JPS624010B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS624010B2
JPS624010B2 JP54162454A JP16245479A JPS624010B2 JP S624010 B2 JPS624010 B2 JP S624010B2 JP 54162454 A JP54162454 A JP 54162454A JP 16245479 A JP16245479 A JP 16245479A JP S624010 B2 JPS624010 B2 JP S624010B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
acoustic wave
surface acoustic
comb
length direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP54162454A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5685923A (en
Inventor
Osamu Yamazaki
Junichi Inohara
Kazuo Tatsuki
Kyotaka Wasa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP16245479A priority Critical patent/JPS5685923A/ja
Priority to US06/212,685 priority patent/US4363990A/en
Priority to EP80304491A priority patent/EP0030854B1/en
Priority to DE8080304491T priority patent/DE3068075D1/de
Publication of JPS5685923A publication Critical patent/JPS5685923A/ja
Publication of JPS624010B2 publication Critical patent/JPS624010B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/36—Devices for manipulating acoustic surface waves
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は弾性表面波の変換器に関するものであ
り、量産の際に生じやすい特性のばらつきを低減
した、新しい構成の弾性表面波変換器を提供する
ことを目的とする。
圧電薄膜を用いた弾性表面波変換器の従来の代
表例は、第１図に示すように、非圧電性のガラス
などの基板１１上に、アルミニウムなどの金属を
蒸着し、ホトエツチンングの技術で櫛形電極１２
を形成する。その上に圧電性を示す薄膜を配置
し、さらにその上に所要の重みづけ関数に合わせ
た包絡線の形状をなす対向電極１４を配置し、所
望の特性を得ていている。ところが、対向電極１
４のホトエツチ工程で、圧電性を示す薄膜１３の
下部にある櫛形電極１２の位置と、厳密なマスク
アライメントをしなければならない。実際には、
その相対位置がずれやすく、位置ずれを生じる
と、変換器の振幅特性や位相特性にばらつきを生
じ、生産工程で大きな問題となつていた。本発明
はかかる問題を解決するものであり、以下実施例
にもとづき説明する。
第２図は本発明の一実施例を示す略図であり、
基板２１、櫛形電極２２、および圧電性を示す薄
膜２４の位置関係については、第１図の従来例と
同様である。本発明のもつとも特徴的なことは、
対向電極２５の形状を第２図に示すように階段形
に形成していることである。すなわち、対向電極
２５の外形が、電極指２３の長さ方向と平行な線
分と、電極指２３の長さ方向と直交する線分との
交互のくりかえしによつて形成されていることで
ある。この際、上記平行な線分は電極指２３の間
の間隙の部分に対向する位置に配置し、かつ上記
直交する線分を電極指２３の部分を覆うように配
置する。以上の構成によれば、弾性表面波変換器
の生産時におけるマスクアライメントの相対ずれ
に対して変換器としての特性の変動は大幅に低減
される。さらに上記の平行な線分を互いに逆極性
の中間の位置とすると、ソリツド形電極指の場合
に波長の８分の１以内、スプリツト電極指の場合
に波長の16分の１以内のマスクアライメントにお
ける位置ずれを生じても、特性への影響は無視で
きるようになつた。また圧電性を示す薄膜２４の
厚さは、所要の弾性表面波の波長の１〜10％の範
囲内で選ぶと効果がさらに高まる。これは、その
厚さが波長の１％に満たないほど薄いと、圧電性
にもとづく電気機械結合係数が十分に得られない
ためであり、また10％よりも厚くなると、対向電
極の形状にもとづいて所望の重みづけを行なつた
変換器を設計する場合に、電極指と対向電極の間
の電気力線が、乱れるため設計が困難になるため
である。
以上本発明について、簡単のためひとつの実施
例について説明したが、よく知られる構成とし
て、対向電極と櫛形電極の配置関係を逆にする方
法がある。この場合にも、本発明を同様に実施で
き、これは本発明に含まれるものである。また変
換器の周波数特性を改善するため、たとえば
ｓｉｎＸ／Ｘ形の重みづけ関数を用い、関数値が正負交 互にくりかえすような重みづけの場合、対向電極
をいくつかの島状に分割することも可能である。
以上述べたように、本発明は圧電性を示す薄膜を
用いて弾性表面波変換器を構成し、各種の応用部
品を生産する際にその歩留りを向上させ、それに
伴なう資材の効率的な使用が可能となるものであ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の弾性表面波変換器の代表例を説
明するための要部斜視図、第２図は本発明の一実
施例の弾性表面波変換器を説明するための要部斜
視図である。 ２１……基板、２２……櫛形電極、２３……電
極指、２５……対向電極。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 櫛形電極と対向電極とこれら両電極の間には
    さまれた圧電性を示す薄膜を有し、上記対向電極
    を上記櫛形電極の電極指の長さ方向に平行な線分
    と、上記電極指の長さ方向に直交する線分との交
    互にくりかえしてなる外形を有する１個または複
    数個の島状とし、かつ上記対向電極の上記櫛形電
    極の電極指の長さ方向に平行な線分が上記電極指
    のない部分に対向し、上記電極指の長さ方向に直
    交する線分が上記電極指に対向して配置されてい
    ることを特徴とする弾性表面波変換器。 ２ 圧電性を示す薄膜の厚さを、所要の弾性表面
    波の波長の１〜10％としたことを特徴とする特許
    請求の範囲第１項に記載の弾性表面波変換器。 ３ 対向電極の櫛状電極の長さ方向に平行な線分
    の位置を、互いに逆極性の電極指の間の、中央部
    分に配置してなることを特徴とする特許請求の範
    囲第１項に記載の弾性表面波変換器。
JP16245479A 1979-12-13 1979-12-13 Elastic surface wave transducer Granted JPS5685923A (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16245479A JPS5685923A (en) 1979-12-13 1979-12-13 Elastic surface wave transducer
US06/212,685 US4363990A (en) 1979-12-13 1980-12-03 Surface acoustic wave transducer
EP80304491A EP0030854B1 (en) 1979-12-13 1980-12-12 Surface acoustic wave transducer
DE8080304491T DE3068075D1 (en) 1979-12-13 1980-12-12 Surface acoustic wave transducer

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JP16245479A JPS5685923A (en) 1979-12-13 1979-12-13 Elastic surface wave transducer

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Publication Number Publication Date
JPS5685923A JPS5685923A (en) 1981-07-13
JPS624010B2 true JPS624010B2 (ja) 1987-01-28

Family

ID=15754914

Family Applications (1)

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Country Status (4)

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US (1) US4363990A (ja)
EP (1) EP0030854B1 (ja)
JP (1) JPS5685923A (ja)
DE (1) DE3068075D1 (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
EP0030854A3 (en) 1981-07-01
DE3068075D1 (en) 1984-07-05
US4363990A (en) 1982-12-14
EP0030854B1 (en) 1984-05-30
JPS5685923A (en) 1981-07-13
EP0030854A2 (en) 1981-06-24

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