JPS6256885A

JPS6256885A - 放射線検出装置

Info

Publication number: JPS6256885A
Application number: JP60197121A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Kita; 好夫北
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1985-09-06
Filing date: 1985-09-06
Publication date: 1987-03-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、静電型中性粒子エネルギー分析器等に使用さ
れる放射線検出装置に関する。

〔発明の技術的背景〕

従来、この種の分析器は、第３図に示すように中性粒子
発生装置（図示せず）によって発生された中性粒子１が
真空パイプを通ってストリッピングセル２に導入され、
ここでストリッピングセル２中のガスによって荷電交換
されて荷電粒子３となって直進するが、この荷電粒子３
は静電偏向板４に与えられた電圧により偏向され、その
入射荷電粒子３のうち、エネルギーの大きいものは大き
な放射線円軌道をもって偏向され、エネルギーの小さい
ものは小さな放射線円軌道をもって偏向される。

以上のようにして偏向された荷電粒子５・・・はマウン
ト部６を挟んで所定間隔で配置された複数の荷電粒子検
出器７・・・により測定することにより、中性粒子ｌ・
・・のエネルギースペク１−ラムを得ることができる。

図中Ｅは偏向用電場を示す。

〔背景技術の問題点〕

ところで、前を己荷電粒子５・・・は、第４図に拡大し
て示すように静電偏向板４によ−、】で偏向されて各荷
電粒子検出器７・・・に入射するほか、各荷電粒子７．
７間のマウント部６・・・にも入射される。

ところが、マウント部６・・・に入射される荷電粒子５
・・・のうち、ある割合いの荷電粒子はマウント部６で
反射されて出力する。そして、マウント部６で反射され
た荷電粒子８は、更に偏向電場Ｅによって偏向されて押
しもどされ、隣の荷電粒子検出器７へ入射する。このた
め、直接入射する荷電粒子５のほかに、マウント部６で
反射された荷電粒子８をも荷電粒子検出器゛ｌ・・で測
定することになるため、分析器等において荷電粒子の測
定分解能が低下し、ひいては正確にエネルギースペクト
ラムを得ることが難し５い欠点がある。この場合、特に
数ＫｅＶ程度の低エネルギーにおいてその荷電粒子の反
射が問題となる。

〔発明の目的〕

本発明は以上のような問題点を解決するためになされた
もので、マウント部によって反射された荷電粉子か隣の
荷電粒子検出器・＼入射１．ないようにＬ５゜よって分
析器等の分解能を高めｊ！Ｉる紋射保険出装置を提供す
ることにある。

〔発明の概要１本発明は、所定位置に荷電拉子阻１ト板を設置ｊ、各荷
電粒子検出器の間のマウント部に入射ｊ、て反射される
荷電粒子を荷電粒子用＋ｌｒ、板によ−）で阻止１〜で
前記荷電粒子検出器へ荷電粒子が入射しないようにする
放射線検出装置Ｎである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例について第１図を参照して説明
する。同図は例えば静電型中性粒子エネルギー分析器等
のうち特に荷電粒子を測定する放射線検出装置の部分を
示す図である。この装置は、ｍ数の荷電粒子検出器１１
・・・を有（７、これらはマウント部１２を挟んで所定
の間隔をもって配置されている。通常、このマウント部
１２は、金属または絶縁物等が使用されている。また、
各荷電粒子検出器１１・・・の荷電粒子べ射端側または
該荷電粒子入射端側近傍のマウント部１２より荷電粒子
入射角度θにほぼ等しい傾斜角度をもって荷電粒子阻止
板１３が設けられている。この荷電粒子阻止板１３の材
質としては２次電子放出係数の小さいアルミニューム等
の金属が使用される。１４は静電偏向板（図示せず）に
加わる電圧によって偏向されて各荷電粒子検出器１１・
・・側に入射する荷電粒子である。

しかして、第３図に示す静電偏向板によって偏向された
荷電粒子１４の一部は前記マウント部１２に入射して反
射されるが、その反射された荷電粒子は隣の荷電粒子検
出器１１側から角度θの傾斜をもって伸びている荷電粒
子阻止板１３によって阻止され、これによりマウント部
１２で反射された荷電粒子が偏向用電場Ｅによって再度
偏向されて隣の荷電粒子検出器１１に入射するといった
不具合を除去することができる。特に、荷電粒子検出器
１３の傾斜角度を、荷電粒子検出器１１への荷電粒子の
入射角度θと等しくすれば、各荷電粒子検出器１１に入
射する粒子数を減らすことなく、隣の荷電粒子検出器１
１へ入射する荷電粒子だけを阻止することが可能である
。

従って、以１．のような実施例の構成によれば、次のよ
うな効果が得られる。通常、ストリッピングセルの長さ
、該セルの入口・出口のスリブｌ〜［１径および核融合
装置本体との接続ボートの口径等によって定まる荷電粒
子の広がりによって中性事−５子エネルギー分析器の分
解能が決められるか、該荷電粒子の広がりが何する限り
、その偏向された荷電粒子は各荷電粒子検出器１１・・
・だ＋Ｊでなくマウント部１２にも入射し、そのマウン
ト部１２から反射された荷電粒子が隣のチャンネルの（
＋：ｒ　屯１３子検出器１１にも入射し、よってエネル
ギーの分解能か悪くなり、プラズマの・イオン温度を実
際よりも高く計測してしまう。

この点、上記実施例のものは、マウント部１２で反射さ
れた荷電粒子を荷電粒子目止板１３により阻止すること
ができ、また荷電粒子の入射角度θとほぼ等しい傾斜角
度をもって荷電粒子阻止板１３を設けたので各荷電粒子
検出器１１・・に入射する粒子数を減らすことなく所定
の荷電粒子検出器１１に荷電粒子を入射し得、エネルギ
ーの分解能を」二げることかできる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではない。

例えば第２図に示すように、各荷電粒子検出器１１、Ｊ
ｌの間のマウント部１２に荷電粒子阻止板１３を垂直に
立設してもよい。但し、この場合の荷電粒子検出器１１
の荷電粒子入射端側からの距＃Ｘおよび高さｙとすると
、荷電粒子入射角度θに対し、ｔａｎθ＝ｙ　／　ｘの
関係が成立するように設けるものとする。

従って、このような構成にすれば、第１図のものに比べ
て構造の簡略化が図れ、しかも前記距離Ｘの領域に入射
する荷電粒子は前記マウント部１２に到達することがな
く、よって、マウント部１２のＸ以外の領域で反射され
た荷電粒子だけを荷電粒子阻止板１３によって阻止すれ
ばよい。

また、上記実施例においては、偏向用電場Ｅを分析器の
荷電粒子偏向用電場と定義したが、他の偏向方式の分析
器例えば荷電粒子検出器１１の荷電粒子入射面に負電圧
を印加する場合でも第１図および第２図に示す偏向用電
場Ｅと同じ向きの電場か発生するので、この場合の偏向
方式のものイ）含むものである。

〔発明の効果〕

以十詳記したように本発明によれば、入射する荷電粒子
の入射角度に基づいて所定の位置関係を持って荷電粒子
阻止板を設けたので、マウント部で反射されて隣の荷電
粒子検出器に入射する荷電粒子だけを阻止し得、中性粒
子エネルギー分析器等においてエネルギーの分解能を」
−げ得る放射線検出袋ｊＮを提供でき２．。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わる放射線検出装置の一実施例を示
す概略構成図、第２図は本発明の他の実施例を示す概略
構成図、第３図は従来の中性杓子エネルギー分析器の構
成図、第４図は従来装置の不具合を説明するだめの図で
ある。１１・・・荷電粒子検出器、１２・・・マウント部、１
３・・・荷電粒子μｌ止板、１４・・・荷電粒子。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦川Ｅ第１図第２図ＩＥ第４図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）複数の荷電粒子検出器がマウント部を挟んで配置
された放射線検出装置において、前記マウント部に入射
して反射される荷電粒子の前記荷電粒子検出器への入射
を阻止する荷電粒子阻止板を設けたことを特徴とする放
射線検出装置。
（２）荷電粒子阻止板は、荷電粒子の入射角度に等しい
傾斜角度をもって設けられていることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の放射線検出装置。
（３）荷電粒子阻止板は、荷電粒子の入射角度θに対し
、ｔａｎθ＝ｙ／ｘ（ｙ：高さ、ｘ：荷電粒子検出器か
らの距離）となるように前記マウント部に垂直に設けら
れたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の放射
線検出装置。