JPS624359A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPS624359A JPS624359A JP60142528A JP14252885A JPS624359A JP S624359 A JPS624359 A JP S624359A JP 60142528 A JP60142528 A JP 60142528A JP 14252885 A JP14252885 A JP 14252885A JP S624359 A JPS624359 A JP S624359A
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- register
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- Pending
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- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は固体撮像装置ζ二関する。
高解像度化またはカラ＝化の行なわれた例えばＣＯＤ固
体撮像装置（＝おいて、ａＩＮ比の向上、水平ＣＯＤレ
ジスター駆動及び信号処理の容易化を計るには、水平Ｃ
ＯＤレジスターを２線または３線にすることが有効であ
る。
体撮像装置（＝おいて、ａＩＮ比の向上、水平ＣＯＤレ
ジスター駆動及び信号処理の容易化を計るには、水平Ｃ
ＯＤレジスターを２線または３線にすることが有効であ
る。
第４図は２線水平レジスター４１を有するＣＯＤ固体撮
像装置の構成例を示す。奇数列および偶数列の垂直レジ
スター４２．４３から転送された信号電荷は、それぞれ
第１および第２水平レジスタ７４４゜４５：；転送され
た後、信号として読み出される。ここで、第２水平レジ
スター４５に転送される信号電荷は一旦第１水平レジス
ター４４に蓄積された後、水平シフトゲート４６によっ
て転送されている。しかし、この転送は、転送経路であ
るチャネルの幅の変化１：起因した狭デャネル効果によ
り、不完全転送モード（：なり易い。この場合、撮像画
面上に綾状の黒線が発生し、画質が劣化する。
像装置の構成例を示す。奇数列および偶数列の垂直レジ
スター４２．４３から転送された信号電荷は、それぞれ
第１および第２水平レジスタ７４４゜４５：；転送され
た後、信号として読み出される。ここで、第２水平レジ
スター４５に転送される信号電荷は一旦第１水平レジス
ター４４に蓄積された後、水平シフトゲート４６によっ
て転送されている。しかし、この転送は、転送経路であ
るチャネルの幅の変化１：起因した狭デャネル効果によ
り、不完全転送モード（：なり易い。この場合、撮像画
面上に綾状の黒線が発生し、画質が劣化する。
本発明は１述の問題に対処したものであり、水平シフト
ゲート４６部における転送を良好に行ない、前述の黒線
の発生を抑えることのできる固体撮像装置を提供するも
のである。
ゲート４６部における転送を良好に行ない、前述の黒線
の発生を抑えることのできる固体撮像装置を提供するも
のである。
本発明は、垂直レジスタから離れる方向に、電荷の注入
方向に沿って水平レジスター役のチャネル幅を順次大と
する事を骨子とする。
方向に沿って水平レジスター役のチャネル幅を順次大と
する事を骨子とする。
本発明によれば狭チャネル効果の影響が小さくなり、良
好な転送のもとに黒線のない高画質の画面が得られる。
好な転送のもとに黒線のない高画質の画面が得られる。
第１図はストレ・「ブタイブカラー固体撮像装置の実施
例の半導体基板の平面図、第２図（、）（ｂ）はその断
面図である。
例の半導体基板の平面図、第２図（、）（ｂ）はその断
面図である。
詳述すれば、撮像領域の奇数列の垂直ＣＯＤレジスター
４２．偶数列の垂直ＣＯＤレジスター４３がＷＩＪ１段
の水平ＣＯＤレジスターＩ、水平シフトゲート電極５．
第２段の水平ＣＣＤレジスター４５から成る２線水平Ｃ
ＯＤレジスターに接続されている。撮像領′域では、垂
直ＣＯＤレジスター４２．４３は２又構成となっており
、夫々垂直ＣＯＤレジスター（；１］で示す画素が付属
している。Ｒ−Ｇ−Ｂ−Ｇを単位とする繰り返しでアレ
イが形成されている。画素上の垂直ＣＣＤレジスターの
垂直最終転層電極３．（ｐＶ）に続いて切り換え転送電
極１７ （ＯＧＩ） 、 １８ （ＯＧ２ ）を有する
。ｌｏｔのＯＮ期間では赤色〔几〕画素。
４２．偶数列の垂直ＣＯＤレジスター４３がＷＩＪ１段
の水平ＣＯＤレジスターＩ、水平シフトゲート電極５．
第２段の水平ＣＣＤレジスター４５から成る２線水平Ｃ
ＯＤレジスターに接続されている。撮像領′域では、垂
直ＣＯＤレジスター４２．４３は２又構成となっており
、夫々垂直ＣＯＤレジスター（；１］で示す画素が付属
している。Ｒ−Ｇ−Ｂ−Ｇを単位とする繰り返しでアレ
イが形成されている。画素上の垂直ＣＣＤレジスターの
垂直最終転層電極３．（ｐＶ）に続いて切り換え転送電
極１７ （ＯＧＩ） 、 １８ （ＯＧ２ ）を有する
。ｌｏｔのＯＮ期間では赤色〔几〕画素。
青色ＣＢ）画素の信号が通過し、ダＧ、のＯＮ期間では
緑色ＣＧ）画素の信号が通過することになる。
緑色ＣＧ）画素の信号が通過することになる。
従ってその先は２本のチャネルが１本とされ第１層ポリ
別よりなる水平転送ストレージ電極４（二人る。
別よりなる水平転送ストレージ電極４（二人る。
水平レジスタ一部では、基本的には２層の転送電極構成
である。、第１段水平ＣＣＤレジスターでは上記水平転
送ストレージ電極４の延在部、水平転送ストレージ電極
７−１．７−２．７−３ （１”ｔ ）が第１層ポリＳ
ｔ 、水平転層バリアー電極８−１．８−３ （、ｍＨ
鵞）が第３層ボ９８１で形成されている。そして、下側
に水平シフトゲート４６が形成される。ここでは基板よ
り高濃度のチャネルストッパー１０が選択的に拡散（又
はイオン注入）形成され、その窓部より第１段水平レジ
スターのストレージ電極４の延在部を通過したａ又はＢ
信号が第２段水平シフトゲート：二転送される。この転
送は第２層ポリＳｉよりなる水平シフトゲート電極５（
ＨＧ）がＯＮの時なされる。従ってこれがＯＦＦの時は
Ｇ信号が第１段レジスターで止められる。几、Ｂ信号は
フィルター（二より低レベルの信号である事を考慮して
ｄ、−が大きい２段目とした。第２Ｒレジスターは、第
１段における前記水平転送ストレージ電ａ４の延在部Ｃ
：対応した第１層ポリ８＋よりなる水平転送ストレージ
電極６−１．６−２ （ＯＨ＊） 、及び前記水平転送
バリアー電極８−１．８−２、水平転送ストレージ電８
ｉ？−１，７−２，７−３より成る。
４上述のように第１段水平ＣＣＤレジスターの水平転送
ストレージ電極４のチャネル幅ｄ、に比べて、第２段の
水平転送ストレージ電極６−１．６−２のチャネル幅ｄ
、が拡げられ、狭チャネル効果による転送不良が防止さ
れ、高画質化が図られている。第２図は人−゛Ａ′、Ｂ
−Ｂ′断面を示す。又ム−にと構造は同じであるためＣ
−σ断面は省略する。
である。、第１段水平ＣＣＤレジスターでは上記水平転
送ストレージ電極４の延在部、水平転送ストレージ電極
７−１．７−２．７−３ （１”ｔ ）が第１層ポリＳ
ｔ 、水平転層バリアー電極８−１．８−３ （、ｍＨ
鵞）が第３層ボ９８１で形成されている。そして、下側
に水平シフトゲート４６が形成される。ここでは基板よ
り高濃度のチャネルストッパー１０が選択的に拡散（又
はイオン注入）形成され、その窓部より第１段水平レジ
スターのストレージ電極４の延在部を通過したａ又はＢ
信号が第２段水平シフトゲート：二転送される。この転
送は第２層ポリＳｉよりなる水平シフトゲート電極５（
ＨＧ）がＯＮの時なされる。従ってこれがＯＦＦの時は
Ｇ信号が第１段レジスターで止められる。几、Ｂ信号は
フィルター（二より低レベルの信号である事を考慮して
ｄ、−が大きい２段目とした。第２Ｒレジスターは、第
１段における前記水平転送ストレージ電ａ４の延在部Ｃ
：対応した第１層ポリ８＋よりなる水平転送ストレージ
電極６−１．６−２ （ＯＨ＊） 、及び前記水平転送
バリアー電極８−１．８−２、水平転送ストレージ電８
ｉ？−１，７−２，７−３より成る。
４上述のように第１段水平ＣＣＤレジスターの水平転送
ストレージ電極４のチャネル幅ｄ、に比べて、第２段の
水平転送ストレージ電極６−１．６−２のチャネル幅ｄ
、が拡げられ、狭チャネル効果による転送不良が防止さ
れ、高画質化が図られている。第２図は人−゛Ａ′、Ｂ
−Ｂ′断面を示す。又ム−にと構造は同じであるためＣ
−σ断面は省略する。
第３図は、各電極のタイミング図である。図は水平レジ
スターへ、ＪＢ倍信号びＧ信号を注入するｌナイクル及
び、それ口続く水平転送期間を示す。
スターへ、ＪＢ倍信号びＧ信号を注入するｌナイクル及
び、それ口続く水平転送期間を示す。
即ち、この例では、画素アレーｆの最下段から１段ずつ
水平レジスターを通して読み出される。
水平レジスターを通して読み出される。
尚、水平レジスターの段を追う毎に注入用のストレージ
電極のチャネル幅を大とすればよいが、第１図に示す様
にｓ ’ｌ ２４ｍ ＊ ’ｌ ＝’４として水平レジ
スタの電極対の面積を等しくすると効率上都合が良い。
電極のチャネル幅を大とすればよいが、第１図に示す様
にｓ ’ｌ ２４ｍ ＊ ’ｌ ＝’４として水平レジ
スタの電極対の面積を等しくすると効率上都合が良い。
上記例では２段構成の場合を示したが、３段するような
場合も有効である。
場合も有効である。
第１図は本発明の実施例の平面図、第２図はその断面図
、第３図はタイミング図、？Ｊ＆４図は従来例の平面図
である。 図において。 ｌ・・・垂直ＣＣＤチャネル ２・・・フィールド部（Ｓ；０□） ３・・・垂直最終転送電極（第２層ボ！Ｊ８１）４・・
・水平転送ストレーレ電極（第１層ポリ旧）５・・・水
平シフトゲート電極（第１層ポリ８＋ ）６−１．６−
２・・・水平転送ストレージ１！橋（第１層ポリ８＋）
？−１．７−２．７−３・・・水平転送ストレージ電極
（第１層ポリＳｔ ） ８−１．８−２・・・水平転送バリアー電ｊ（第３層ポ
９８＋）９−１．９−２・・・水平転送バリアー電極（
第３層ボ！Ｊ ８１）１０・・・チャネルストッパ一層 １１・・・シリコン酸化膜 １２・・・保、１ｉ膜 １３・・・Ｐ型シリコン基板 １４．１６・・・ストレージチャネル層１５・・・バリ
アーチャネル層 １７・・・切り換え転送電極（第２層ボ９８ｉ ）１８
・・・切り換え転送電極（第３層ポ９８ｉ ）代理人弁
理士 則近憲佑・同竹花喜久男第 １ 図 ρ− 第 ２ 図 第 ３ 図
、第３図はタイミング図、？Ｊ＆４図は従来例の平面図
である。 図において。 ｌ・・・垂直ＣＣＤチャネル ２・・・フィールド部（Ｓ；０□） ３・・・垂直最終転送電極（第２層ボ！Ｊ８１）４・・
・水平転送ストレーレ電極（第１層ポリ旧）５・・・水
平シフトゲート電極（第１層ポリ８＋ ）６−１．６−
２・・・水平転送ストレージ１！橋（第１層ポリ８＋）
？−１．７−２．７−３・・・水平転送ストレージ電極
（第１層ポリＳｔ ） ８−１．８−２・・・水平転送バリアー電ｊ（第３層ポ
９８＋）９−１．９−２・・・水平転送バリアー電極（
第３層ボ！Ｊ ８１）１０・・・チャネルストッパ一層 １１・・・シリコン酸化膜 １２・・・保、１ｉ膜 １３・・・Ｐ型シリコン基板 １４．１６・・・ストレージチャネル層１５・・・バリ
アーチャネル層 １７・・・切り換え転送電極（第２層ボ９８ｉ ）１８
・・・切り換え転送電極（第３層ポ９８ｉ ）代理人弁
理士 則近憲佑・同竹花喜久男第 １ 図 ρ− 第 ２ 図 第 ３ 図
Claims (1)
- 複線水平レジスターを備えた固体撮像装置において、水
平レジスター間で、電荷注入部の転送チャネルの幅を垂
直レジスターからの信号電荷の転送方向に順次大と為し
た事を特徴とする固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60142528A JPS624359A (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60142528A JPS624359A (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS624359A true JPS624359A (ja) | 1987-01-10 |
Family
ID=15317452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60142528A Pending JPS624359A (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS624359A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01268052A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-25 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置およびその製造方法 |
| JPH01308072A (ja) * | 1988-06-07 | 1989-12-12 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
| JPH025474A (ja) * | 1988-06-23 | 1990-01-10 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
| US5182622A (en) * | 1989-02-14 | 1993-01-26 | Sony Corporation | Charge coupled device imager having multichannel readout structure |
| US5532503A (en) * | 1992-09-11 | 1996-07-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Charge transfer device with multi-line read structure |
-
1985
- 1985-07-01 JP JP60142528A patent/JPS624359A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01268052A (ja) * | 1988-04-20 | 1989-10-25 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置およびその製造方法 |
| JPH01308072A (ja) * | 1988-06-07 | 1989-12-12 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
| JPH025474A (ja) * | 1988-06-23 | 1990-01-10 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
| US5182622A (en) * | 1989-02-14 | 1993-01-26 | Sony Corporation | Charge coupled device imager having multichannel readout structure |
| US5532503A (en) * | 1992-09-11 | 1996-07-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Charge transfer device with multi-line read structure |
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