JPS625210A - 位置決め装置 - Google Patents

位置決め装置

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JPS625210A
JPS625210A JP61119393A JP11939386A JPS625210A JP S625210 A JPS625210 A JP S625210A JP 61119393 A JP61119393 A JP 61119393A JP 11939386 A JP11939386 A JP 11939386A JP S625210 A JPS625210 A JP S625210A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はレーザダイオードから導波管に放出された光を
最大限にするために、光学導波管の端面のような光入力
装置に関°してレーザダイオードのような光出力装置を
位置ずけるための方法及び装置に関する。
慣例的にレーザダイオードのパッケージアセンブリにお
いて、レーザからファイバーに接続された光の最大量を
達成するために、マイクロポジショナ−がレーザ接合の
前でファイバーを手動で操作するために使用される。フ
ァイバー又はファイバーピグテールの遠方端から光が検
出されて、DCレベルを発生する。ファイバーはレーザ
の前に液状エポキシ樹脂又は低融点の結合物を用いて。
DCレベルが最大のとき、エポキシ樹脂は硬化を許され
、又は低融点結合物は固めるために冷やされる。
その手続は非常に時間の消費となり、また、必要な高度
のマニュアル操作及び調整を得るために長いトレーニン
グ期間を必要とする。もつと早く正確な位置すけ方法が
本発明によって提案された。
本発明に従うと、光出力装置は該光出力装置からの一般
的な光が入力装置に向けられるように最初に装置を位置
ずけることによって、出力装置から入力装置へ最大光を
接続するよう光入力装置に関して位置ずけられる。装置
の1つは第1の方向に振動し、入力装置によって受け取
った光は検出されて電気的信号を発生するために使われ
る。伝えられた振動に応答する電気的信号の変動成分の
振幅が検出される。また、その成分と伝えられた振動と
の間の位相関係が検出される。検出された振幅と位相関
係にもとづいて力が振幅を最小にする前記第1の方向へ
装置の並進運動をもたらすために装置の1つに供給され
る。
本発明の一実施例において、光入力装置はレーザダイオ
ードパッケージのパッケージピグテール(pigtai
 +)ファイバーのような光導波管の端面であり、光出
力装置はレーザダイオードである。特に、レーザパッケ
ージにファイバーを固定するために、レーザダイオード
は位置決めされて導波管の端部が圧電結晶を用いる一団
の液状エポキシ樹脂領域に関して振動する。圧電結晶は
また。並進運動をもたらすためにも使用される。
一対のこのような圧電装置が使用され、該装置はファイ
バ一端を直角方向に、ファイバー軸に垂直な面内でファ
イバ一端部を位置ずけるよう働かせる。圧電活性面は各
接続ロッドに接続されており、該ロッドは一緒に融合さ
れてファイバ一端部の周りに位置ずけられた遠隔ホール
グ一部をもっている。
直角方向の振動成分を識別するために、2つの圧電装置
の結晶が異なった振動周波数で駆動される。
本発明の実施例を添付の図面に関連して説明する。
第1図を詳細に参照すると、レーザダイオード10、ピ
グテールファイバー12及び光検出器14が示されてい
る。圧電結晶16は1位相感知器28からのDCレベル
38と一緒に合計したジェネレータ24からの周波数f
Xで、振動信号に応答してX方向にファイバ一端20を
駆動する。
同様に、圧電結晶18は位相感知器30からのDCレベ
ル40と一緒に合計したジェネレータ26からの周波数
fyで、振動信号に応答してY方向にファイバ一端を駆
動する。DCレベルはfx及びfyで印加された変調か
ら生ずる結合光(coupled light)におけ
る変化を検出することによって得られ、且つ結合光を最
大にするレベルで維持される。
本発明はレーザダイオードパッケージのアセンブリにお
いて特定の適用がある。パッケージにおいて、レーザダ
イオードチップlOは一般にヒートシンクに接着されて
いる。ピグテールファイバー12はパッケージハウジン
グの壁の気密シールを通り抜け、そしてファイバーの端
部20をレーザチップlO内のレーザ接合の高さよりも
わずかに低い高さの受け台上に載せている。レーザダイ
オードパッケージのアセンブリにおいて重要なステップ
はレーザチップ1°0からの光放出を最大にするように
ピグテールファイバ一端部20の正確な位置すけである
。典型的に、レーザ発光小面(emitting fa
cet)から数10ミクロンの距離で。
光接合面が第2図に示されているように5から10ミク
ロンの直径にわたっており、ピグテールファイバーそれ
自体は典型的に10ミクロンのコア半径をもっている。
レーザチップlOからの結合光を最大にするために、フ
ァイバーピグテールの端部20はレンズの働きを与える
ように両方が先細りで末端が球状を示している。そうで
あっても、ファイバー12へ放出された光を最大にする
ことに最も重要な配慮は、レーザ放出スポット44と正
確に一線になったファイバ一端部20の軸線にある。
本発明の方法において、レーザlOからファイバーの接
近する端部20へ結合された光は、ピグテールファイバ
ーから光を受け取るために取付けられたPIN又はアバ
ランシェホトダイオード14によって遠端部21で検出
される。対応する検出器出力はアンプ42を通って位相
感知器28.30を含む信号分析回路へ運ばれる。ファ
イバ一端20は圧電結晶16.18に電気を通じること
によって液状エポキシ樹脂45のかたまりの中で動かさ
れる。結晶16及び18は、ファイバー軸線がZ方向に
沿って延びており、X及びY方向の動きがフォーク配列
48に結合されたそれぞれX及びY方向の動きを生成す
る。圧電結晶の取付配置を詳細に示していないが、結晶
の独立した動きを通してフォーク48はx、Y面の所定
の領域内のいかなる点へも動かすことができることが理
解できる。
圧電結晶16.18の駆動は各々周波数f 及びfyで
振動する信号を発生する駆動ジェネレータ24.26か
ら供給される0選ばれた周波数は調和関係にない0位相
感知器の効果的なオペレージ、ンのために、f 及びf
yは1OHzよりもずっと大きく容易に識別できるよう
に少なくとも10Hzによって分離されている。各駆動
ジェネレータからの第1の出力信号は総和接合点50を
通して駆動7ンプ52へ運ばれ、そこで対応する圧電結
晶へ供給される。
駆動ジェネレータ2’4 、26からの第2の出力は各
々位相感知器28.30への参照信号として遅延りに続
いて適用される。参照信号は適用された振動と決定され
るべき検出された信号との位相関係を許容する。該信号
が同位相であればファイバ一端21は結合(coapl
ing)を増加するために1方向に動かされなけれJf
ならない、これに対して信号の位相が一致していなけれ
ば、ファイバ一端は反対の方向に動かされなければなら
ない。
X方向における不整合の関数としてレーザ出力小面とフ
ァイバーとの間の光接合効果が第2図に典型的に示され
ている。理想的なファイバーは該ファイバーに対応する
点Cに位置ずけられ、レーザが正確にX方向に整合され
る。実際、レーザに関係するファイバ一端の初期の位置
すけ後、ファイバーは典型的に最適の位置“C′の一方
の側の位置“Ao又は“B“にある0周波数fxの信号
が圧電結晶16に適用されるとき、ファイバ一端は矢印
54及び波形“Ioによって表わされるように振動され
る。検出器14において対応する電気信号はDC成分に
加えて、ファイバーの中央位置に依存して振動する成分
Wa、Wb又はWeを発生する。正確な調整のために、
ファイバーは振動成分の振幅が波形Wcによって示され
るような最小となる位置になければならない、波形はま
たそれらの位相関係を示している第3図に共通の時間軸
(time base)で示されている0位相感知器2
8が周波数f工に調節されて、そして駆動ジェネレータ
24からの入力信号と検出器14からの入力信号との間
の振幅及び位相の違いに依存して、DC制御信号は総和
接合点50で駆動ジェネレータ24からのAC駆動と共
に総計されて発生される。制御信号は圧電結晶16の活
性面のX方向並進運動を行なうために使われる。第3図
に示されているように、ファイバーの運動が効果的な整
合を提供するために必要であることは波形Wa及びwb
の振幅から明白である。さらに、どの方向にファイバー
の整合を行なうために動かされるべきであるかは、波形
“ioに対するWa及びwbの位相関係から明白である
対応する調節が、異なる周波数f でファイバ一端20
を振動させ、印加された変調に対して振幅及び位相関係
を得るために検出された信号のfy変動(osci 1
latory)成分を分析することによってY方向に行
なわれる。
以前に示したように、この方法はレーザチップに関連す
るファイバーを固定する場合に特定の適用が見出される
。その方法の特定の器具において、ファイバ一端部20
は結合されるべき光を直接ファイバー内に許容するため
にエポキシ樹脂のかたまりのそれ自体透明なファイバ一
端面をもつエポキシ樹脂の全体に保持されている。エポ
キシ樹脂は一旦、X及びY制御ループが最も効果的な位
置にファイバ一端部を固定するように付勢される(en
ergized)と硬化する。エポキシ樹脂が硬化され
るに従って、ファイバ一端部20は単に硬化メカニズム
の結果として1ミクロン程度動かされることができる。
上述のダイナミックな方法で、硬化中にファイバーのい
くらかの運動があれば、復元力が初期の硬化段階中に適
用される。
本発明はレーザチップlOに対して固定されているピグ
テールファイバー12に関して述べられているが、本方
法は他のファイバーの光学的入力及び出力装置を正確に
整合するために使用されることができる。このように本
方法はコネクタ又は継ぎ合わせ位置で光を結合するため
のファイバーの整合に使用されることができる0本実施
態様櫂おいて、光入力装置は振動されるが、代りの実施
態様において、光入力装置は固定されており、そして光
出力装置を振動させることができる。
上記の配71 (arrangement)は適用され
る振動と並進運動の両方を行なうために同様の圧電装置
を使用している。異なった機構がこれらの異なる仕事の
ために使用されることができることは理解されるであろ
う0例えば、振動は°ラウドスピーカを使用して音波的
に適用されることができ、そして圧電装置はファイバー
の復元並進運動(restoringtranslat
ional movement)を行なうためにのみ使
用される。
レーザ・ファイバー整合に対する本発明と現在のアプロ
ーチとの間の主な概念上の相違は現在の技術がレーザか
らファイバー内に結合された光の量を直接的に最大にす
ることに依存しているということである。対照的に1本
発明はファイバーの小さな空間的摂道(perturb
ation)に関連して接合された光の誘導(deri
vative)を最小にすることによって操作する0通
常の整合技術では、ファイバー又はレーザの全体の機械
的な動きはレーザ・フアイバー結合が整合されているか
どうか結合された光の新旧の値を比較することによって
決定することが必要であり、もし整合されていないなら
ば、どの方向に最も良い調製位置があるかを決定する必
要がある0本発明の誘導的な特質のために、整合情報の
方向及び角度(directional anddeg
ree)は直ちに利用可能である。これは更にX及びY
方向の両方の同時整合を許容することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に従う装置であり、遠近法による部分と
回路の概要を示す図、 第2図は導波管の入力端が変動したときに結果として生
ずるレーザダイオードと光学的導波管との間の結合効率
の変形を図式的に示す図、第3図は共通の時間軸が与え
られた検出光の振動及び変動成分を示す図である。 10・・・・・・レーザチップ 12・・・・・・ファイバー 14・・・・・・検出器

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、装置間で最大の光結合を得るために、光入力装置に
    対して光出力装置を位置ずける方法であって、出力装置
    からの一般の光が入力装置に向けられるように装置を位
    置ずけることと、該入力装置によって受け取られた光を
    検出することと、該検出された光に応答して電気信号を
    生成することと、該電気信号の関数である力を加えて、
    装置の1つを並進運動せしめることとを含む方法におい
    て、第1の軸線に沿って装置の1つを揺動させることと
    、該電気信号の、結果として生ずる振動成分の振幅、及
    び該成分と該1つの装置に供給される揺動との間の位相
    関係の両方を測定することとを含み、該力は第1の軸線
    に沿って、測定された位相関係に依存する方向に供給さ
    れ、該力の大きさは測定された振幅に依存することを特
    徴とする方法。 2、前記光出力装置はレーザダイオード、光入力装置は
    ピグテールファイバーであり、該ピグテールファイバー
    及びレーザが1つのレーザダイオードパッケージの一部
    を形成する特許請求の範囲第1項記載の方法。 3、圧電結晶が前記1つの装置の振動及び並進運動の両
    方に影響するように使用される特許請求の範囲第1項記
    載の方法。 4、前記第1の軸がX軸であり、該X軸に垂直なY軸に
    沿って周波数f_yで前記1つの装置を揺動させ、前記
    電気信号における周波数f_yでの振動成分の振幅を検
    出し、f_yでの該成分と該周波数f_yで前記Iつの
    装置に適用される揺動との間の位相関係を検出し、該Y
    軸に沿って前記1つの装置の並進運動をもたらすための
    力を適用することを具備する特許請求の範囲第1項記載
    の方法。 5、1対の圧電装置が使用され、1つはX軸に沿う前記
    1つの装置の運動を、他方はY軸に沿う前記1つの装置
    の運動をもたらし、該圧電装置は各々1つの制御構造に
    接続された活性面をもち、それによって圧電装置活性面
    の運動が前記1つの装置に結合される特許請求の範囲第
    4項記載の方法。 6、入力装置によって受け取られた光を検出するための
    、入力装置に接続された光検出器と、該検出された光に
    応答して電気信号を生成する手段と、該電気信号に応答
    して装置の1つを並進的に動かすように力を加える制御
    手段とを具備する最大の光結合を得るために、光入力装
    置に対して光出力装置を位置ずけるための装置において
    、装置の1つを揺動するための手段と、該電気信号の振
    動成分の振幅を測定し該振動成分と該1つの装置に加え
    られた揺動との間の位相差を測定するための位相感知器
    とを具備し、該制御手段が該測定された位相関係に依存
    する方向及び測定された振幅に依存する大きさで力を加
    えるように作動可能であることを特徴とする装置。
JP61119393A 1985-06-28 1986-05-26 位置決め装置 Granted JPS625210A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63180809U (ja) * 1987-05-14 1988-11-22

Families Citing this family (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4784454A (en) * 1982-08-02 1988-11-15 Andrew Corporation Optical fiber and laser interface device
DE3244882A1 (de) * 1982-12-03 1984-06-07 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Sende- oder empfangsvorrichtung mit einer mittels eines traegers gehalterten diode
FR2546311B1 (fr) * 1983-05-17 1986-03-28 France Etat Procede et dispositif de connexion entre une fibre optique et un composant d'optique integree comportant un guide d'onde
US4850668A (en) * 1987-03-17 1989-07-25 Hosain Hakimi Gyroptic visual couplers
US5222170A (en) * 1987-04-03 1993-06-22 Bt&D Technologies Ltd. Optical fiber device fabrication
US4818049A (en) * 1987-06-10 1989-04-04 Allied-Signal Inc. Method and apparatus for efficiently conveying light over a distance and effecting controlled illumination by projection thereof
US4917083A (en) * 1988-03-04 1990-04-17 Heraeus Lasersonics, Inc. Delivery arrangement for a laser medical system
US4872173A (en) * 1988-09-02 1989-10-03 Northern Telecom Limited Method and apparatus for stabilizing the spectral characteristics of a semiconductor laser diode
US4929041A (en) * 1989-01-09 1990-05-29 Johnston Pump/General Valve, Inc. Cathodoluminescence system for use in a scanning electron microscope including means for controlling optical fiber aperture
JPH03257423A (ja) * 1990-03-08 1991-11-15 Fujitsu Ltd 導波路型光変調器の動作点トリミング方法
US5278934A (en) * 1991-03-18 1994-01-11 Newport Corporation Throughput maximizing systems for substantially unimodal throughput profiles
US5535297A (en) * 1993-12-16 1996-07-09 Honeywell Inc. Micro-alignment method
US5450508A (en) * 1994-12-08 1995-09-12 International Business Machines Corporation Apparatus and method for optical fiber alignment using adaptive feedback control loop
US5602955A (en) * 1995-06-07 1997-02-11 Mcdonnell Douglas Corporation Microactuator for precisely aligning an optical fiber and an associated fabrication method
US5606635A (en) * 1995-06-07 1997-02-25 Mcdonnell Douglas Corporation Fiber optic connector having at least one microactuator for precisely aligning an optical fiber and an associated fabrication method
JP2001502067A (ja) * 1995-06-07 2001-02-13 マクダネル・ダグラス・コーポレイション 光ファイバを正確に位置合せするための位置合せ装置及びそれに関連した製造方法
JPH0961752A (ja) * 1995-08-22 1997-03-07 Sumitomo Electric Ind Ltd 光軸調芯方法、光軸調芯装置、光学素子の検査方法、光学素子の検査装置、光学モジュ−ルの製造方法及び光学モジュ−ルの製造装置
US5745624A (en) * 1996-08-23 1998-04-28 The Boeing Company Automatic alignment and locking method and apparatus for fiber optic module manufacturing
US5852692A (en) * 1997-05-16 1998-12-22 Coherent, Inc. Tapered optical fiber delivery system for laser diode
US6198580B1 (en) 1998-08-17 2001-03-06 Newport Corporation Gimballed optical mount
US6516130B1 (en) 1998-12-30 2003-02-04 Newport Corporation Clip that aligns a fiber optic cable with a laser diode within a fiber optic module
US6164837A (en) * 1998-12-30 2000-12-26 Mcdonnell Douglas Corporation Integrated microelectromechanical alignment and locking apparatus and method for fiber optic module manufacturing
US6996506B2 (en) * 1999-02-23 2006-02-07 Newport Corporation Process and device for displacing a moveable unit on a base
FR2790115B1 (fr) 1999-02-23 2001-05-04 Micro Controle Procede et dispositif pour deplacer un mobile sur une base montee elastiquement par rapport au sol
US6511035B1 (en) 1999-08-03 2003-01-28 Newport Corporation Active vibration isolation systems with nonlinear compensation to account for actuator saturation
US6325551B1 (en) 1999-12-08 2001-12-04 New Focus, Inc. Method and apparatus for optically aligning optical fibers with optical devices
US6632029B1 (en) 1999-12-22 2003-10-14 New Focus, Inc. Method & apparatus for packaging high frequency components
US6498892B1 (en) 2000-08-03 2002-12-24 Murray R. Harman Positioning device especially for assembling optical components
US6892444B1 (en) * 2000-09-21 2005-05-17 Axsun Technologies, Inc. Optical system manufacturing and alignment system
US6655840B2 (en) 2001-02-13 2003-12-02 Newport Corporation Stiff cross roller bearing configuration
US20020131729A1 (en) * 2001-02-16 2002-09-19 Higgins Leo M. Method and system for automated dynamic fiber optic alignment and assembly
US6546172B2 (en) * 2001-02-20 2003-04-08 Avanti Optics Corporation Optical device
US6546173B2 (en) * 2001-02-20 2003-04-08 Avanti Optics Corporation Optical module
US6590658B2 (en) 2001-02-20 2003-07-08 Cyberoptics Corporation Optical alignment system
US6956999B2 (en) 2001-02-20 2005-10-18 Cyberoptics Corporation Optical device
US6443631B1 (en) 2001-02-20 2002-09-03 Avanti Optics Corporation Optical module with solder bond
US20040212802A1 (en) * 2001-02-20 2004-10-28 Case Steven K. Optical device with alignment compensation
US6601524B2 (en) 2001-03-28 2003-08-05 Newport Corporation Translation table with a spring biased dovetail bearing
US6791058B2 (en) 2001-04-25 2004-09-14 Newport Corporation Automatic laser weld machine for assembling photonic components
US6568666B2 (en) 2001-06-13 2003-05-27 Newport Corporation Method for providing high vertical damping to pneumatic isolators during large amplitude disturbances of isolated payload
US6619611B2 (en) 2001-07-02 2003-09-16 Newport Corporation Pneumatic vibration isolator utilizing an elastomeric element for isolation and attenuation of horizontal vibration
US6556285B1 (en) * 2001-08-20 2003-04-29 Glimmerglass Networks, Inc. Method and apparatus for optical beam alignment detection and control
US6966535B2 (en) * 2002-05-07 2005-11-22 Newport Corporation Snubber for pneumatically isolated platforms
US20040264870A1 (en) * 2002-08-20 2004-12-30 Skunes Timothy A. Optical alignment mount with height adjustment
US7114860B2 (en) * 2002-12-17 2006-10-03 Photintech, Inc. Method and device for coupling a light emitting source to an optical waveguide
US7320455B2 (en) 2003-10-24 2008-01-22 Newport Corporation Instrumented platform for vibration-sensitive equipment
US7236680B1 (en) * 2004-08-16 2007-06-26 Pi (Physik Instrumente) L.P. Aligning apparatus and method using on-the-fly determination of throughput-profile gradient for current positioning of radiated influence supplier and/or receiver
US8231098B2 (en) * 2004-12-07 2012-07-31 Newport Corporation Methods and devices for active vibration damping of an optical structure
JP5307439B2 (ja) * 2007-04-23 2013-10-02 オリンパス株式会社 レーザ顕微鏡
US9341774B2 (en) * 2012-01-24 2016-05-17 Applied Optoelectronics, Inc. Optically matched laser array coupling assembly for coupling laser array to arrayed waveguide grating
US9631482B2 (en) 2013-10-24 2017-04-25 Saudi Arabian Oil Company Method and apparatus for down-hole alignment of optic fibers

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56156811A (en) * 1980-05-09 1981-12-03 Fujitsu Ltd Coupling device
JPS606843A (ja) * 1983-06-24 1985-01-14 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 微小軸ずれ測定方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3394976A (en) * 1963-05-31 1968-07-30 Sperry Rand Corp Frequency responsive apparatus
US3310978A (en) * 1964-10-21 1967-03-28 Alonza J Davis Fiber optic vibration transducer and analyzer
US3442570A (en) * 1966-03-02 1969-05-06 Hughes Aircraft Co Piezoelectric laser beam deflector
US4212513A (en) * 1978-06-30 1980-07-15 Sperry Corporation Pulse transformer technique for optical switch
US4280756A (en) * 1979-01-02 1981-07-28 Itek Corporation Piezoelectric bi-morph mirror actuator
DE3031354A1 (de) * 1980-08-20 1982-04-08 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Elektromagnetische anordnung
US4384230A (en) * 1980-11-06 1983-05-17 United Technologies Corporation Digital piezoelectric actuator
US4394061A (en) * 1982-01-22 1983-07-19 Gte Automatic Electric Incorporated Apparatus for aligning an optical fiber in an LED package
CA1247845A (fr) * 1983-06-24 1989-01-03 Thomas Edye Procede d'alignement d'un guide d'onde
US4565940A (en) * 1984-08-14 1986-01-21 Massachusetts Institute Of Technology Method and apparatus using a piezoelectric film for active control of vibrations

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56156811A (en) * 1980-05-09 1981-12-03 Fujitsu Ltd Coupling device
JPS606843A (ja) * 1983-06-24 1985-01-14 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 微小軸ずれ測定方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63180809U (ja) * 1987-05-14 1988-11-22

Also Published As

Publication number Publication date
GB2178194A (en) 1987-02-04
GB8606041D0 (en) 1986-04-28
GB2178194B (en) 1989-10-25
US4720163A (en) 1988-01-19
JPH0581004B2 (ja) 1993-11-11
CA1229904A (en) 1987-12-01

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