JPS62437B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62437B2 JPS62437B2 JP57199765A JP19976582A JPS62437B2 JP S62437 B2 JPS62437 B2 JP S62437B2 JP 57199765 A JP57199765 A JP 57199765A JP 19976582 A JP19976582 A JP 19976582A JP S62437 B2 JPS62437 B2 JP S62437B2
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- Japan
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- electric furnace
- heat
- gap
- transparent
- transparent heat
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- Furnace Details (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Description
本発明は電気炉、特に半導体材料を始めとしそ
の他各種化合物材料に対するそれらの気相合成及
びそれらの単結晶の気相成長、または気相及び液
相のエピタキシヤル成長、並びに凝固法及び溶液
析出法等による単結晶成長等に利用するのに適し
た電気炉に関するものである。 従来のこの種電気炉としては、 (1) 断熱材としてレンガ、カオール等の耐火物を
使用した電気炉 (2) ゴールドフアーネスと呼ばれる金の赤外線反
射膜による輻射断熱を施した直視可能な電気炉 が知られている。 しかしながら、前記(1)の電気炉は断熱材がレン
ガ、カオール等の耐火物であるため、炉内部は直
視観察することができず、また耐火物の熱容量が
大きいため、急熱、急冷等の急激な温度変化の制
御が不可能であり、特に気相及び液相エピタキシ
ヤル成長のような複雑な過程の制御を要する対象
に利用するには極めて不都合である欠点を有して
いた。 また、前記(2)の電気炉は直視可能な利点を有す
るが、二重構造を持つ透明耐熱材料の間隙が気密
に保持されていないため、その間隙は大気にさら
され、そのため伝導と対流による放熱が大きく、
そのために保温性並びに急熱特性が不十分である
欠点があつた。 本発明は従来電気炉における前記欠点をなくす
べくなされたもので、その目的は加熱部内を直視
可能であると同時に、急熱・急冷等の急激な温度
変化の制御が可能で、かつ断熱、保温性が優れ、
消費電力が少なくてすむ電気炉を提供するにあ
る。 次に本発明の電気炉の実施態様を第１図に基づ
いて説明する。発熱部分はらせん状に巻いたカン
タル線抵抗体１と、これを支える硬質アスベスト
製リング２からなつている。この加熱部分の外側
を、透明耐熱材料である透明石英ガラス製内管３
と、透明パイレツクスガラス製外管４からなる二
重管で囲んでいる。この両管の両端部において金
属製フランジ５によつて両管の間隙７は気密に連
結保持されている。６及び８はフランジ５に設け
られた真空排気管６及び気体導入管８である。間
隙７内部を真空排気管６より真空ポンプで排気す
ることにより10-2mmＨｇ以上の真空状態にし断熱
層として作用させることができ、また気体導入管
８より熱伝達用アルゴン等の気体を導入すること
により放熱層として作用させることができる。９
は内管３の外側に被覆された選択的透過膜として
の蒸着金薄膜で、熱輻射断熱作用をする。１０は
フランジ５に取付けられた冷却用パイプで、フラ
ンジ５の過熱を防止する作用をする。 発熱用抵抗体１としては、カンタル線のほか、
ニクロム線、シリコニツト等の発熱体はすべて使
用することができる。 内管３、外管４にはパイレツクスガラス、石英
ガラスのほか、透明アルミナ等の透明である耐熱
材料であればよい。また、内管３の外側に被覆さ
れた選択的透過膜としては、金薄膜のほか、酸化
スズ薄膜、酸化インジウム薄膜、酸化タングステ
ン薄膜のような赤外線を反射し、かつ可視光線を
透過する機能を持つ薄膜であれば同様に使用する
ことができる。 熱伝達用気体としては、アルゴンガスのほか、
窒素ガス、ヘリウムガス等も同様に使用し得られ
る。 本発明の電気炉は、加熱部分の外側を少なくと
も二重構造を持つ透明耐熱材料で気密に囲み、そ
の多重構造となつた透明耐熱材料間の間隙を10-2
〜10-7mmＨｇの真空にすることができ、またその
間隙に適宜気体を導入することができるように構
成し、かつ加熱部分を赤外線を反射し、可視光を
透過する選択的光透過膜で覆つたことを特徴とす
る電気炉にある。 本発明の電気炉によると、 (1) 透明耐熱材料による多重構造で形成された真
空断熱層と、選択的光透過膜による輻射断熱を
採用しているため、可視光に対して透明であ
る。従つて、加熱中炉内部を透視することがで
き、炉内部で進行する反応系及び結晶成長系の
動的観測が可能であり、またそれらの系の制御
が容易である。またこの利点は青色光照明下で
本電気炉を用いると、更に顕著になる。 (2) 真空断熱層と選択的透過膜による輻射断熱層
により断熱するためその断熱性が優れ、そのた
め消費電力が小さく経済効率が高い。 (3) また、上記の構成から熱容量も小さく、併せ
て気体導入と真空排気が可能であるため、優れ
た急熱、急冷効果を持つ。従つて所望の温度へ
の急激な変化に極めて早く追従させることがで
きる。 本発明の電気炉と従来型ゴールドフアーネスと
の消費電力及び急熱特性と比較すると次の通りで
あつた。
の他各種化合物材料に対するそれらの気相合成及
びそれらの単結晶の気相成長、または気相及び液
相のエピタキシヤル成長、並びに凝固法及び溶液
析出法等による単結晶成長等に利用するのに適し
た電気炉に関するものである。 従来のこの種電気炉としては、 (1) 断熱材としてレンガ、カオール等の耐火物を
使用した電気炉 (2) ゴールドフアーネスと呼ばれる金の赤外線反
射膜による輻射断熱を施した直視可能な電気炉 が知られている。 しかしながら、前記(1)の電気炉は断熱材がレン
ガ、カオール等の耐火物であるため、炉内部は直
視観察することができず、また耐火物の熱容量が
大きいため、急熱、急冷等の急激な温度変化の制
御が不可能であり、特に気相及び液相エピタキシ
ヤル成長のような複雑な過程の制御を要する対象
に利用するには極めて不都合である欠点を有して
いた。 また、前記(2)の電気炉は直視可能な利点を有す
るが、二重構造を持つ透明耐熱材料の間隙が気密
に保持されていないため、その間隙は大気にさら
され、そのため伝導と対流による放熱が大きく、
そのために保温性並びに急熱特性が不十分である
欠点があつた。 本発明は従来電気炉における前記欠点をなくす
べくなされたもので、その目的は加熱部内を直視
可能であると同時に、急熱・急冷等の急激な温度
変化の制御が可能で、かつ断熱、保温性が優れ、
消費電力が少なくてすむ電気炉を提供するにあ
る。 次に本発明の電気炉の実施態様を第１図に基づ
いて説明する。発熱部分はらせん状に巻いたカン
タル線抵抗体１と、これを支える硬質アスベスト
製リング２からなつている。この加熱部分の外側
を、透明耐熱材料である透明石英ガラス製内管３
と、透明パイレツクスガラス製外管４からなる二
重管で囲んでいる。この両管の両端部において金
属製フランジ５によつて両管の間隙７は気密に連
結保持されている。６及び８はフランジ５に設け
られた真空排気管６及び気体導入管８である。間
隙７内部を真空排気管６より真空ポンプで排気す
ることにより10-2mmＨｇ以上の真空状態にし断熱
層として作用させることができ、また気体導入管
８より熱伝達用アルゴン等の気体を導入すること
により放熱層として作用させることができる。９
は内管３の外側に被覆された選択的透過膜として
の蒸着金薄膜で、熱輻射断熱作用をする。１０は
フランジ５に取付けられた冷却用パイプで、フラ
ンジ５の過熱を防止する作用をする。 発熱用抵抗体１としては、カンタル線のほか、
ニクロム線、シリコニツト等の発熱体はすべて使
用することができる。 内管３、外管４にはパイレツクスガラス、石英
ガラスのほか、透明アルミナ等の透明である耐熱
材料であればよい。また、内管３の外側に被覆さ
れた選択的透過膜としては、金薄膜のほか、酸化
スズ薄膜、酸化インジウム薄膜、酸化タングステ
ン薄膜のような赤外線を反射し、かつ可視光線を
透過する機能を持つ薄膜であれば同様に使用する
ことができる。 熱伝達用気体としては、アルゴンガスのほか、
窒素ガス、ヘリウムガス等も同様に使用し得られ
る。 本発明の電気炉は、加熱部分の外側を少なくと
も二重構造を持つ透明耐熱材料で気密に囲み、そ
の多重構造となつた透明耐熱材料間の間隙を10-2
〜10-7mmＨｇの真空にすることができ、またその
間隙に適宜気体を導入することができるように構
成し、かつ加熱部分を赤外線を反射し、可視光を
透過する選択的光透過膜で覆つたことを特徴とす
る電気炉にある。 本発明の電気炉によると、 (1) 透明耐熱材料による多重構造で形成された真
空断熱層と、選択的光透過膜による輻射断熱を
採用しているため、可視光に対して透明であ
る。従つて、加熱中炉内部を透視することがで
き、炉内部で進行する反応系及び結晶成長系の
動的観測が可能であり、またそれらの系の制御
が容易である。またこの利点は青色光照明下で
本電気炉を用いると、更に顕著になる。 (2) 真空断熱層と選択的透過膜による輻射断熱層
により断熱するためその断熱性が優れ、そのた
め消費電力が小さく経済効率が高い。 (3) また、上記の構成から熱容量も小さく、併せ
て気体導入と真空排気が可能であるため、優れ
た急熱、急冷効果を持つ。従つて所望の温度へ
の急激な変化に極めて早く追従させることがで
きる。 本発明の電気炉と従来型ゴールドフアーネスと
の消費電力及び急熱特性と比較すると次の通りで
あつた。
【表】
(4) 電気炉内部の透視及び急激に温度変化が可能
なことにより、エピタキシヤル結晶を始めと
し、その他結晶の成長に関する研究、結晶素材
の製造分野における作業能率の向上に寄与する
ことが大きい。 等の優れた作用効果を有する。
なことにより、エピタキシヤル結晶を始めと
し、その他結晶の成長に関する研究、結晶素材
の製造分野における作業能率の向上に寄与する
ことが大きい。 等の優れた作用効果を有する。
第１図は本発明における一実施態様の電気炉の
断面図を示す。 １：発熱用抵抗体、２：発熱用抵抗体の支えリ
ング、３：透明耐熱性材料からなる内管、４：透
明耐熱性材料からなる外管、５：フランジ、６：
真空排気管、７：間隙、８：気体導入管、９：選
択的透過膜、１０：冷却用パイプ。
断面図を示す。 １：発熱用抵抗体、２：発熱用抵抗体の支えリ
ング、３：透明耐熱性材料からなる内管、４：透
明耐熱性材料からなる外管、５：フランジ、６：
真空排気管、７：間隙、８：気体導入管、９：選
択的透過膜、１０：冷却用パイプ。
Claims (1)
- １ 加熱部分の外側を赤外線を反射し、可視光線
を透過する選択的光透過膜で覆い、少くとも二重
構造を持つ透明耐熱材料で囲んだ構造を持つ電気
炉において、それら透明耐熱材料の間隙を冷却機
構を設けたフランジにより気密に保持し、かつそ
の間隙につながつた真空排気管及び気体導入管を
設けたことを特徴とする電気炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19976582A JPS5989991A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 電気炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19976582A JPS5989991A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 電気炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5989991A JPS5989991A (ja) | 1984-05-24 |
| JPS62437B2 true JPS62437B2 (ja) | 1987-01-07 |
Family
ID=16413241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19976582A Granted JPS5989991A (ja) | 1982-11-16 | 1982-11-16 | 電気炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5989991A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130840U (ja) * | 1988-03-02 | 1989-09-06 | ||
| JPH0460721U (ja) * | 1990-10-04 | 1992-05-25 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6879125B2 (ja) * | 2017-08-29 | 2021-06-02 | トヨタ自動車株式会社 | 二重管断熱炉 |
| JP6988273B2 (ja) * | 2017-08-30 | 2022-01-05 | トヨタ自動車株式会社 | 二重管断熱壁構造体 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53105739A (en) * | 1977-02-28 | 1978-09-14 | Clarion Co Ltd | Electric furnace of thermal radiation balancing type |
-
1982
- 1982-11-16 JP JP19976582A patent/JPS5989991A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130840U (ja) * | 1988-03-02 | 1989-09-06 | ||
| JPH0460721U (ja) * | 1990-10-04 | 1992-05-25 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5989991A (ja) | 1984-05-24 |
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