JPS6249232A - Ｂ−ａ型電離真空計 - Google Patents
Ｂ−ａ型電離真空計Info
- Publication number
- JPS6249232A JPS6249232A JP18931185A JP18931185A JPS6249232A JP S6249232 A JPS6249232 A JP S6249232A JP 18931185 A JP18931185 A JP 18931185A JP 18931185 A JP18931185 A JP 18931185A JP S6249232 A JPS6249232 A JP S6249232A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- collector
- ion collector
- gas
- ion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、イオンコレクタの通電ガス出しを可能にした
Ｂ−Ａ型電離真空計に関するものである。
Ｂ−Ａ型電離真空計に関するものである。
（従来の技術）
真空作業室の真空度を測定する手段としＣのＢ−Ａ型電
離真空Ｊ１は周知である。この種の電離真空計は第２図
に示すように、真空作業室１と連通ずるゲージ球２を有
し、このゲージ球２のガラス壁３内に熱電子を発射する
フィラメント４と、このフィラメン１〜４から発射され
た熱電子を加速吸引するグリッド５と、この加速された
熱電子とガラス壁３内の分子との衝突によって生成する
イオンを収集するイオンコレクタ６とが設けられ、この
イオンコレクタ６に収集された・イオン電流を電流計７
により”Ｃ計ることによって真空作業室１内の真空度が
求められるものである。一般的に上記真空度の測定中に
おいては不安定な分子がイオンコレクタ６に吸着あるい
は脱離を繰り返しており、この不安定分子の存在により
真空作業室１内の真空度とゲージ球２内の真空度とにず
れが生じ、真空作業室内ｌの真の真空度を正確に測定で
きないという問題がある。
離真空Ｊ１は周知である。この種の電離真空計は第２図
に示すように、真空作業室１と連通ずるゲージ球２を有
し、このゲージ球２のガラス壁３内に熱電子を発射する
フィラメント４と、このフィラメン１〜４から発射され
た熱電子を加速吸引するグリッド５と、この加速された
熱電子とガラス壁３内の分子との衝突によって生成する
イオンを収集するイオンコレクタ６とが設けられ、この
イオンコレクタ６に収集された・イオン電流を電流計７
により”Ｃ計ることによって真空作業室１内の真空度が
求められるものである。一般的に上記真空度の測定中に
おいては不安定な分子がイオンコレクタ６に吸着あるい
は脱離を繰り返しており、この不安定分子の存在により
真空作業室１内の真空度とゲージ球２内の真空度とにず
れが生じ、真空作業室内ｌの真の真空度を正確に測定で
きないという問題がある。
このような問題を解消するために、従来からイオンコレ
クタ６に吸着されている不安定分子をガス化して排出す
る、いわゆる「ガス出し」が行われている。このガス出
しは周知のようにエレクトロンボンバードによる手段に
よって行われるのが一般的であった。
クタ６に吸着されている不安定分子をガス化して排出す
る、いわゆる「ガス出し」が行われている。このガス出
しは周知のようにエレクトロンボンバードによる手段に
よって行われるのが一般的であった。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、エレクトロンボンバードによるガス出し
にあってはグリッド５に高電圧を印加する結果、グリッ
ド５とフィラメント４との電位差が真空度測定のための
最適電位差（動作電位）から大きくずれてし次い、測定
誤差が極めて大きくなる。このなめ、ガス出し中は真空
作業室１の真空度測定を中止しなければならないという
不便があり、また、エレクトロンボンバードを行・うた
ぬの回路構成（図示せず）も極めて複雑化するという問
題があった。
にあってはグリッド５に高電圧を印加する結果、グリッ
ド５とフィラメント４との電位差が真空度測定のための
最適電位差（動作電位）から大きくずれてし次い、測定
誤差が極めて大きくなる。このなめ、ガス出し中は真空
作業室１の真空度測定を中止しなければならないという
不便があり、また、エレクトロンボンバードを行・うた
ぬの回路構成（図示せず）も極めて複雑化するという問
題があった。
本発明は上記従来の問題点を解決するためになされたも
のであり、その目的は、イオンコレクタのガス出し中に
おいても正確な真空作業室の真空度を測定することがで
きる簡易な回路構成からなるＢ−Ａ型電離真空Ｊ（を提
供することにある。
のであり、その目的は、イオンコレクタのガス出し中に
おいても正確な真空作業室の真空度を測定することがで
きる簡易な回路構成からなるＢ−Ａ型電離真空Ｊ（を提
供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明は手記目的を達成するため（１゛次のよ）に構成
されている。すなわち、本発明は、ガラス壁内に熱ｔｆ
を発射するフィラメントと、このフイラメンｌ−からの
熱電子を加速吸引するグリッドと、加速された熱電子と
ガラス壁内の分子との衝突によって生成するイオンを収
集するイオンコレクタとを具備するｌ３−Ａ型電離貞空
計（，６゛おいて、前記イオンコレクタの両端部には真
空外の電流導入部に接続された導入棒がガラス壁から外
に突出させて設けられているＢ −Ａ型電離真空η１で
ある。
されている。すなわち、本発明は、ガラス壁内に熱ｔｆ
を発射するフィラメントと、このフイラメンｌ−からの
熱電子を加速吸引するグリッドと、加速された熱電子と
ガラス壁内の分子との衝突によって生成するイオンを収
集するイオンコレクタとを具備するｌ３−Ａ型電離貞空
計（，６゛おいて、前記イオンコレクタの両端部には真
空外の電流導入部に接続された導入棒がガラス壁から外
に突出させて設けられているＢ −Ａ型電離真空η１で
ある。
（作 用）
−１−記構酸からなる本発明において、真空作業室の真
空度測定中にイオンコレクタのガス出しを行う場合には
、電流導入部かへ導入棒を介してイオンコレクタに通電
が行われる。この通電によ−）てイオンコレクタが加熱
され、イオンコレクタに吸着されている分子はガス化ｉ
、てイオンコレクタから脱離する。そして、この脱離し
たガス化分子は真空吸引ポンプ等により外に排出される
のである。このように、本発明におけるイオンコレクタ
のガス出しはイオンコレクタへの通電により行われ、グ
リッドとフィラメント間の真空度測定のための最適電位
差に大きな影響を墜えることがないので、ガス出し中に
真空度測定を行っても正確な測定値を得ることが可能と
なるものである。
空度測定中にイオンコレクタのガス出しを行う場合には
、電流導入部かへ導入棒を介してイオンコレクタに通電
が行われる。この通電によ−）てイオンコレクタが加熱
され、イオンコレクタに吸着されている分子はガス化ｉ
、てイオンコレクタから脱離する。そして、この脱離し
たガス化分子は真空吸引ポンプ等により外に排出される
のである。このように、本発明におけるイオンコレクタ
のガス出しはイオンコレクタへの通電により行われ、グ
リッドとフィラメント間の真空度測定のための最適電位
差に大きな影響を墜えることがないので、ガス出し中に
真空度測定を行っても正確な測定値を得ることが可能と
なるものである。
（実 施 例）
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。な
お、本実施例の説明において、従来例と同一の構成部分
は同一・符号を付してその説明を省略する。第１図には
本発明の一実施例の構成が示され、イオンコレクタ６の
一端部からは第１の導入棒８が、他端部からは第２の導
入棒９がそれぞれガラス壁３から外方へ突出させて設け
られている。そして、第１の導入棒８と第２の導入棒９
間には電流導入部としての電池１０とイオンコレクタガ
ス出し用スイッチ１１とが直列に接続されている。一方
、前記第２の導入棒９と接地面１２間には電流計７が接
続されている。
お、本実施例の説明において、従来例と同一の構成部分
は同一・符号を付してその説明を省略する。第１図には
本発明の一実施例の構成が示され、イオンコレクタ６の
一端部からは第１の導入棒８が、他端部からは第２の導
入棒９がそれぞれガラス壁３から外方へ突出させて設け
られている。そして、第１の導入棒８と第２の導入棒９
間には電流導入部としての電池１０とイオンコレクタガ
ス出し用スイッチ１１とが直列に接続されている。一方
、前記第２の導入棒９と接地面１２間には電流計７が接
続されている。
上記のように構成され°Ｃいる本実施例において、真空
作業室１内の真空度は、従来装置の場合と同様に、イオ
ンコレクタ６に収集されたイオンのイオン電流を電流計
７により計ることによ−）て求められる。またイオンコ
レクタ６に吸着された不安定分子のガス出しを行う場合
には、イオンコレクタガス出し用スイッチ１１を閉成す
ることにより行われる。すなわち、イオンコレクタガス
出し用スイッチ１１の閉成によって電池１０からイオン
コレクタ６への通電が行われ、イオンコｌ／クタ６が加
熱される。この加熱によって、イオンコレクタ６に吸着
されている不安定分子はガス化してイオンコレクタ６か
ら脱離し、この脱離した不安定分子は図示されていない
真空ポンプによって外に排出されるのである。このよう
に、イオンコｌ／クタ６からのガス出しはイオンコレク
タ６の通電加熱により行うものであるから、フィラメン
ト４とグリッド５との真空度測定のための最適設定電位
差にほとんど影響を与−えることがない。したがって、
本実施例によれば、イオンコレクタ６のカス出し中に真
空作業室１の真空度測定を支障なく行うことかり能でり
る。
作業室１内の真空度は、従来装置の場合と同様に、イオ
ンコレクタ６に収集されたイオンのイオン電流を電流計
７により計ることによ−）て求められる。またイオンコ
レクタ６に吸着された不安定分子のガス出しを行う場合
には、イオンコレクタガス出し用スイッチ１１を閉成す
ることにより行われる。すなわち、イオンコレクタガス
出し用スイッチ１１の閉成によって電池１０からイオン
コレクタ６への通電が行われ、イオンコｌ／クタ６が加
熱される。この加熱によって、イオンコレクタ６に吸着
されている不安定分子はガス化してイオンコレクタ６か
ら脱離し、この脱離した不安定分子は図示されていない
真空ポンプによって外に排出されるのである。このよう
に、イオンコｌ／クタ６からのガス出しはイオンコレク
タ６の通電加熱により行うものであるから、フィラメン
ト４とグリッド５との真空度測定のための最適設定電位
差にほとんど影響を与−えることがない。したがって、
本実施例によれば、イオンコレクタ６のカス出し中に真
空作業室１の真空度測定を支障なく行うことかり能でり
る。
〈発明の効果）
本発明は以上説明したような構成と作用とをｈするので
、Ｂ−Ａ型電離真空ｄ１における回路構成の簡易化を図
ることができるとともに、イオンコレクタのガス出し中
に真空作業室の真空度測定を正確に行うことができる。
、Ｂ−Ａ型電離真空ｄ１における回路構成の簡易化を図
ることができるとともに、イオンコレクタのガス出し中
に真空作業室の真空度測定を正確に行うことができる。
鎗な、ガス出しに際し、真空度の測定条件、ずなわぢ、
フィラメントやグリッドの動作電位に悪影響をおよばず
ことがないので、このイオンコレクタのガス出しを随時
必要に応じて行うことが可能であり、これによりイオン
コレクタに１１着した分子等をその都度取り除くことが
でき、高真空あるいは超高真空における正確な真空度測
定を行うことができる。
フィラメントやグリッドの動作電位に悪影響をおよばず
ことがないので、このイオンコレクタのガス出しを随時
必要に応じて行うことが可能であり、これによりイオン
コレクタに１１着した分子等をその都度取り除くことが
でき、高真空あるいは超高真空における正確な真空度測
定を行うことができる。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は従来装置
の構成図である。 １・・・・・・真空作業室、 ２・・・・・・ゲージ球
、３・・・・・ガラス壁、 ４・・・・・・フィラメン
ト、５・・・・・グリフＩ・、 ６・・・・・・イオン
７１１・フタ、７・・・・・・電流言（、８・・・・・
第１の導入棒、９・・・・・・第２の導入棒、 ］０
・・・・・・電池、１１・・・・・・イオンコレクタガ
ス出１．用スイッチ、１２・・・・・・接地面。
の構成図である。 １・・・・・・真空作業室、 ２・・・・・・ゲージ球
、３・・・・・ガラス壁、 ４・・・・・・フィラメン
ト、５・・・・・グリフＩ・、 ６・・・・・・イオン
７１１・フタ、７・・・・・・電流言（、８・・・・・
第１の導入棒、９・・・・・・第２の導入棒、 ］０
・・・・・・電池、１１・・・・・・イオンコレクタガ
ス出１．用スイッチ、１２・・・・・・接地面。
Claims (2)
- （１）ガラス壁内に熱電子を発射するフィラメントと、
このフィラメントからの熱電子を加速吸引するグリッド
と、加速された熱電子とガラス壁内の分子との衝突によ
って生成するイオンを収集するイオンコレクタとを具備
するＢ−Ａ型電離真空計において、前記イオンコレクタ
の両端部には真空外の電流導入部に接続された導入棒が
ガラス壁から外に突出させて設けられていることを特徴
とするＢ−Ａ型電離真空計。 - （２）電流導入部は、電池と、この電池に直列に接続さ
れたイオンコレクタガス出し用スイッチとからなること
を特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のＢ−Ａ型
電離真空計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18931185A JPS6249232A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | Ｂ−ａ型電離真空計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18931185A JPS6249232A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | Ｂ−ａ型電離真空計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6249232A true JPS6249232A (ja) | 1987-03-03 |
Family
ID=16239223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18931185A Pending JPS6249232A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | Ｂ−ａ型電離真空計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6249232A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0623864U (ja) * | 1991-08-09 | 1994-03-29 | 住友金属工業株式会社 | 鉄道車両用軸箱支持装置 |
| WO2006121173A1 (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Vaclab Inc. | 電離真空計 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS495079A (ja) * | 1972-04-26 | 1974-01-17 |
-
1985
- 1985-08-28 JP JP18931185A patent/JPS6249232A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS495079A (ja) * | 1972-04-26 | 1974-01-17 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0623864U (ja) * | 1991-08-09 | 1994-03-29 | 住友金属工業株式会社 | 鉄道車両用軸箱支持装置 |
| WO2006121173A1 (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Vaclab Inc. | 電離真空計 |
| US7741852B2 (en) | 2005-05-09 | 2010-06-22 | Mori Patent Office | Ionization vacuum gauge |
| EP1890124A4 (en) * | 2005-05-09 | 2012-08-22 | Ampere Inc | IONISIERUNGSUNTERDRUCKMESSVORRICHTUNG |
| JP5127042B2 (ja) * | 2005-05-09 | 2013-01-23 | 株式会社アンペール | 電離真空計 |
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