, a magnetic field is generated by a magnetic field generating means placed near the surface of the object to be inspected, and the magnetic field generating means and the surface of the object to be inspected are moved relative to each other to generate eddy currents on the surface. let A detection means detects this change in eddy current, thereby detecting a surface defect.
（実施例）
次に、この発明の一実施例を添付図面に基づいて詳細に
説明する。(Example) Next, an example of the present invention will be described in detail based on the accompanying drawings.
第１図はこの発明を感光材料を収納したパトローネの表
面欠陥の検出に適用した檀略構成図、第２図はこの発明
の概略を示すブロック図である。FIG. 1 is a schematic diagram of the present invention applied to the detection of surface defects in a cartridge containing a photosensitive material, and FIG. 2 is a block diagram schematically showing the present invention.
第１図において、符号１は被検査物である円筒形のパト
ローネで、スプール２に感光材料３がロール巻して収納
されている。このパトローネ１の表面４は金属、合金等
の導電材料で成形され、遮光性を有するように構成され
ている。In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a cylindrical cartridge which is an object to be inspected, and a spool 2 has a photosensitive material 3 wound therein in a roll. The surface 4 of the cartridge 1 is made of a conductive material such as metal or alloy, and is configured to have light blocking properties.
そして、このパトローネ１の表面４には種々の色彩によ
って、模様、文字や記号等が付されており、最終段階の
製品となっている。Patterns, letters, symbols, etc. are attached to the surface 4 of this cartridge 1 in various colors, making it a final product.
このパトローネ１は図示しない回転装置に載置され、ス
プール２を中心として回転可能になっている。This cartridge 1 is placed on a rotating device (not shown) and is rotatable around a spool 2.
そして、パトローネ１の表面４の近傍には所定の距離を
隔てて、表面検査装置のセンサ５が表面４に対向して、
複数個配置されている。Near the surface 4 of the cartridge 1, a sensor 5 of the surface inspection device is placed opposite the surface 4 at a predetermined distance.
Multiple pieces are placed.
このそれぞれセンサ５には磁界発生手段であるコイルを
有しており、このコイルで高周波数の交流磁界を発生さ
せるようになっている。このため、パトローネ１が回転
して磁界内に表面４が入ると、表面４内にうず電流が流
れる。Each of the sensors 5 has a coil serving as a magnetic field generating means, and is designed to generate a high frequency alternating current magnetic field. Therefore, when the cartridge 1 rotates and the surface 4 enters the magnetic field, eddy currents flow within the surface 4.
この被検査物の表面４を流れるうず電流は表面４に欠陥
があると変動し、この変動によってコイルにインダクタ
ンスの損失の変化が生じる。The eddy current flowing through the surface 4 of the object to be inspected fluctuates when there is a defect on the surface 4, and this fluctuation causes a change in inductance loss in the coil.
このコイルのインダクタンスの変化を検出手段で検出し
て、表面４の欠陥の検出を行なうようになっている。Defects on the surface 4 are detected by detecting changes in the inductance of the coil using a detection means.
この検出手段は第２図に示すように、プリアンプ６、バ
ンドパスフィルタ７、コンパレータ８及びＯＲ回路９と
から構成されている。それぞれのプリアンプ６ではイン
ダクタンスの変化信号を増幅し、さらにバンドパスフィ
ルタ７で所定の帯域幅の周波数成分のみが取り出される
。そして、この変化信号はコンパレータ８で設定の欠陥
状態を示す基準信号と比較され、ＯＲ回路９を介して欠
陥の検出信号が出力されるようになっている。This detection means is composed of a preamplifier 6, a bandpass filter 7, a comparator 8, and an OR circuit 9, as shown in FIG. Each preamplifier 6 amplifies the inductance change signal, and the bandpass filter 7 extracts only frequency components within a predetermined bandwidth. This change signal is compared with a reference signal indicating a set defect state by a comparator 8, and a defect detection signal is outputted via an OR circuit 9.
次に、この実施例の作動について説明する。Next, the operation of this embodiment will be explained.
感光材料３が収納された最終製品としてのパトローネ１
は図示しない回転装置に搬送され、この回転装置でスプ
ール２を支点として回転される。Patrone 1 as a final product containing photosensitive material 3
is conveyed to a rotating device (not shown), and rotated by this rotating device using the spool 2 as a fulcrum.
このパトローネ１の回転によって、その表面４が表面検
査装置のセンサ５のコイルによる交流磁界をよこぎり、
パトローネｌの表面４にうず電流が流れる。このうず電
流は、仮に、パトローネ１の表面４に欠陥が発生してい
ると、この欠陥によって変動する。この変動によって、
センサ５のコイルのコンダクタンスが変化し、この変化
信号はそれぞれのセンサ５で検知しているが、欠陥が発
生している近傍のセンサ５で大きく現われる。そして、
この変化信号はプリアンプ６で増幅され、バンドパスフ
ィルタ７、コンパレータ８及びＯＲ回路９を介して、欠
陥による変化信号のみが欠陥の検出信号として取り出さ
れ、欠陥の検出を行なう。As the cartridge 1 rotates, its surface 4 crosses the alternating magnetic field generated by the coil of the sensor 5 of the surface inspection device.
An eddy current flows on the surface 4 of the cartridge 1. If a defect occurs on the surface 4 of the cartridge 1, this eddy current fluctuates due to this defect. Due to this variation,
The conductance of the coil of the sensor 5 changes, and this change signal is detected by each sensor 5, but it appears largely in the sensor 5 near where the defect has occurred. and,
This change signal is amplified by a preamplifier 6, and through a bandpass filter 7, a comparator 8, and an OR circuit 9, only the change signal due to the defect is extracted as a defect detection signal, and the defect is detected.
従って、被検査物の表面４に模様や記号等が付されてい
る場合でも、金属や合金等で形成された表面４に誘導さ
れろうず電流の変化を検出する簡単な構成で、確実に欠
陥の検出を行なうことができる。Therefore, even if the surface 4 of the object to be inspected has a pattern or symbol, etc., defects can be reliably detected with a simple configuration that detects changes in the wax current induced on the surface 4 made of metal, alloy, etc. can be detected.
なお、面記実施例ではパトローネエを回転させて、セン
サ５を固定しているが、パトローネ１を固定してセンサ
５を移動するようにしもよい。また、磁界発生手段にコ
イルを用いているが、永久磁石で磁界を発生させ、例え
ばアンメータ等でうず電流の変化を計測するようにして
もよい。さらに、センサ５は複数個設けているが、所定
の交流磁界を発生させるものを少なくとも１側設ければ
よい。In the illustrated embodiment, the cartridge is rotated and the sensor 5 is fixed, but the cartridge 1 may be fixed and the sensor 5 is moved. Further, although a coil is used as the magnetic field generating means, a permanent magnet may be used to generate the magnetic field, and changes in eddy current may be measured using, for example, an ammeter. Furthermore, although a plurality of sensors 5 are provided, one that generates a predetermined alternating current magnetic field may be provided on at least one side.
また、検出信号はプリアンプ６で増幅された後、バンド
パスフィルタ７を介してコンパレータ８に入力している
が、例えば、被検査物に応じてバイパスフィルタ及び／
またはローパスフィルタ７で必要な周波数成分を取り出
すようにしてもよい。The detection signal is amplified by a preamplifier 6 and then input to a comparator 8 via a bandpass filter 7. For example, depending on the object to be inspected, a bypass filter and/or
Alternatively, the necessary frequency components may be extracted using the low-pass filter 7.
（発明の効果）
この発明は面記のように、被検査物の表面の近傍に配置
された磁界発生手段で磁界を発生させ、この磁界発生手
段と被検査物の表面とを相対移動して、表面にうず電流
を発生させるようになしたから、このうず電流の変化を
検出手段で検出することにより、例え、被検査物の表面
に色等が塗布されている場合でも、表面の欠陥を簡単か
つ確実に検出することができる。(Effects of the Invention) As stated above, the present invention generates a magnetic field by means of a magnetic field generating means disposed near the surface of the object to be inspected, and moves the magnetic field generating means and the surface of the object to be inspected relative to each other. Since eddy current is generated on the surface, by detecting changes in this eddy current with a detection means, defects on the surface can be detected even if the surface of the object to be inspected is coated with a color etc. Can be detected easily and reliably.
第１図はこの発明を感光材料を収納したパトローネの表
面欠陥の検出に適用した擢略構成図、第２図はこの発明
の概略を示すブロック図である。
１…パトローネ
４−・表面
５・・・センサFIG. 1 is a schematic diagram of the present invention applied to the detection of surface defects in a cartridge containing a photosensitive material, and FIG. 2 is a block diagram schematically showing the present invention. 1...Patrone 4-・Surface 5...Sensor
Claims (1)
面検査装置において、前記被検査物の表面の近傍に磁界
を発生させる磁界発生手段が被検査物と相対移動可能に
配置され、この相対移動により前記表面に流れるうず電
流の変化を検出手段で表面欠陥として検出する表面検査
装置。In a surface inspection apparatus for detecting defects on a conductive surface of an object to be inspected, a magnetic field generating means for generating a magnetic field near the surface of the object to be inspected is disposed so as to be movable relative to the object to be inspected. A surface inspection device that uses a detection means to detect changes in eddy current flowing through the surface due to movement as a surface defect.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60179880A JPS6239760A (en) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | Apparatus for inspecting surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60179880A JPS6239760A (en) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | Apparatus for inspecting surface |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6239760A true JPS6239760A (en) | 1987-02-20 |
Family
ID=16073513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60179880A Pending JPS6239760A (en) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | Apparatus for inspecting surface |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6239760A (en) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5715337A (en) * | 1980-07-03 | 1982-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | Fluorescent face burning method for color cathode ray tube |
-
1985
- 1985-08-15 JP JP60179880A patent/JPS6239760A/en active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5715337A (en) * | 1980-07-03 | 1982-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | Fluorescent face burning method for color cathode ray tube |
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