JPS6252830U - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6252830U
JPS6252830U JP14444485U JP14444485U JPS6252830U JP S6252830 U JPS6252830 U JP S6252830U JP 14444485 U JP14444485 U JP 14444485U JP 14444485 U JP14444485 U JP 14444485U JP S6252830 U JPS6252830 U JP S6252830U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure adjustment
adjustment chamber
clean room
room
pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14444485U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP14444485U priority Critical patent/JPS6252830U/ja
Publication of JPS6252830U publication Critical patent/JPS6252830U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)
  • Ventilation (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例によるエアシヤワー
装置とクリーンルームを示す構成図、第２図は従
来のエアシヤワー装置とクリーンルームを示す構
成図である。 １……エアシヤワー装置、２……クリーンルー
ム、３……エアシヤワー室、５……クリーンルー
ム入出扉、１１……圧力調整室、１２……圧力請
整室入出扉、１３……圧力調整室給気フアン、１
６……圧力調整室コントローラ、１７……差圧セ
ンサ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. エアシヤワー室とクリーンルームを連結する圧
    力調整室と、前記圧力調整室とクリーンルームと
    の差圧を検知する差圧センサと、浄化空気を前記
    圧力調整室に供給することにより圧力を生じさせ
    る圧力調整室給気フアンと、前記差圧センサの信
    号により前記圧力調整室給気フアンをコントロー
    ルする圧力調整コントローラと、前記圧力調整室
    と前記クリーンルームの仕切面に設けられたクリ
    ーンルーム入出扉と、前記圧力調整室と前記エア
    シヤワー室の仕切面に設けられた圧力調整室入出
    扉とを有し、前記クリーンルームと隣接してなる
    エアシヤワー装置。
JP14444485U 1985-09-20 1985-09-20 Pending JPS6252830U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14444485U JPS6252830U (ja) 1985-09-20 1985-09-20

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14444485U JPS6252830U (ja) 1985-09-20 1985-09-20

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6252830U true JPS6252830U (ja) 1987-04-02

Family

ID=31055051

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14444485U Pending JPS6252830U (ja) 1985-09-20 1985-09-20

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6252830U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6252830U (ja)
JPS6153645U (ja)
JPS6313925U (ja)
JPH0252029U (ja)
JPH02120637U (ja)
JPH0310140U (ja)
JPS6399140U (ja)
JPH0215140U (ja)
JPS6276848U (ja)
JPS633818U (ja)
JPH0170042U (ja)
JPS6343015U (ja)
JPS62108731U (ja)
JPH0161273U (ja)
JPS61163091U (ja)
JPS63164922U (ja)
JPS62112023U (ja)
JPS63157273U (ja)
JPS637743U (ja)
JPH01142111U (ja)
JPS6028090U (ja) クリ−ンル−ムにおけるエアシャワ−室の構造
JPH0343360U (ja)
JPH0245284U (ja)
JPS63101740U (ja)
JPH0320656U (ja)