JPS6249530A - 入力装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する利用分野〕 本発明は、高精度の入力装置に関する。

〔従来技術〕

従来のこの種装置は、位置検出を、電位勾配、電流分割
により行なうため、表面電極の抵抗均一性、高面抵抗値
が必要であり、透明電極として、１）　　工ｎｚｏ、　
　：　　ＳｎＯ，ドープ２）　　　５ｎ０２　　　：　
　（Ｓｂ）ｏｒ（ＩＦ）　　ドープ５）　　　Ｔｉｅ、
　　　：　　Ａｕドープ等が、使用されていた。しかし
、抵抗均一性、高面抵抗値の両方を実現する事は、実際
不可能でありた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

よって、このような従来の入力装置にあっては、基板上
の電極の抵抗値を全面に渡って均一に形成するためには
、低抵抗になってしまい、高面抵抗値電極を形成すると
、抵抗均一性が実現できないため、高精度かつ消費電力
小の入力装置を作成できないという問題点があった。

本発明は、このような従来の問題点を解決するためにな
されたもので、透明電極において抵抗均一性と高面抵抗
値を実現し、押下点の位置を高精　度に検出でき、かつ
消費電力を小さくした入力装置の提供にある。

〔問題点を解決する手段〕

表面にほぼ均一に透明電極を形成し、この透明電極の両
端に電極端子を有する２枚の基板を、透明電極どうしを
対向するように合わせ、かつ、電極端子が交差する方向
に合わされた入力装置において、この透明電極を、はと
んど不純物をドープされていないＩｎ２Ｏ３により形成
する。

〔作用〕

本発明の作用を表に基づいて詳細に説明する。

表−１において面抵抗バラツキとは、基板上の面抵抗を
複数点測定し、その平均値；（Ω）でバラツキ１（Ω）
を割った値である。表−１かられかる様に、Ｉｎ２ｏ、
−ｓ　ｎ　Ｏ，ドープ、ＳｎＯ，−ＩＦドープ電極は、
面抵抗を上昇させると、面抵抗バラツキが大きくなる。

それに比較して、工ｎ２０．ノンドープ電極は、かなり
の高面抵抗においても、面抵抗バラツキが十分小さい。

鋭利検討の結果、本発明における入力装置の透明電極に
は、高面抵抗、抵抗均一性を実現するため、ノンドープ
エｎ、０゜が、工ｎｅｏ３−８ｎＯ，，ＳｎＯ，−ＩＦ
（Ｓｂ）　　等より、すぐれていることが分った。

表−１ 〔実施例〕 以下本発明の実施例を、表、図面に基づいて説明する。

（実施例１） 第１図は、上基板にＱ、５ｒｍガラス、下基板に１．１
１！ｌｌ１１ガラス、電極にノンドープＩｎ、Ｏ，、電
極端子にＡｇペーストを使用し、電圧検出型入力装置を
試作した。上基板と下基板の間には、数μのスペーサを
置き、四方向にはシール接着剤を配した。基板サイズは
、約１１００Ｘ１５０＋である。

この入力装置の精能を直線性誤差的に考えると上電極０
．４５％、下電極ＬＬ５５％であった。

この人力装置を、１２８Ｘ２５６ドツト（ｐｉｔｃｈ　
０．４７　　）の液晶表示モジエール上に設置し、ドツ
ト対応動作させたところ、±１ドツトの抑圧下スレであ
った。また、電極端子間抵抗値は、上電極１４００Ω、
下電極３０００Ωであった。

この入力装置と同様に電極を工ｎ、０３−３ｎＯ，ドー
プで試作した比較結果を表−２に示す。表−２かられか
る様に、５ｎ０２ドープのものとノンドープのものは抵
抗値で１桁、直線性誤差で、数倍差がある。

表−２ （実施例２） 第２図は、上基板にＰＥＴ（１８８μ）、下基板＆；：
　１−１　ｍｍ　ｊｆ　５ス、下基板電極にノンドープ
工ｎ２０３　　を使用し、電圧検出型入力装置を試作し
た。他の処理、サイズは（実施例１）と同様である。第
２図におたる上下方向の直線性誤差は、α５５％左右方
向の直線性誤差は、α３４％であった。抵抗値も、（実
施例１）とほぼ同等であり、（実施例１）と同様の、高
精度、低消費電力な、入力装置が、実現できた。

なお本発明の入力装置は、電流検出型としてもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、基板上の電極抵抗体の均
一性を上げ、かつ、高抵抗化ができ、高精度の低消費電
力の、位置検出が可能となった。

また、高抵抗膜を使用することにより、入力装置の周辺
部品も簡易になり、高精度で、安価な、入力装置を提供
することが容易になった。

【図面の簡単な説明】

第１図（α）は、本発明の入力装置の基本構造を示す平
面図、（ｈ）は入力部断面図を示す。 第２図は本発明の入力装置の他の実施例を示す図である
。 １．２・・・・・・基　板 ３・・・・・・Ａｇペースト ４・・・・・・スイッチ ５・・・・・・工ｎ、０．ノンドーフ電極６・・・・・
・スペーサ ７・・・・・・ダイオード 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 表面にほぼ均一に透明電極を形成し、該透明電極の両端
   に電極端子を有する２枚の基板を、前記透明電極面を対
   向するように配し、かつ前記電極端子が交差する方向に
   合わされた入力装置において、前記透明電極がほぼ不純
   物のドープがされていないＩｎ＿２Ｏ＿３により形成し
   た事を特徴とする入力装置。