JPS6236343Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は弾性表面波デバイスに係り、特に電極
形状による静電容量とマツチングさせるインダク
タを同一基板上に備えた弾性表面波デバイスに関
するものである。

圧電性基板を用い、電気信号−弾性表面波変換
を利用した所謂弾性表面波デバイスは、例えばテ
レビ受信機における選局部のチヤンネル数カウン
ト装置に使用されている。従来のくし形弾性表面
波デバイスは、一般に第１図に示す構造を有す
る。すなわち、圧電性基板１上に、電気信号を弾
性表面波に変換する入力電極２と、圧電性基板１
を伝搬された弾性表面波を電気信号に変換する一
対の出力電極３及び４と、前記入力電極２と出力
電極３及び４で構造上形成される静電容量とマツ
チングさせるためのインダクタ５とから構成され
ている。また前記出力電極３及び４は、所定の距
離ｘだけ分離されていると共に、出力電極間電極
７（以下電極と呼ぶ）を介して電気的に並列接続
されている。

この弾性表面波デバイスの周波数特性Ｈ（ω）
は、出力電極３と４に同一構成の電極を用いた場
合、その周波数特性Ｆ（ω）と、入力電極２の周
波数特性Ｇ（ω）との積Ｆ（ω）×Ｇ（ω）と、
出力電極３と４の間の距離ｘと、弾性表面波速度
υとによつて決定される周波数間隔Δ＝υ／ｘ
毎に山または谷をもつくし形特性が重畳された特
性を有している。なお、図中６はボンデイングパ
ツドである。

前記デバイスの各電極２，３，４は、その構造
上必然的に静電容量をもつもので、これが損失の
原因となるので、前記の如く入力電極２および出
力電極３，４にそれらの静電容量とマツチングさ
せるためのインダクタ５をそれぞれ並列に接続し
ている。

しかし、周波数が高くなつてくると、入力電極
２の方は問題ないが、出力側では一対の電極３と
４との間の距離ｘ分だけ位相角が異なり、インダ
クタ効果が異るため、損失低減効果が十分に得ら
れないことと、くし形特性の山谷比が十分にとれ
ないという不都合を生じていた。

本考案の目的は、前記の如き不都合を改善し、
静電容量の影響を低減したくし形特性の機能を持
つ弾性表面波デバイスを提供することである。

このため本考案による弾性表面波デバイスは、
一対の出力電極（あるいは入力電極）のそれぞれ
の電極と前記インダクタとから構成される電気長
がほぼ同一位置に前記インダクタを接続したこと
を特徴とする。

ここで、電気長とは下記の式によつて、掃引幅
と位相特性から求める量である。

ｌ＝ｃ×φ／×３６０゜ ｌ：電気長 ｃ：電磁波速度 ：電気長を測定する周波数 φ：測定する位相角 したがつて、本発明で電気長を等しくするとは
上式でφ以外は固定するものであるので、出力電
極３および４の電気長を等しくすることで、両者
のφを等しくすることを意味する。

すなわち、出力電極３を切り離し、出力電極４
にのみインダクタを接続した時の測定位相角φと
出力電極４を切り離し出力電電極３にのみインダ
クタを接続した時の測定位相角φとが等しくする
ような位置にインダクタを接続する点に特徴を有
している。

以下図面を用いて本考案の一実施例を詳細に説
明する。第２図は本考案の一実施例である弾性表
面波デバイスを示す図である。

図に示す様に、本考案による弾性表面波デバイ
スは、圧電性基板１上に、電気信号を弾性表面波
に変換する入力電極２と、該入力電極２にボンデ
イングパツト６ａを介して接続されたインダクタ
５ａと、電極７を介して並列接続され、弾性表面
波を電気信号に変換する一対の出力電極３及び４
と、その出力電極３と４から前記インダクタとの
電気長がほぼ同一となる位置、即ち出力電極３と
４との中点位置にボンデイングパツト６ｂを介し
て接続されたインダクタ５ｂとにより構成されて
いる。

前記各電極２，３及び４は、電極指間隔が連続
的に変化するソリツド型電極であり、その間隔は
１〜1.64μｍである。また本デバイスの入出力電
極の入出力対数は、入力電極２が35対、出力電極
３および４が20対であり、金属膜厚は0.3μｍと
した。また、インダクタ５ａ及び５ｂは、長さ
6.5mm電極幅を100μｍとし、特に直流抵抗を減少
させるために金属膜厚を５μｍとして構成した。
さらに他の実施例として、第３図に概念図で示し
た電極、インダクタの接続構造も可能であること
は言うまでもない。

上述の如き構成よりなる本考案による弾性表面
波デバイスは、電気信号が入力電極２によつて弾
性表面波に変換され、この弾性表面波が出力電極
３及び４によつて再度電気信号に変換される際、
出力電極３と４からのそれぞれの電気長がほぼ同
一となる位置にインダクタ５ｂを接続したことに
よつて、一対の出力電極側での静電容量の影響を
低減することができる。具体的には、前記実施例
によつて、従来技術よりおよそ6dB程度の損失低
減、および全帯域においてくし形特性の山谷化と
して15dB以上確保されたくし形弾性表面波デバ
イスを得ることができた。

以上述べたように、本考案によれば、伝搬損失
の少い、良好なくし形特性の弾性表面波デバイス
を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の弾性表面波デバイスを示す図、
第２図は本考案の一実施例である弾性表面波デバ
イスを示す図、第３図は本考案の他の実施例を示
す概念構成図である。 １……圧電性基板、２……入力電極、３，４…
…出力電極、５，５ａ，５ｂ……インダクタ、６
ａ，６ｂ……ボンデイングパツト。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 圧電性基板上に、電気信号を弾性表面波に変換
   する１ケの入力電極（あるいは出力電極）と、弾
   性表面波を電気信号に変換する２ケの並列接続さ
   れた出力電極（あるいは入力電極）と、前記各電
   極の静電容量とマツチングさせるためのインダク
   タとを備えた弾性表面波デバイスにおいて、前記
   並列接続された一対の出力電極（あるいは入力電
   極）のそれぞれの電極から前記インダクタとの電
   気長がほぼ同一となる位置に前記インダクタを接
   続したことを特徴とする弾性表面波デバイス。