JPS6245985A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPS6245985A JPS6245985A JP18529385A JP18529385A JPS6245985A JP S6245985 A JPS6245985 A JP S6245985A JP 18529385 A JP18529385 A JP 18529385A JP 18529385 A JP18529385 A JP 18529385A JP S6245985 A JPS6245985 A JP S6245985A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooled
- temperature
- panel
- cryopanel
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はクライオパネル等の被冷却部分に加熱ヒータを
備えたクライオポンプに関するものである。
備えたクライオポンプに関するものである。
（従来の技術）
半導体回路の膜形成等は、現在スパッタ装置、蒸着装置
、ＭＢＥ装置、プラズマＣＶＤ装置によって行なわれて
いる。これら装置における処理は超真空環境下で行われ
ており、かかる超真空環境をつくり出す手段としてクラ
イオポンプが使用されている。このクライオポンプは開
閉バルブを介して前記膜形成等を行う真空作業室と接続
されており、膜形成作業等を行う場合には、真空作業室
内の気体を吸引手段によって吸引排出した後に、排出さ
れずに残存した気体を、クライオパネルの冷却によって
該クライオパネル上に凝縮や吸着の態様で捕捉し、これ
により真空作業室の超真空環境をつくり出す。そして適
宜このクライオパネル上に捕捉された気体をクライオパ
ネルから脱離させて外に排出するものである。通常、こ
の気体のパネルからの脱離はクライオパネルの冷却駆動
を停止し、クライオパネルの温度が室温に戻った状態で
行われている。
、ＭＢＥ装置、プラズマＣＶＤ装置によって行なわれて
いる。これら装置における処理は超真空環境下で行われ
ており、かかる超真空環境をつくり出す手段としてクラ
イオポンプが使用されている。このクライオポンプは開
閉バルブを介して前記膜形成等を行う真空作業室と接続
されており、膜形成作業等を行う場合には、真空作業室
内の気体を吸引手段によって吸引排出した後に、排出さ
れずに残存した気体を、クライオパネルの冷却によって
該クライオパネル上に凝縮や吸着の態様で捕捉し、これ
により真空作業室の超真空環境をつくり出す。そして適
宜このクライオパネル上に捕捉された気体をクライオパ
ネルから脱離させて外に排出するものである。通常、こ
の気体のパネルからの脱離はクライオパネルの冷却駆動
を停止し、クライオパネルの温度が室温に戻った状態で
行われている。
（発明が解決しようとする問題点）
上記従来の装置において、気体のパネルからの脱離を行
なう場合には、前述の如く、パネル冷却を停止した後、
クライオパネルを含む被冷却部分の温度を室温に戻ず必
要がある。この被冷却部分の温度を室温に戻すには従来
から、■自然放置■パージガス（Ｎ２）の導入の二通り
の方法が行なわれている。
なう場合には、前述の如く、パネル冷却を停止した後、
クライオパネルを含む被冷却部分の温度を室温に戻ず必
要がある。この被冷却部分の温度を室温に戻すには従来
から、■自然放置■パージガス（Ｎ２）の導入の二通り
の方法が行なわれている。
しかし、自然放置の方法では、クライオポンプ内の気体
による熱伝導と冷凍機シリンダ一部の熱伝導にたよるほ
かはないため、長時間かけて待たなければならないとい
う不便があった。また、パージガス（Ｎ２）を導入する
方法では、導入したガス全てがクライオパネルと接触す
るわけではないので効率が非常に悪く、また導入してい
るガスの温度とクライオパネルの温度との差に比例して
熱がクライオパネルに伝達されるためガスの温度に近づ
く程、昇温スピードは遅くなるという欠点があった。
による熱伝導と冷凍機シリンダ一部の熱伝導にたよるほ
かはないため、長時間かけて待たなければならないとい
う不便があった。また、パージガス（Ｎ２）を導入する
方法では、導入したガス全てがクライオパネルと接触す
るわけではないので効率が非常に悪く、また導入してい
るガスの温度とクライオパネルの温度との差に比例して
熱がクライオパネルに伝達されるためガスの温度に近づ
く程、昇温スピードは遅くなるという欠点があった。
また、専ら、室温環境下において気体のパネルからの脱
離を行うため、クライオパネルの吸着面に水分が吸着さ
れているような場合には、その水分脱離に非常に時間が
かかるという欠点があった。
離を行うため、クライオパネルの吸着面に水分が吸着さ
れているような場合には、その水分脱離に非常に時間が
かかるという欠点があった。
本発明は上記従来の問題点を解決するためになされたも
のであり、その目的は、気体のパネルからの脱離を行う
際、被冷却部分の温度を極めて短時間のうちに低温状態
から室温に戻すことができ、さらにクライオパネルの室
温以上の加熱によりクライオパネルに吸着されている水
分等の成分を短時間で脱離することが可能なりライオポ
ンプを提供することにある。
のであり、その目的は、気体のパネルからの脱離を行う
際、被冷却部分の温度を極めて短時間のうちに低温状態
から室温に戻すことができ、さらにクライオパネルの室
温以上の加熱によりクライオパネルに吸着されている水
分等の成分を短時間で脱離することが可能なりライオポ
ンプを提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記問題点を解決するために次のように構成さ
れている。ずなわち、本発明は、ポンプ容器内に収容さ
れ冷凍機によって冷却可能なクライオパネルを有し、こ
のクライオパネルを含む被冷却部分の所望位置には該被
冷却部分を加熱する加熱ヒータが設けられているクライ
オポンプである。
れている。ずなわち、本発明は、ポンプ容器内に収容さ
れ冷凍機によって冷却可能なクライオパネルを有し、こ
のクライオパネルを含む被冷却部分の所望位置には該被
冷却部分を加熱する加熱ヒータが設けられているクライ
オポンプである。
（作用）
上記構成からなる本発明において、気体をパネルから脱
離する場合には冷凍機を停止するとともに加熱ヒータの
加熱駆動を行う。この加熱駆動によってクライオパネル
を含む被冷却部分の強制的な温度−上昇が図られ、被冷
却部分は極めて短時間のうちに低温状態から室温に上昇
する。
離する場合には冷凍機を停止するとともに加熱ヒータの
加熱駆動を行う。この加熱駆動によってクライオパネル
を含む被冷却部分の強制的な温度−上昇が図られ、被冷
却部分は極めて短時間のうちに低温状態から室温に上昇
する。
この場合、クライオパネルに水分が吸着されて°３
゛ いるような場合は、加熱ヒータによりクライオパネルは
室温以上に加熱される。このクライオパネルの室温以上
の温度上昇により、水分および気体のパネルからの脱離
は極めて短時間のうちに行われるのである。
゛ いるような場合は、加熱ヒータによりクライオパネルは
室温以上に加熱される。このクライオパネルの室温以上
の温度上昇により、水分および気体のパネルからの脱離
は極めて短時間のうちに行われるのである。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。第
１図には本発明の一実施例の構成が示され、ポンプ容器
１の下端部には冷凍機２が設けられており、ポンプ容器
１内にはこの冷凍機２によって８０ ’Ｋに冷却される
銅製の第１段熱負荷フランジ４と、同様に１０°Ｋに冷
却される銅製の第２段熱負荷フランジ５が配置されてい
る。この第１段熱負荷フランジ４および第２段熱負荷フ
ランジ５はいずれも板状のステージ部４ａおよび同５ａ
と筒状のヒータ取付部４ｂおよび同５ｂとから構成され
ており、第１段熱負荷フランジ４のステージ部４ａには
椀状の熱輻射シールド部材６が上向きに固定されており
、この熱輻射シールド部材６の上端部にはルーバ７が設
けられている。
１図には本発明の一実施例の構成が示され、ポンプ容器
１の下端部には冷凍機２が設けられており、ポンプ容器
１内にはこの冷凍機２によって８０ ’Ｋに冷却される
銅製の第１段熱負荷フランジ４と、同様に１０°Ｋに冷
却される銅製の第２段熱負荷フランジ５が配置されてい
る。この第１段熱負荷フランジ４および第２段熱負荷フ
ランジ５はいずれも板状のステージ部４ａおよび同５ａ
と筒状のヒータ取付部４ｂおよび同５ｂとから構成され
ており、第１段熱負荷フランジ４のステージ部４ａには
椀状の熱輻射シールド部材６が上向きに固定されており
、この熱輻射シールド部材６の上端部にはルーバ７が設
けられている。
４ ゛
これら熱輻射シールド部材６およびルーバ７は冷凍機２
によって８０°１くに冷却されるとともに、ポンプ容器
１等から伝達される輻射熱を遮蔽する役割を果している
。
によって８０°１くに冷却されるとともに、ポンプ容器
１等から伝達される輻射熱を遮蔽する役割を果している
。
一方、前記第２段熱負荷フランジ５のステージ部５ａに
は前記熱輻射シールド部材６の内側位置に２種のクライ
オパネル、すなわちクライオコンデンセーションパネル
８とクライオソープションパネル９が固定されている。
は前記熱輻射シールド部材６の内側位置に２種のクライ
オパネル、すなわちクライオコンデンセーションパネル
８とクライオソープションパネル９が固定されている。
これらクライオコンデンセーションバネル８とクライオ
ソープションパネル９はともに椀状に形成され、クライ
オソープションパネル９がクライオコンデンセーション
パネル８の内側になるようにしてともに下向きに取り付
けられている。
ソープションパネル９はともに椀状に形成され、クライ
オソープションパネル９がクライオコンデンセーション
パネル８の内側になるようにしてともに下向きに取り付
けられている。
これらのクライオパネル８および同９は冷凍機２の駆動
によって１０°Ｋに冷却され、クライオコンデンセーシ
ョンパネル８上にはＮ２．Ａ、、ＣＨ４゜０２などの気
体の凝縮が、クライオソープションパネル９の吸着材９
ａ上にはＨ１１、Ｈ２＋ Ｎ ｏの気体の吸着がそれぞ
れ行われるようになっている。
によって１０°Ｋに冷却され、クライオコンデンセーシ
ョンパネル８上にはＮ２．Ａ、、ＣＨ４゜０２などの気
体の凝縮が、クライオソープションパネル９の吸着材９
ａ上にはＨ１１、Ｈ２＋ Ｎ ｏの気体の吸着がそれぞ
れ行われるようになっている。
したがって、図示されていない吸引手段を駆動して真空
作業室を吸引するとともに、冷凍機２を駆動することに
より、吸引手段によって排出されずに残存した気体がク
ライオパネル８および同９に凝縮あるいは吸着され、真
空作業室内における超真空環境がつくり出されることと
なる。
作業室を吸引するとともに、冷凍機２を駆動することに
より、吸引手段によって排出されずに残存した気体がク
ライオパネル８および同９に凝縮あるいは吸着され、真
空作業室内における超真空環境がつくり出されることと
なる。
ところで、本実施例において特徴的なことは、第１段熱
負荷フランジ４のヒータ取付部４ｂおよび第２段熱負荷
フランジ５のヒータ取付部５１）にそれぞれ対応する加
熱ヒータ１０および同１１が取り付けられていることで
ある。
負荷フランジ４のヒータ取付部４ｂおよび第２段熱負荷
フランジ５のヒータ取付部５１）にそれぞれ対応する加
熱ヒータ１０および同１１が取り付けられていることで
ある。
この加熱ヒータ１０および同１１の引出線１２は真空外
部、すなわちポンプ容器１の下端外面に気密固定された
電流導入端子１３に接続されており、加熱ヒータ１０お
よび同１１に供給する電流値を外部から制御できるよう
になっている。
部、すなわちポンプ容器１の下端外面に気密固定された
電流導入端子１３に接続されており、加熱ヒータ１０お
よび同１１に供給する電流値を外部から制御できるよう
になっている。
また、第２段熱負荷フランジ５には温度センサ１４が配
設されており、該第２段熱負荷フランジ５の温度、すな
わちクライオパネル８および同９の温度が検出されてい
る。
設されており、該第２段熱負荷フランジ５の温度、すな
わちクライオパネル８および同９の温度が検出されてい
る。
上記のように構成されている本実施例において、不用成
分のパネル脱離を行うには、冷凍機２を停止し加熱ヒー
タ１ｏおよび１１への通電が行われる。この通電によっ
て加熱ヒータ１ｏおよび１１が発熱し、この熱エネルギ
は第１段熱負荷フランジ４を介して熱輻射シールド部材
６に伝達される。一方、加熱ヒータ１１による熱エネル
ギは第２段熱負荷フランジ５を介してクライオパネル８
および同９に伝達される。この結果、冷凍機２によって
冷却されていた被冷却部分（第１段熱負荷フランジ４お
よび第２段熱負荷フランジ５、熱輻射シールド部材６、
クライオパネル８および同９等）が加熱され、被冷却部
分は短時間のうちに室温（常温）に戻される。
分のパネル脱離を行うには、冷凍機２を停止し加熱ヒー
タ１ｏおよび１１への通電が行われる。この通電によっ
て加熱ヒータ１ｏおよび１１が発熱し、この熱エネルギ
は第１段熱負荷フランジ４を介して熱輻射シールド部材
６に伝達される。一方、加熱ヒータ１１による熱エネル
ギは第２段熱負荷フランジ５を介してクライオパネル８
および同９に伝達される。この結果、冷凍機２によって
冷却されていた被冷却部分（第１段熱負荷フランジ４お
よび第２段熱負荷フランジ５、熱輻射シールド部材６、
クライオパネル８および同９等）が加熱され、被冷却部
分は短時間のうちに室温（常温）に戻される。
このように、被冷却部分が室温まで戻されることにより
クライオコンデンセーションパネル８に凝縮されている
気体およびクライオソープションパネル９に吸着されて
いる気体のパネルからの脱離が行われるが、このパネル
からの脱離をより効率よく（短時間で）行う場合はクラ
イオパネル８および同９を室温以上に上昇させる。
クライオコンデンセーションパネル８に凝縮されている
気体およびクライオソープションパネル９に吸着されて
いる気体のパネルからの脱離が行われるが、このパネル
からの脱離をより効率よく（短時間で）行う場合はクラ
イオパネル８および同９を室温以上に上昇させる。
このクライオパネル８および同９の室温以上の温度上昇
によってクライオソープションパネル９の吸着材９ａ等
にたとえ水分が吸着されていても、この水分は短時間の
うちにパネル面から脱離することとなる。そして、この
脱離した気体は吸引手段によって外に排出されるのであ
る。
によってクライオソープションパネル９の吸着材９ａ等
にたとえ水分が吸着されていても、この水分は短時間の
うちにパネル面から脱離することとなる。そして、この
脱離した気体は吸引手段によって外に排出されるのであ
る。
なお、クライオパネル８および同９の温度を上昇させる
場合、該クライオパネル８および同９が必要以上に加熱
されるのを防止するため、前記温度センサ１４からの検
出信号によりクライオパネル８および同９の温度制御を
行うように構成することも可能である。
場合、該クライオパネル８および同９が必要以上に加熱
されるのを防止するため、前記温度センサ１４からの検
出信号によりクライオパネル８および同９の温度制御を
行うように構成することも可能である。
（発明の効果）
本発明は以上説明したような構成と作用とを有している
ので、非常に高い加熱効率を持ち気体のパネルからの脱
離時に被冷却部分の温度を冷却状態から室温まで短時間
のうちに戻すことが可能であり、加える電力を増加すれ
ば、より時間を短縮化できる。さらにクライオソープシ
ョンパネルの°８ 。
ので、非常に高い加熱効率を持ち気体のパネルからの脱
離時に被冷却部分の温度を冷却状態から室温まで短時間
のうちに戻すことが可能であり、加える電力を増加すれ
ば、より時間を短縮化できる。さらにクライオソープシ
ョンパネルの°８ 。
吸着材に水分が吸着されているような場合には、このク
ライオソープションパネル等を室温以上に加熱し、極め
て短時間のうぢに水分および気体をパネル面から脱離で
きるという利点がある。
ライオソープションパネル等を室温以上に加熱し、極め
て短時間のうぢに水分および気体をパネル面から脱離で
きるという利点がある。
第１図は本発明の一実施例の構成図である。
１・・・・・・ポンプ容器、 ２・・・・・・冷凍機、
４・・・・・・第１段熱負荷フランジ、 ５・・・・
・・第２段熱負荷フランジ、 ４ａ、５ａ・・・・・・
ステージ部、４ｂ、５ｂ・・・・・・ヒータ取付部、
６・・・・・・熱輻射シールド部材、 ７・・・・・・
ルーバ、 ８・・・・・・タライオコンデンセーション
パネル、 ９・・・・・・クライオソープションパネ
ル、 ９ａ・・・・・・吸着材、 １０゜１１・・・・
・・加熱ヒータ、 １２・・・・・・引出線、１３・・
・・・・電流導入端子、 １４・・・・・・温度センサ
。
４・・・・・・第１段熱負荷フランジ、 ５・・・・
・・第２段熱負荷フランジ、 ４ａ、５ａ・・・・・・
ステージ部、４ｂ、５ｂ・・・・・・ヒータ取付部、
６・・・・・・熱輻射シールド部材、 ７・・・・・・
ルーバ、 ８・・・・・・タライオコンデンセーション
パネル、 ９・・・・・・クライオソープションパネ
ル、 ９ａ・・・・・・吸着材、 １０゜１１・・・・
・・加熱ヒータ、 １２・・・・・・引出線、１３・・
・・・・電流導入端子、 １４・・・・・・温度センサ
。
Claims (1)
- ポンプ容器内に収容され冷凍機によって冷却可能なクラ
イオパネルを有し、このクライオパネルを含む被冷却部
分の所望位置には該被冷却部分を加熱する加熱ヒータが
設けられていることを特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18529385A JPS6245985A (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18529385A JPS6245985A (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 | クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6245985A true JPS6245985A (ja) | 1987-02-27 |
Family
ID=16168321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18529385A Pending JPS6245985A (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6245985A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002070737A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Ulvac Kuraio Kk | クライオポンプの再生方法 |
-
1985
- 1985-08-23 JP JP18529385A patent/JPS6245985A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002070737A (ja) * | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Ulvac Kuraio Kk | クライオポンプの再生方法 |
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