JPS6239760A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPS6239760A JPS6239760A JP60179880A JP17988085A JPS6239760A JP S6239760 A JPS6239760 A JP S6239760A JP 60179880 A JP60179880 A JP 60179880A JP 17988085 A JP17988085 A JP 17988085A JP S6239760 A JPS6239760 A JP S6239760A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- inspected
- cartridge
- eddy current
- coils
- Prior art date
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- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、被検査物の導電性を有する表面の欠陥の検
出を行なう表面検査装置に関するものである。
出を行なう表面検査装置に関するものである。
（発明の背景）
表面検査装置として、被検査物の導電性を有する表面の
傷や、凹凸等の欠陥を検査するものがある。この表面検
査装置として、例えば、光を被検査物の表面に照射させ
て、その反射光の変化から欠陥を検出するものがある。
傷や、凹凸等の欠陥を検査するものがある。この表面検
査装置として、例えば、光を被検査物の表面に照射させ
て、その反射光の変化から欠陥を検出するものがある。
（発明が解決しようとする問題点）
ところで、被検査物の表面に、模様や文字、記号等複数
の色を塗布する加工が施された場合には、光の照射によ
る反射光では正確に欠陥の検出を行なうことができない
ことがある。
の色を塗布する加工が施された場合には、光の照射によ
る反射光では正確に欠陥の検出を行なうことができない
ことがある。
この発明は前記の実情に鑑みてなされたもので１例え１
表面に色等が塗布されている場合でも、表面の欠陥を簡
単かつ確実に検出することができる表面検査装置を提供
することを目的としている。
表面に色等が塗布されている場合でも、表面の欠陥を簡
単かつ確実に検出することができる表面検査装置を提供
することを目的としている。
（問題点を解決するための手段）
この発明は前記の問題点を解決するために、被検査物の
導電性を有する表面の欠陥の検出を行なう表面検査装置
において、前記被検査物の表面の近傍に磁界を発生させ
る磁界発生手段が被検査物と相対移動可能に配置され、
この相対移動により前記表面に流れるうず電流の変化を
検出手段で表面欠陥として検出することを特徴としてい
る。
導電性を有する表面の欠陥の検出を行なう表面検査装置
において、前記被検査物の表面の近傍に磁界を発生させ
る磁界発生手段が被検査物と相対移動可能に配置され、
この相対移動により前記表面に流れるうず電流の変化を
検出手段で表面欠陥として検出することを特徴としてい
る。
（作用）
この発明では、被検査物の表面の近傍に配置された磁界
発生手段で磁界を発生させ、この磁界発生手段と被検査
物の表面とを相対移動して、表面にうず電流を発生させ
る。このうず電流の変化を検出手段で検出し、これによ
り表面の欠陥を検出する。
発生手段で磁界を発生させ、この磁界発生手段と被検査
物の表面とを相対移動して、表面にうず電流を発生させ
る。このうず電流の変化を検出手段で検出し、これによ
り表面の欠陥を検出する。
（実施例）
次に、この発明の一実施例を添付図面に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
第１図はこの発明を感光材料を収納したパトローネの表
面欠陥の検出に適用した檀略構成図、第２図はこの発明
の概略を示すブロック図である。
面欠陥の検出に適用した檀略構成図、第２図はこの発明
の概略を示すブロック図である。
第１図において、符号１は被検査物である円筒形のパト
ローネで、スプール２に感光材料３がロール巻して収納
されている。このパトローネ１の表面４は金属、合金等
の導電材料で成形され、遮光性を有するように構成され
ている。
ローネで、スプール２に感光材料３がロール巻して収納
されている。このパトローネ１の表面４は金属、合金等
の導電材料で成形され、遮光性を有するように構成され
ている。
そして、このパトローネ１の表面４には種々の色彩によ
って、模様、文字や記号等が付されており、最終段階の
製品となっている。
って、模様、文字や記号等が付されており、最終段階の
製品となっている。
このパトローネ１は図示しない回転装置に載置され、ス
プール２を中心として回転可能になっている。
プール２を中心として回転可能になっている。
そして、パトローネ１の表面４の近傍には所定の距離を
隔てて、表面検査装置のセンサ５が表面４に対向して、
複数個配置されている。
隔てて、表面検査装置のセンサ５が表面４に対向して、
複数個配置されている。
このそれぞれセンサ５には磁界発生手段であるコイルを
有しており、このコイルで高周波数の交流磁界を発生さ
せるようになっている。このため、パトローネ１が回転
して磁界内に表面４が入ると、表面４内にうず電流が流
れる。
有しており、このコイルで高周波数の交流磁界を発生さ
せるようになっている。このため、パトローネ１が回転
して磁界内に表面４が入ると、表面４内にうず電流が流
れる。
この被検査物の表面４を流れるうず電流は表面４に欠陥
があると変動し、この変動によってコイルにインダクタ
ンスの損失の変化が生じる。
があると変動し、この変動によってコイルにインダクタ
ンスの損失の変化が生じる。
このコイルのインダクタンスの変化を検出手段で検出し
て、表面４の欠陥の検出を行なうようになっている。
て、表面４の欠陥の検出を行なうようになっている。
この検出手段は第２図に示すように、プリアンプ６、バ
ンドパスフィルタ７、コンパレータ８及びＯＲ回路９と
から構成されている。それぞれのプリアンプ６ではイン
ダクタンスの変化信号を増幅し、さらにバンドパスフィ
ルタ７で所定の帯域幅の周波数成分のみが取り出される
。そして、この変化信号はコンパレータ８で設定の欠陥
状態を示す基準信号と比較され、ＯＲ回路９を介して欠
陥の検出信号が出力されるようになっている。
ンドパスフィルタ７、コンパレータ８及びＯＲ回路９と
から構成されている。それぞれのプリアンプ６ではイン
ダクタンスの変化信号を増幅し、さらにバンドパスフィ
ルタ７で所定の帯域幅の周波数成分のみが取り出される
。そして、この変化信号はコンパレータ８で設定の欠陥
状態を示す基準信号と比較され、ＯＲ回路９を介して欠
陥の検出信号が出力されるようになっている。
次に、この実施例の作動について説明する。
感光材料３が収納された最終製品としてのパトローネ１
は図示しない回転装置に搬送され、この回転装置でスプ
ール２を支点として回転される。
は図示しない回転装置に搬送され、この回転装置でスプ
ール２を支点として回転される。
このパトローネ１の回転によって、その表面４が表面検
査装置のセンサ５のコイルによる交流磁界をよこぎり、
パトローネｌの表面４にうず電流が流れる。このうず電
流は、仮に、パトローネ１の表面４に欠陥が発生してい
ると、この欠陥によって変動する。この変動によって、
センサ５のコイルのコンダクタンスが変化し、この変化
信号はそれぞれのセンサ５で検知しているが、欠陥が発
生している近傍のセンサ５で大きく現われる。そして、
この変化信号はプリアンプ６で増幅され、バンドパスフ
ィルタ７、コンパレータ８及びＯＲ回路９を介して、欠
陥による変化信号のみが欠陥の検出信号として取り出さ
れ、欠陥の検出を行なう。
査装置のセンサ５のコイルによる交流磁界をよこぎり、
パトローネｌの表面４にうず電流が流れる。このうず電
流は、仮に、パトローネ１の表面４に欠陥が発生してい
ると、この欠陥によって変動する。この変動によって、
センサ５のコイルのコンダクタンスが変化し、この変化
信号はそれぞれのセンサ５で検知しているが、欠陥が発
生している近傍のセンサ５で大きく現われる。そして、
この変化信号はプリアンプ６で増幅され、バンドパスフ
ィルタ７、コンパレータ８及びＯＲ回路９を介して、欠
陥による変化信号のみが欠陥の検出信号として取り出さ
れ、欠陥の検出を行なう。
従って、被検査物の表面４に模様や記号等が付されてい
る場合でも、金属や合金等で形成された表面４に誘導さ
れろうず電流の変化を検出する簡単な構成で、確実に欠
陥の検出を行なうことができる。
る場合でも、金属や合金等で形成された表面４に誘導さ
れろうず電流の変化を検出する簡単な構成で、確実に欠
陥の検出を行なうことができる。
なお、面記実施例ではパトローネエを回転させて、セン
サ５を固定しているが、パトローネ１を固定してセンサ
５を移動するようにしもよい。また、磁界発生手段にコ
イルを用いているが、永久磁石で磁界を発生させ、例え
ばアンメータ等でうず電流の変化を計測するようにして
もよい。さらに、センサ５は複数個設けているが、所定
の交流磁界を発生させるものを少なくとも１側設ければ
よい。
サ５を固定しているが、パトローネ１を固定してセンサ
５を移動するようにしもよい。また、磁界発生手段にコ
イルを用いているが、永久磁石で磁界を発生させ、例え
ばアンメータ等でうず電流の変化を計測するようにして
もよい。さらに、センサ５は複数個設けているが、所定
の交流磁界を発生させるものを少なくとも１側設ければ
よい。
また、検出信号はプリアンプ６で増幅された後、バンド
パスフィルタ７を介してコンパレータ８に入力している
が、例えば、被検査物に応じてバイパスフィルタ及び／
またはローパスフィルタ７で必要な周波数成分を取り出
すようにしてもよい。
パスフィルタ７を介してコンパレータ８に入力している
が、例えば、被検査物に応じてバイパスフィルタ及び／
またはローパスフィルタ７で必要な周波数成分を取り出
すようにしてもよい。
（発明の効果）
この発明は面記のように、被検査物の表面の近傍に配置
された磁界発生手段で磁界を発生させ、この磁界発生手
段と被検査物の表面とを相対移動して、表面にうず電流
を発生させるようになしたから、このうず電流の変化を
検出手段で検出することにより、例え、被検査物の表面
に色等が塗布されている場合でも、表面の欠陥を簡単か
つ確実に検出することができる。
された磁界発生手段で磁界を発生させ、この磁界発生手
段と被検査物の表面とを相対移動して、表面にうず電流
を発生させるようになしたから、このうず電流の変化を
検出手段で検出することにより、例え、被検査物の表面
に色等が塗布されている場合でも、表面の欠陥を簡単か
つ確実に検出することができる。
第１図はこの発明を感光材料を収納したパトローネの表
面欠陥の検出に適用した擢略構成図、第２図はこの発明
の概略を示すブロック図である。 １…パトローネ ４−・表面 ５・・・センサ
面欠陥の検出に適用した擢略構成図、第２図はこの発明
の概略を示すブロック図である。 １…パトローネ ４−・表面 ５・・・センサ
Claims (1)
- 被検査物の導電性を有する表面の欠陥の検出を行なう表
面検査装置において、前記被検査物の表面の近傍に磁界
を発生させる磁界発生手段が被検査物と相対移動可能に
配置され、この相対移動により前記表面に流れるうず電
流の変化を検出手段で表面欠陥として検出する表面検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60179880A JPS6239760A (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60179880A JPS6239760A (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6239760A true JPS6239760A (ja) | 1987-02-20 |
Family
ID=16073513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60179880A Pending JPS6239760A (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6239760A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5715337A (en) * | 1980-07-03 | 1982-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | Fluorescent face burning method for color cathode ray tube |
-
1985
- 1985-08-15 JP JP60179880A patent/JPS6239760A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5715337A (en) * | 1980-07-03 | 1982-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | Fluorescent face burning method for color cathode ray tube |
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