JPS6246541Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、両面ラツピングマシンや両面ポリツ
シングマシンなどの平面研削装置において、加工
の終了したワークの冷却を行うための冷却機構に
関するものである。

例えば、両面ラツピングマシンによつてガラス
や半導体ウエハーなどのワークを研磨加工する場
合、摩擦熱によつてワークの温度上昇が生じる。
このようにワークの温度上昇が生じると、加工が
終了してワークを取出すために上定盤を上昇させ
たとき、該ワークが熱によつて急激に乾燥し、セ
リウムなどの研磨剤がワークの表面に固着し易く
なり、このような研磨剤の固着が一旦生じた場合
には、その後の水洗いによつてもそれを除去する
ことが困難となる。

本考案は、ワークの乾燥を防いで研磨剤の固着
を防止することを目的とするもので、その目的達
成のため、本考案においては、上定盤の下面に複
数の凹窪を形成すると共に、該凹窪内に冷却水を
広角状に噴射可能なノズルを設け、加工終了と同
時に上記ノズルから冷却水を噴射させながら上定
盤を上昇させることにより、ワークの冷却を行つ
てその乾燥を防止するようにしたことを特徴とす
るものである。

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に
説明するに、第１図は平面研削装置の一例として
両面ポリツシングマシンを示すもので、１は機
台、２は該機台１に回転自在に支承させた内歯歯
車、３は該内歯歯車２の中央に位置する回転自在
の太陽歯車、４，５は上下の定盤をそれぞれ示
し、上記内歯歯車２、太陽歯車３及び下定盤５
は、同心状に位置する回転軸部２ａ，３ａ，５ａ
の下端の歯車を介して図示しない駆動源に連結さ
れ、一方、上定盤４は、それに固定した取付板６
及びスタツド７を介して吊板８に吊設すると共
に、該吊板８をシリンダロツドに連結された支杆
９に回転自在に取付けることにより昇降自在に構
成したもので、上記取付板６には放射方向に位置
する複数のフツク１０を起倒自在に取付け、これ
らのフツク１０を、回転軸部１１ａを介して図示
しない駆動源に連結されたドライバー１１に係脱
自在とし、それらの係合によつて上定盤４の駆動
回転が行われるように構成している。

そして、上記下定盤５上には、複数のワーク保
持孔を備えたキヤリヤ１２を内歯歯車２と太陽歯
車３とに噛合させて配置し、該キヤリヤ１２にワ
ーク１３を保持させており、上記ワーク１３の研
磨に際して定盤４，５の研磨面にパウダを供給す
るため、上定盤４の下面には、多数のパウダ供給
孔（図示せず）を設け、これらのパウダ供給孔
を、吊板８に取付けたパウダリング１４にチユー
ブ１５を介して接続し、該パウダリング１４の上
方に複数のパウダコツク１６を一定間隔で配設し
ている。

また、研磨加工の終了したワーク１３に冷却水
を噴射させるため、上記上定盤４には、その下面
に上記パウダ供給孔とは別に多数の凹窪１７を切
設し、該凹窪１７内に冷却水を広角状に噴射可能
なノズル１８をそれぞれ取付け、これらのノズル
１８を、冷却水の供給管１９ａ，１９ｂ，１９
ｃ、バルブ１９ｄ及び分配器２０を介して給水源
２１に連結している。

上記分配器２０は、支杆９に固定された内胴２
２にベアリング２４を介して円筒状の外胴２３を
回転自在に取付け、これらの内胴２２と外胴２３
との間にシール２５でシールされた室２６を形成
すると共に、内胴２２及び外胴２３に接続した供
給管１９ｃ及び１９ｂを通孔２７，２８によつて
上記室２６に連通させ、ワーク１３の研磨加工時
に、上定盤４の回転に追随して供給管１９ｂ及び
外胴２３が回転できるように構成したものであ
る。

また、上記ノズル１８は、パウダ供給孔と競合
しない位置に上定盤の半径方向に位置をずらせて
適宜配設すればよいが、例えば、第３図に示すよ
うに同心円状に設けたり、第４図に示すような渦
巻状、あるいは第５図に示すような複数の円環状
に設けるのが効果的であり、さらには、第６図に
示すように、ノズルを円環状に配設すると共にそ
の円環の数を少なくし、上定盤４を適宜の手段で
回転させながら上昇させるようにすれば、ノズル
の形成及び配管などが容易になるので好都合であ
る。

上記構成を有する両面ラツピングマシンにおい
て、内歯歯車２及び太陽歯車３を駆動回転せしめ
ると、それらに噛合しているキヤリヤ１２が自転
しながら太陽歯車３の回りを公転し、該キヤリヤ
１２に保持されたワーク１３が回転する上下の定
盤４，５によつて研磨加工される。

上記研磨加工が終了すると、定盤４，５の回転
が停止し、上定盤４が上昇を開始すると同時に、
バルブ１９ｄが開いて供給管１９ｃ、分配器２
０、供給管１９ｂ及び１９ａを通じてノズル１８
に冷却水が供給され、これによつて上定盤４は、
第２図に示すように、各ノズル１８から冷却水を
広角状に噴射しながら上昇する。

そして、この冷却水の噴射によつてワーク１３
は直ちに冷却され、乾燥による研磨剤の固着が防
止されることになる。この場合、上定盤４が上昇
を開始した時点ではノズル１８による冷却水の広
がりが十分でないため、全てのワーク１３に冷却
水が均等に噴射されないこともあるが、上定盤４
がある程度上昇すると、ノズル１８の噴射領域が
一部重復する程度に広がるため、全てのワーク１
３に冷却水が均等に噴射されるようになる。

また、上記の如く冷却水が噴射されると、ワー
クの冷却だけでなく、該ワーク１３が上定盤４の
研磨面に付着するのが防止され、これによつて、
上定盤４の上昇と共にワーク１３が持ち上げられ
て取出し困難となつたり、高い位置からの落下に
よつて破損するような事態が未然に回避される。

上記冷却水の噴射は、ワーク１３が十分冷却さ
れた時点で停止され、その後ワーク１３の取出し
が行われるが、ワーク１３の取出しが終るまで冷
却水を噴射させるようにしてもよい。

このように、本考案によれば、上定盤の下面に
その半径方向に位置をずらせて複数のノズルを設
け、研磨加工の終了による上定盤の上昇開始と同
時に冷却水をワークに向けて広角状にしかもその
噴射領域の一部が重複するように噴射させる構成
としたので、研磨剤を洗い流すのと同時に、熱に
よる各ワークの乾燥を防いで研磨剤が該ワークに
固着するのを確実に防止することができ、同時
に、ワークが上定盤の研磨面に付着するのを防止
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す部分断面図、
第２図は異なる動作状態での部分断面図、第３〜
６図は上定盤の異なる実施例を示す下面図であ
る。 ２……内歯歯車、３……太陽歯車、４，５……
定盤、１２……キヤリヤ、１３……ワーク、１７
……凹窪、１８……ノズル、２１……給水源。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 適宜の駆動源に連結した内歯歯車と太陽歯車と
   にキヤリヤを噛合させ、該キヤリヤに保持させた
   ワークを回転する上下の定盤によつて研削するよ
   うにしたものにおいて、昇降自在の上定盤の下面
   にその半径方向に位置をずらせて複数の凹窪を形
   成し、該凹窪内に、加工終了による上定盤の上昇
   開始と同時に冷却水をワークに向けて広角状に噴
   射するノズルを上定盤の上昇により噴射領域が一
   部重複する状態に設けると共に、該ノズルを給水
   源に接続したことを特徴とする平面研削装置にお
   けるワークの冷却機構。